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[发明专利]用于化学机械抛光垫的配制品及用其制成的CMP垫-CN202210057233.X在审
发明人： B·E·巴尔顿;T·布鲁加罗拉斯布鲁福 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：公开了由包含以下项的反应混合物的聚氨酯反应产物制成的CMP抛光垫或层：(i)液体芳族异氰酸酯组分，其包含一种或多种芳族二异氰酸酯或线型芳族异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，和(ii)液体多元醇组分，其包含a)一种或多种聚合物多元醇，b)基于该液体多元醇组分的总重量，12至40wt.％的具有2至9个碳原子的一种或多种小链双官能多元醇、液体芳族二胺的固化剂混合物，其中该液体多元醇、小链双官能多元醇和液体芳族二胺中羟基和氨基部分的总摩尔数与该芳族二异氰酸酯或线型芳族异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物中异氰酸酯的摩尔数的摩尔比是1.0∶1.0至1.15∶1.0。该抛光层能够在通过表面调节盘处理时形成如通过由ISO 25178标准定义的参数Sdr测量的0至0.4的总纹理深度。
用于化学机械抛光配制制成 cmp

[发明专利]用于具有高硬度的高孔隙率化学机械抛光垫的配制品及用其制成的CMP垫-CN202210083523.1在审
发明人： J·任;K·泰蒂;B·E·巴尔顿 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：本发明提供了CMP抛光垫或层，这些抛光垫或层具有57‑77的未填充的肖氏D(2秒)硬度或18‑50的填充的肖氏D(2秒)硬度、由以下项的双组分反应混合物制得：(i)液体芳族异氰酸酯组分，其包含一种或多种芳族二异氰酸酯或线型芳族异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，基于所述芳族异氰酸酯组分的总固体重量，具有18至47wt.％的未反应的异氰酸酯(NCO)浓度，和(ii)液体多元醇组分，其包含选自由式(I)和(II)定义的胺的组的一种或多种固化剂。
用于具有硬度孔隙率化学机械抛光配制制成 cmp

[发明专利]用于具有高平坦化效率的化学机械抛光垫的配制品及用其制成的CMP垫-CN202210057231.0在审
发明人： B·E·巴尔顿;T·布鲁加罗拉斯布鲁福 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：由包含以下项的反应混合物的聚氨酯反应产物制成的CMP抛光垫或层：(i)液体芳族异氰酸酯组分，其包含一种或多种芳族二异氰酸酯或线型芳族异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，和(ii)液体多元醇组分，其包含a)一种或多种聚合物多元醇，b)基于该液体多元醇组分的总重量12wt.％至40wt.％的具有2至9个碳原子的一种或多种小链双官能多元醇、液体芳族二胺的固化剂混合物，其中液体芳族二胺与小链双官能多元醇和液体芳族二胺的总摩尔数的摩尔比是15∶85至40∶60，其中，该反应混合物包含48wt.％至68wt.％的硬链段材料。
用于具有平坦效率化学机械抛光配制制成 cmp

[发明专利]化学机械抛光垫和抛光方法-CN202210053484.0在审
发明人： B·E·巴尔顿;T·布鲁加罗拉斯布鲁福 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：公开了由包含以下项的反应混合物的聚氨酯反应产物制成的CMP抛光垫或层：(i)液体芳族异氰酸酯组分，其包含一种或多种芳族二异氰酸酯或线型芳族异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，和(ii)液体多元醇组分，其包含a)一种或多种聚合物多元醇，b)基于该液体多元醇组分的总重量，12至40wt.％的具有2至9个碳原子的一种或多种小链双官能多元醇、液体芳族二胺的固化剂混合物，其中该液体多元醇、小链双官能多元醇和液体芳族二胺中羟基和氨基部分的总摩尔数与该芳族二异氰酸酯或线型芳族异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物中异氰酸酯的摩尔数的摩尔比是1.0:1.0至1.15:1.0。该抛光层能够在通过表面调节盘处理时形成如通过由ISO 25178标准定义的参数Sdr测量的0至0.4的总纹理深度。还公开了一种使用该抛光垫连同二氧化铈磨料浆料的化学机械抛光方法。
化学机械抛光抛光方法

[发明专利]用于具有高硬度的高孔隙率化学机械抛光垫的配制品及用其制成的CMP垫-CN202210058958.0在审
发明人： B·E·巴尔顿;A·M·克洛万斯;T·布鲁加罗拉斯布鲁福;V·O·阿奇巴尔德;M·E·米尔斯 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：本发明提供了由以下项的双组分反应混合物制成的具有40至80肖氏DO(15秒)硬度的CMP抛光垫或层：(i)液体芳族异氰酸酯组分，其包含一种或多种芳族二异氰酸酯或线型芳族异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，和(ii)液体多元醇组分，其包含a)一种或多种聚合物多元醇，b)基于该液体多元醇组分的总重量，15至36wt.％的具有2至6个碳原子的一种或多种小链双官能多元醇，c)基于该液体多元醇组分的总重量，0至25wt.％的液体芳族二胺，该液体芳族二胺在标准压力和40℃下是液体的，和d)足以将由该双组分反应混合物制成的CMP抛光垫的密度降低至0.2至0.50g/mL的量的水或CO2‑胺加合物，其中基于该反应混合物的总重量，该反应混合物包含60至75wt.％的硬链段材料。
用于具有硬度孔隙率化学机械抛光配制制成 cmp

[发明专利]带有具有设计的开放空隙空间的突起结构的CMP抛光垫-CN202110269948.7在审
发明人： J·R·麦考密克;B·E·巴尔顿 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：一种可用于化学机械抛光的抛光垫包括具有顶侧的基垫和在所述基垫的所述顶侧上的多个突起结构，所述突起结构中的每一个具有主体，其中所述主体具有(i)限定所述突起结构的外部形状的外周表面，(ii)限定中心腔的内部表面以及(iii)限定初始抛光表面积的顶部表面，其中所述主体在其中进一步具有从所述腔至所述外周表面的开口。
带有具有设计开放空隙空间突起结构 cmp 抛光

[发明专利]具有在支撑件上的抛光元件的CMP抛光垫-CN202110278526.6在审
发明人： J·R·麦考密克;B·E·巴尔顿 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：一种用于化学机械抛光的抛光垫可以包括具有顶表面和表面的基部垫；多个抛光元件，每个抛光元件具有顶部抛光表面和底表面，并且其中，所述多个抛光元件中的每个抛光元件通过三个或更多个支撑件连接至所述基部垫的顶表面到所述抛光元件，其中，所述抛光元件的底表面、所述基部垫的顶表面、以及所述支撑件限定了包括至少一个空隙的区域，并且在所述三个或更多个支撑件之间存在开口。这样的垫可以用于以下方法中：提供基材并且用该垫、可选地用抛光介质来对基材抛光。
具有支撑抛光元件 cmp

[发明专利]用于化学机械抛光垫的改进组合物以及由其制备的CMP垫-CN201711224404.9有效
发明人： B·E·巴尔顿;M·E·米尔斯 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：提供一种用于制造供抛光半导体衬底的化学机械抛光垫的双组分组合物，所述组合物包含：未反应的异氰酸酯(NCO)浓度为按所述芳族异氰酸酯组分总固体重量计15到40重量％的液体芳族异氰酸酯组分，例如亚甲基二(异氰酸苯酯)(MDI)、具有聚醚主链并且每分子具有5到7个羟基的多元醇的液体多元醇组分和一种或多种多元胺或二胺固化剂，其中所述反应混合物包含按所述反应混合物的总重量计50到65重量％硬链段材料。所述组合物在混合时固化形成聚氨基甲酸酯反应产物。还提供由所述聚氨基甲酸酯反应产物通过将所述组合物喷涂到模具中来制备的CMP抛光垫。
用于化学机械抛光改进组合以及制备 cmp

[发明专利]由硅处理的聚烯烃前体纤维获得的碳纤维-CN201680009258.5在审
发明人： E·J·胡可坎恩;B·E·巴尔顿;J·T·巴顿 -专利权人：陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2016-01-28 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： D01F9/21 文献下载
摘要：含碳纤维由聚烯烃纤维制备。用硅源稳定和处理所述聚烯烃纤维。在一种情况下，所述硅源为硅氧烷。在一种情况下，所述聚烯烃纤维通过磺化来稳定。在一种情况下，所述含碳纤维具有90‑100重量％碳、0.1‑1重量％硅、0.1‑1重量％氮。
处理烯烃纤维获得碳纤维

[发明专利]由聚烯烃制备稳定化制品的方法-CN201580019545.X在审
发明人： B·E·巴尔顿;G·F·比洛维奇 -专利权人：陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2015-04-15 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： D01F6/30 文献下载
摘要：一种由聚烯烃树脂制备稳定化制品的方法，所述方法包括将官能基并入所述聚烯烃树脂中，从而产生具有可交联官能基的聚烯烃树脂。将具有可交联官能基的聚烯烃树脂转化成制品。使所述制品发生化学交联，从而产生交联制品。使交联制品在氧化环境中、在高温下稳定化。由此产生的稳定化制品可以通过在惰性环境中加热稳定化制品而制备成碳质物品。
烯烃制备稳定制品方法

[发明专利]由聚烯烃生产的经表面处理的制造制品-CN201580018739.8在审
发明人： B·E·巴尔顿;E·J·胡可坎恩 -专利权人：陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2015-04-15 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： C08J7/12 文献下载
摘要：本公开描述一种用于生产经表面处理的制造制品的方法，该方法包含提供聚烯烃树脂；将聚烯烃树脂转化成制造制品；使制造制品的至少一部分交联；以及用硫酸、发烟硫酸或含氯磺酸溶液表面处理剂改性制造制品的表面，以产生经表面处理的制造制品。本公开进一步描述一种用于生产经表面处理的制造制品的方法，该方法包含提供聚烯烃树脂；将聚烯烃树脂转化成制造制品；使制造制品的至少一部分交联；将硫酸溶液施加到制造制品；以及在空气或惰性环境中加热制造制品。
烯烃生产表面处理制造制品

[发明专利]聚烯烃衍生的含有硼的碳纤维-CN201480050819.7在审
发明人： B·E·巴尔顿;M·J·贝尔;J·T·巴顿;E·J·胡可坎恩 -专利权人：陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2014-09-19 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： D06M11/82 文献下载
摘要：本发明涉及一种方法，其包括使用硼源处理稳定化的聚烯烃纤维，接着在惰性氛围中加热所述纤维到摄氏1000度或更高的温度以便将所述稳定化聚烯烃纤维转化成碳纤维。
烯烃衍生含有碳纤维

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