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[发明专利]共享接触孔短路缺陷的测试结构、制备方法和测试方法-CN201710276138.8有效
发明人：范荣伟;陈宏璘;龙吟;王恺 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种共享接触孔短路缺陷的测试结构、制备方法和测试方法，测试结构具有第一导电类型晶体管；第一导电类型晶体管包括：有源区、位于有源区上设置的第一栅极和第二栅极、第二栅极的一端的底部不设置有源区；位于第一栅极上的第一栅源共享接触孔和位于第二栅极的一端上的第二栅源共享接触孔；第一栅源共享接触孔连接第一栅极一端和有源区；第二栅源共享接触孔仅连接第二栅极的一端，第二栅源共享接触孔的底部不连接有源区。利用本发明的测试结构能够很直观地判断出第二栅源共享接触孔是否发生短路，有利于进行后续工艺窗口的平度、工艺和机台的监控。
共享接触短路缺陷测试结构制备方法

[发明专利]一种栅氧层的制备方法-CN201610854700.6有效
发明人：范荣伟;张红伟;陈宏璘;龙吟;顾晓芳 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种栅氧层的制备方法，首先在硅衬底表面采用第一O₂分压来快速生长初始栅氧层，然后，在初始栅氧层表面采用第二O₂分压且降低生长速率来生长新栅氧层，初始栅氧层的厚度与新栅氧层的厚度总和为目标厚度，快速生长初始栅氧层，得到一定厚度的初始栅氧层，降低生长速率来生长新栅氧层，可以在初始栅氧层表面得到均匀的且不易分解的新栅氧层，这是因为，降低栅氧层的生长速率，即是降低O与Si的反应速率，从而可以确保O与Si的反应充分来生成SiO₂，同时避免SiO₂与Si生成2SiO造成初始栅氧层以及新栅氧层的缺失，进一步得到均匀的栅氧层。
一种栅氧层制备方法

[发明专利]图形光罩连接孔缺陷检查测试结构及方法-CN201710225567.2有效
发明人：范荣伟;陈宏璘;龙吟;倪棋梁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种图形光罩连接孔缺陷检查测试结构及方法，在衬底上进行阱离子、源漏离子注入后，沉积金属硅化物层，并且光刻形成孔或者沟槽，在孔或者沟槽内沉积金属硅化物阻止层，在金属硅化物层上沉积金属层，在金属硅化物阻止层上沉积第一介电质层，然后在上述结构上沉积第二介电质层，在该第二介电质层形成连接孔，该测试结构上的连接孔就是用被测试的图形光罩光刻形成的，然后对该连接孔进行沉积金属形成金属栓，对其扫描电子束，也即扫描电镜下每个连接孔的亮度来确定该连接孔是否存在了缺陷,就可以找出图形光罩上该连接孔图案是否具有缺陷。这种测试结构排除连接孔被沟槽干扰的问题，能够单纯地找出仅由图形光罩连接孔图案造成的缺陷。
图形连接缺陷检查测试结构方法

[发明专利]接触孔制作工艺缺陷的检查方法-CN201710225130.9有效
发明人：范荣伟;陈宏璘;龙吟;王恺 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种接触孔制作工艺缺陷的检查方法，使用现有技术中相同的接触孔制作工艺制作一个测试结构，该测试结构中PMOS结构上的共享接触孔与相邻的NMOS结构上的共享接触孔相邻，使得原本处于等电位的两列共享接触孔形成不等电位。然后对所有的接触孔内沉积金属形成金属栓，最后对上述结构进行电子束扫描，从而在扫描电镜下观察每个接触孔的亮度情况。
接触制作工艺缺陷检查方法

[发明专利]半导体器件缺陷的光学检测方法-CN201410377459.3有效
发明人：倪棋梁;陈宏璘;龙吟 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-08-01 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件缺陷的光学检测方法，根据二维图形中器件的电路特征，对器件结构进行准确分类，并确定每个器件结构的位置信息，随后利用这些信息，在缺陷检测过程中对应到检测区域，以快速、准确获得检测区域内不同器件结构缺陷类型的数量及每个缺陷的具体位置，以便于对器件失效及其形成原因进行判断和准确分析。
半导体器件缺陷光学检测方法

[发明专利]量测群组设备及量测方法-CN201410377345.9有效
发明人：倪棋梁;陈宏璘;龙吟 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-08-01 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种量测群组设备及量测方法，包括：分析模块和运输模块，通过分析模块控制待量测产品在量测群组设备和后续工艺设备之间的分配、以及控制运输模块将待量测产品运输到后续设备；运输模块，与分析模块相连，用于向后续设备中搬运待量测产品。本发明的量测方法，包括：在量测群组设备的分析模块中设定量测群组设备的最大量测数量；分析模块判断待量测产品的数量是否超过量测群组设备的最大量测数量；判断结果为是，则分析模块开始分析所述后续工艺设备的生产能力；后续工艺设备出现闲置情况，则分析模块向所述运输模块发送跳站指令；运输模块接收到跳站指令，将待量测产品搬运到后续工艺设备中，从而加快产品流通。
量测群组设备方法

[发明专利]一种对缺陷进行选择性检测的方法-CN201410377341.0有效
发明人：倪棋梁;陈宏璘;龙吟 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-08-01 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种对缺陷进行选择性检测的方法，包括：通过缺陷检测设备检测晶圆中的每个芯片；对检测到的芯片上的缺陷的位置数据进行记录；将缺陷的位置数据选择性地设置于缺陷检测设备中；缺陷检测设备根据位置数据对后续晶圆中的芯片的缺陷进行选择性检测。从而能够实现对缺陷的定位，提高缺陷检测的效率和精度、以及降低缺陷分析的难度。
一种缺陷进行选择性检测方法

[发明专利]静态存储器的在线失效分析方法及在线电子束检测设备-CN201410377359.0有效
发明人：倪棋梁;陈宏璘;龙吟;郭明升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-08-01 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种静态存储器的在线失效分析方法和在线电子束检测设备，包括：将不同类型的探针安装到在线电子束检测设备的腔体中；将晶圆置于在线电子束检测设备的腔体中；利用在线电子束检测设备对接触孔进行扫描并获得静态存储器中接触孔的图像信息；根据接触孔的图像信息找出产生缺陷的接触孔；根据产生缺陷的接触孔的类型来选择与之相对应的探针；在线电子束检测设备控制所选择的探针与相应的产生缺陷的接触孔相接触，并进行电性能检测；根据产生缺陷的接触孔在静态存储器单元中的功能，在线电子束检测设备将探针进行组合来检测功能并进行失效分析；检测到功能失效，则产生缺陷的接触孔是导致静态存储器失效的原因。
静态存储器在线失效分析方法电子束检测设备

[发明专利]一种产品通孔刻蚀缺陷的检测方法-CN201410377465.9有效
发明人：范荣伟;陈宏璘;龙吟;顾晓芳 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-08-01 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种产品通孔刻蚀缺陷的检测方法，首先建立被检测产品的通孔导电层测试模块，在该测试模块上沉积有相互连通的且参考被检测产品的图形结构通孔布局尺寸设计的金属线；在建立测试模块的硬掩膜刻蚀工艺中,产品中各通孔在硬掩膜层的各投影所在各区域之间有光阻进行隔离,原来连接各通孔的沟槽结构改进为不连续的沟槽结构或者通孔结构；然后进行绝缘层通孔刻蚀并在通孔中填铜和平坦化；最后应用电子束缺陷扫描仪进行检测；该方法能避免在检测刻蚀不足缺陷时的法拉第杯的影响，同时也克服了在铜平坦化后不能检测到所有通孔缺陷的问题，从而提高了通孔缺陷检测的成功率，以为工艺窗口的优化提供数据参考，为半导体在线制造与良率的提升提供保障。
一种产品刻蚀缺陷检测方法

[实用新型]离子注入后晶圆温度检测装置-CN201821417447.9有效
发明人：蔡坤;范荣伟;王恺;倪棋梁;龙吟;陈宏璘;郭浩 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子注入后晶圆温度检测装置，涉及半导体集成电路制造技术，包括腔体结构，所述腔体结构包括腔体侧壁、腔体底部及腔体顶部组成的腔体壁；承载结构，位于所述腔体底部上用于承载晶圆；加热装置，位于所述腔体壁上，用于对所述晶圆进行加热；以及，红外辐射温度检测仪，位于所述腔体壁上，用于检测所述晶圆的温度，以精确检测晶圆温度，进而提高产品的良率。
晶圆腔体壁温度检测装置腔体结构腔体离子半导体集成电路制造温度检测仪承载结构红外辐射加热装置腔体侧壁腔体顶部检测良率加热承载申请

[发明专利]消除电子束扫描导致的缺陷的方法-CN201611087812.X有效
发明人：范荣伟;陈宏璘;龙吟;蔡坤 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L21/26 文献下载
摘要：本发明提供一种消除电子束扫描导致的缺陷的方法，提供一晶圆，所述晶圆进行过第一次电子束扫描工艺；对经过第一次电子束扫描工艺的晶圆进行表面处理工艺，直至将位于所述晶圆表面的残留电荷消除，具体地，这种表面处理工艺包括将晶圆进行第二次电子束扫描、放入真空腔体静置，然后对晶圆进行热处理和使用离子溶液对晶圆表面进行清洗这两种工艺的至少一种。使用上述方法能够使晶圆表面的残留电荷被消除或者使电荷重新有序排列，不用破坏晶圆的结构，简单方便，能有效提高晶圆的良率。
消除电子束扫描导致缺陷方法

[发明专利]一种连接孔图形光罩缺点的检测方法-CN201610884418.2有效
发明人：范荣伟;袁增艺;陈宏璘;龙吟;顾晓芳 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-10-10 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种连接孔图形光罩缺点的检测方法，通过设计连接孔唯独刻蚀工艺的薄膜结构，并应用“三步法”进行光罩缺点确认，第一步在第一光刻工艺能量/焦距矩阵晶圆上实现准光罩缺点的甄别，第二步通过在第二光刻工艺能量/焦距矩阵晶圆上进行定点观察，实现准光罩缺点的可重复性确认，第三步通过对确认有准光罩缺点的第二光刻工艺能量/焦距矩阵晶圆，在连接孔填充平坦化后进行缺陷观察，实现光罩缺点的最终确认。对连接孔光罩缺点，应用本发明无论信号强弱均能有效地检测出来，为光罩缺点修复和光刻工艺窗口的优化提供了数据指标，并能够排除工艺本身存在的潜在问题，为先进工艺产品研发缩短了时间。
一种连接图形缺点检测方法

[发明专利]晶圆缺陷光学照片实时采集系统及采集方法-CN201811607199.9在审
发明人：胡向华;欧阳余庆;何广智;顾晓芳;倪棋梁;龙吟;陈宏璘 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆缺陷光学照片实时采集系统,所述系统为晶圆缺陷扫描机台，用于对晶圆在制造工艺中产生的各种缺陷进行扫描检测；缺陷数据分析系统，所述缺陷数据分析系统内嵌到所述晶圆缺陷扫描机台，能与晶圆缺陷扫描系统进行实时数据交换；光学图像采集系统，所述光学图像采集系统由晶圆缺陷系统控制，对当前检测中的晶圆进行光学图像信息的采集。本发明实现对扫描晶圆结果进行实时分析判断，并反馈给扫描机台进行光学拍照功能的可控操作，达到异常制品的实时光学照片收集，利于紧急问题的及时处置。
晶圆缺陷扫描机台晶圆光学图像采集系统实时采集系统分析系统光学照片缺陷数据采集光学图像信息实时数据交换拍照功能扫描检测扫描系统实时分析实时光学系统控制制造工艺可控内嵌种晶扫描反馈检测

[发明专利]全方位晶圆缺陷的获取方法-CN201811553457.X在审
发明人：茆青;韩超;龙吟;陈宏璘;倪棋梁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种全方位晶圆缺陷的获取方法，是利用扫描电子显微镜SEM，针对晶圆的缺陷分析，所述的扫描电子显微镜SEM，其腔室内部安装有多个电子接收机，均匀分布在晶圆四周，以此来拍摄360度全景的晶圆缺陷照片。所述的多个电子接收机，能同时全部开启以拍摄晶圆的全景照片以分析缺陷，还能根据要求，通过开启或关闭某一角度的某一台或多台电子接收机来获取晶圆特定位置或角度的缺陷照片。可以有效的从晶圆缺陷照片判断缺陷的来源，显著提高工程师对缺陷来源判断的准确性，提高工作效率。
晶圆缺陷电子接收机晶圆扫描电子显微镜晶圆特定位置工作效率腔室内部全景照片缺陷分析缺陷来源拍摄全景工程师分析

[发明专利]一种行星表面探测方法-CN201811427124.2在审
发明人：龙吟;张雅琳;林川;罗鹏;张震;黄才;田庄;朱珂;丁凯;夏奕;刘超 -专利权人：北京空间技术研制试验中心
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G01V3/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种行星表面探测方法，包括：S1.通过行星着陆器在行星表面随机布洒大量无线传感器网络节点，节点之间通过自组织形成网络；S2.无线传感器网络节点根据配置的传感器实时监视行星表面环境参数，并将监视结果通过多跳的方式传递给行星着陆器；S3.行星着陆器对接收数据进行数据融合，并将处理后数据通过无线链路发送给中继卫星，中继卫星将数据转发给地球的地面接收设备进行处理，获得行星表面的实时环境参数；S4.地面通过反向链路发送对行星表面无线传感器网络的控制信息。根据本发明的行星表面探测方法解决了传统微波探测无法近距离获取环境参数的缺点以及行星车、宇航员探测环境适应难度大、探测时间空间受限的缺点。
行星表面探测行星着陆器无线传感器网络节点环境参数中继卫星无线传感器网络地面接收设备实时环境参数传统微波反向链路监视结果接收数据控制信息时间空间实时监视数据融合数据通过数据转发探测环境无线链路近距离配置的自组织传感器多跳受限发送传递地球网络