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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]MEMS装置制造方法及通过工序制备的MEMS装置-CN201680069999.2有效
发明人：罗曼·古铁雷斯;托尼·唐;刘晓磊;马修·恩格;王桂芹 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：提供了一种简化的MEMS制造工序和MEMS装置，允许制造更便宜和更轻的MEMS装置。该工序包括将多个孔或其它特征图案蚀刻到MEMS装置中，然后蚀刻掉下面的晶片，使得在蚀刻工序之后，MEMS装置是所需的厚度并且单独的模具被分离，从而避免晶片减薄和模具切割的额外步骤。通过将沟槽蚀刻到衬底晶片中，并用MEMS基材将其填充，具有较大力的精密较高的MEMS装置可以被制造。
mems 装置制造方法通过工序制备

[发明专利]一种在MEMS装置中形成多个布线层的方法-CN201680070114.0有效
发明人：罗曼·古铁雷斯;托尼·唐;刘晓磊;王桂芹;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：一种用于控制MEMS装置的结构特性的系统和方法，包括：将多个孔蚀刻到所述MEMS装置的表面中；其中多个孔包括被确定为MEMS装置提供所需的特定的结构特性的一个或多个几何形状。
一种 mems 装置形成布线方法

[发明专利]用于能源节约的控制接口解决方案-CN201080051956.4有效
发明人：优瑟夫·A·罗勒迪;马克西米·凯耶尔;托尼·唐;米罗斯拉夫·盖洛 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-11-16 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G05B11/48 文献下载
摘要：本发明提供用于电子装置制造系统的增强控制的方法和装置。在一些实施例中，集成辅助生产层系统可以经由装置的开放平台而使用以太网和/或RS232串行通信，以在电子装置制造期间实现减少的碳足迹。对于本示例，系统可以包括处理工具集和控制器，处理工具集和控制器由传感器或软件连接而与可以在一个或多个能量消耗状态下操作的一个或多个辅助生产层或本地工厂辅助系统进行互连。根据处理的需要，这些一个或多个辅助系统可以经由控制器在能量消耗的不同等级之间切换。对于许多辅助组件或系统而言，集成辅助生产层利用现有的信号输出，对其辅助组件或系统而言，集成辅助生产层可以利用次级传感器或监视器。
用于能源节约控制接口解决方案

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