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[发明专利]改性隧穿氧化层及制备方法、TOPCon结构及制备方法和太阳电池-CN202210803527.2在审
发明人：闫宝杰;曾俞衡;邢海洋;叶继春;刘伟;廖明墩;马典;林娜;丁泽韬 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种改性隧穿氧化层及制备方法、TOPCon结构及制备方法和太阳电池，所述改性隧穿氧化层为经等离子体表面处理的SiOx，Si4+含量在SiOx中的占比大于等于18％。相比于现有技术制备的氧化硅层而言，硼在改性氧化硅层中的扩散速率低，从而有效减少了硼对隧穿氧化层的破坏作用，提高了氧化硅层的完整性，保持了化学钝化效果，这种改性隧穿氧化层能显著提升TOPCon结构的性能指标。
改性氧化制备方法 topcon 结构太阳电池

[发明专利]超薄氮氧化硅界面材料、遂穿氧化钝化结构及其制备方法和应用-CN202210368180.3在审
发明人：叶继春;曾俞衡;邢海洋;马典;刘伟;闫宝杰;廖明墩 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明提供一种超薄氮氧化硅界面材料、遂穿氧化钝化结构及其制备方法和应用，所述超薄氮氧化硅界面材料为SiON薄膜，厚度为1nm‑4nm，所述SiON薄膜中N原子百分含量为1％‑40％。本发明的超薄氮氧化硅界面材料具有高含氮量的特点，相比于氧化硅而言，硼在SiON薄膜中的扩散速率低，从而有效减少了硼对SiON薄膜的破坏作用，提高了SiON薄膜的完整性，保持了化学钝化效果，高氮浓度的SiON薄膜可以显著降低硼在硅表面的浓度，从而降低硼缺陷；另外SiON薄膜的能带结构接近氮化硅，其价带带阶比较小，有利于空穴传输，提升了空穴传输效率和空穴选择性，从而改善了钝化质量，也有利于降低接触电阻率。
超薄氧化界面材料钝化结构及其制备方法应用

[实用新型]适用于PECVD设备的臭氧输送及喷淋双层石英管道-CN202023183427.X有效
发明人：曾俞衡;周玉龙;孙烨;张庶;廖明墩;马典 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的臭氧输送及喷淋双层石英管道，包括：内部中空的管体，所述管体包括：内部中空的外管；以及内部中空的内管，所述内管设于所述外管内部；所述外管与所述内管之间限定出氮气通道，所述内管内部设有臭氧通道，所述氮气通道外接有氮气循环装置以使得氮气在所述氮气通道内循环输送，所述臭氧通道外接有臭氧存储装置，所述臭氧存储装置为所述臭氧通道提供臭氧。根据本实用新型，其通过设置双层石英管道，在氮气通道内部流通氮气，在臭氧通道内流通臭氧，以使得内管的温度可降温至100℃以下，可有效的避免臭氧通道内臭氧在输送过程中被大量分解而影响氧化层的质量。
适用于 pecvd 设备臭氧输送喷淋双层石英管道

[发明专利]钝化接触结构及其制备方法和应用-CN202110466085.2在审
发明人：叶继春;曾俞衡;闫宝杰;刘尊珂;廖明墩;马典;韩庆玲;程皓;郑晶茗;刘伟 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种钝化接触结构，属于太阳能电池领域，它包括有衬底，所述衬底的一个表面或两个表面上依次集成有碳氧化硅钝化层和掺杂多晶硅层。本发明实施例提供了一种钝化接触结构，其采用碳氧化硅钝化层替代现有的超薄氧化层，碳氧化硅钝化层中由于碳元素的加入，会调节碳氧化硅钝化层薄膜的膨胀系数，提高其稳定性，保证其完整性；本发明实施例还提供了一种钝化接触结构的制备方法，其采用碳氧化硅钝化层替代现有的超薄氧化层，在长时间高温条件下，碳氧化硅钝化层界面处的氢不易向外释放，掺杂多晶硅中的掺杂原子不会过度扩散；本发明实施例还提供了一种钝化接触结构的应用，应用于太阳能电池，提高电池效率。
钝化接触结构及其制备方法应用

[发明专利]一种下纸视觉引导系统及引导方法-CN201910778177.7有效
发明人：刘辉;胡浩波;马典 -专利权人：深海弈智京山智能科技有限公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： B65B57/14 文献下载
摘要：一种下纸视觉引导系统，它包括输送单元，输送并摞起一定高度的纸板；图像采集设备单元一，用于捕捉摞起一定高度的纸板停靠在输送单元的图像以生成图像；图像采集设备单元二，用于捕捉摞起一定层数的栈板的图像以生成图像；本发明涉及智能制造领域，具体涉及一种下纸视觉引导系统。本发明优点是：实现自动下纸，降低工作人员的劳动强度，提高下纸效率。
一种视觉引导系统方法

[实用新型]一种用于物流线运输的伸缩阻挡门-CN201920709106.7有效
发明人：刘辉;戴腾飞;马典 -专利权人：深海弈智京山智能科技有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： E06B11/02 文献下载
摘要：一种用于物流线运输的伸缩阻挡门，龙门骨架（1）通过膨胀螺栓固定于地面，龙门骨架（1）上设置有进出口通道，第一木门（2）和第二木门（3）分别通过木门驱动装置安装在龙门骨架（1）上，并通过木门驱动装置带动第一木门（2）和第二木门（3）相对移动，以实现开启或关闭龙门骨架（1）上的进出口通道，所述的第一木门（2）和第二木门（3）处于关闭状态时，第一木门（2）和第二木门（3）与地面之间形成移动机器人小车穿过通道。本实用新型优点是：本伸缩阻挡门采用龙门结构，主要由两个主体立柱，两个横向移动门，一个连接横梁组成。主体采用优质碳钢型材焊接拼接制作，表面喷塑，牢固可靠美观耐冲击，结构简单易于制作安装。
一种用于物流运输伸缩阻挡

[发明专利]一种上纸控制系统-CN201910526748.8在审
发明人：刘辉;曾文兵;李琪;马典 -专利权人：深海弈智京山智能科技有限公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： B31B50/04 文献下载
摘要：一种上纸控制系统，其特征在于它包括第一传感器单元，用于检测产品是否放置到指定地点；图像采集单元，用于采集待加工纸板位置，并生成图像；工控机单元，接收PLC单元的拍照信号，并将该信号传输至图像采集单元；机械手（10），接收PLC单元的偏移值数据，并对该偏移值调节抓取纸板的位置，执行PLC单元移动命令,机械手（10）上还设置有随机械手（10）运动的上纸机构，本发明优点是：通过本装置实现了自动化的纸板搬运，减少了人工，加快了生产节奏。
机械手图像采集单元控制系统偏移纸板上纸抓取第一传感器工控机单元上纸机构生产节奏生成图像信号传输移动命令纸板位置装置实现搬运拍照自动化采集检测加工