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- [发明专利]自动回馈修正的曝光方法与系统-CN02101701.8有效
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陈政明;张文豪;邱云贵
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南亚科技股份有限公司
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2002-01-11
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2003-07-23
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G03F7/20
- 一种自动回馈修正的曝光方法与系统,该方法包括以下步骤:提供一第一及第二晶圆;使用一第一参数组对第一晶圆进行一第一层图案的曝光;使用一第二参数组对第一晶圆进行一第二层图案与第一层图案的对准;对第一晶圆进行测量而取得第一及第二参数组的修正值;使用第一参数组的修正值修正第一参数组并使用修正后的第一参数组对第二晶圆进行第一层图案的曝光;使用第二参数组的修正值修正第二参数组并使用修正后的第二参数组对第二晶圆进行第二层图案与第一层图案的对准;对应于上述方法,本发明的曝光系统包括:一曝光装置、一测量装置、以及一处理装置。
- 自动回馈修正曝光方法系统
- [发明专利]电子产品电路讯号定位检测系统及其方法-CN01144715.X无效
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陈政明
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瀚宇彩晶股份有限公司
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2001-12-21
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2003-07-02
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G01R31/00
- 一种电子产品电路讯号定位检测系统及其方法。为提供一种检测显示器损坏部位、以有效修复不良部件、降低制造成本的电子产品检测系统及其方法,提出本发明,其系统包括设有透明工作区的载物台、载物台移动机构、升降机构、组设于升降机构上的探针、与探针连接的测试器、移动机构、装置于移动机构上的影像感应器及与影像感应器连接的影像显示器;探针及影像感应器分别对应位于载物台上、下方;本发明方法调整影像感应器与探针对准;置放透明基板;连接信号产生器;聚焦待检测物影像;调整载物台令受测端点的影像显示于荧幕的十字记号的中心;调整探针与受测端点接触;由测试器经探针接收来自透明基板受端点的输出讯号。
- 电子产品电路讯号定位检测系统及其方法
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