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[发明专利]基座及其制造方法-CN201880046563.0有效
发明人：大洼修一;高桥辉;铃木俊哉;薄叶秀彦 -专利权人：新日本科技炭素株式会社
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种温度控制的响应性提升了的基座及其制造方法，且目的在于无损生产性而获得高品质的晶片制品。所述基座，通过感应加热而发热，所述基座的特征在于具有石墨基材与陶瓷涂布层，且石墨基材的室温下的面内的比电阻分布的偏差(ρmax/ρmin)为1.00～1.05，800℃与1600℃下的比电阻的高温变化率(ρ1600/ρ800)为1.14～1.30。
基座及其制造方法

[发明专利]电动机驱动装置-CN202111489460.1在审
发明人： 铃木俊哉;吉田秋央 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H02P6/28 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种即使在电源电压产生急剧变动的情况下，也能够抑制电动机驱动的不稳定状态的电动机驱动装置。本发明是一种电动机驱动装置，具有：电源电压急剧变动检测部，检测电源电压的上升方向的急剧变动；电源电压变动幅度产生部，检测所述电源电压的变动幅度；及电流限制值设定部，在由所述电源电压急剧变动检测部检测出所述急剧变动的情况下，使电流限制值从通常值降低与检测出的所述电源电压的所述变动幅度对应的修正幅度，而进行修正。
电动机驱动装置

[发明专利]衬底处理装置中的等离子体-CN202010564372.2在审
发明人： N·霍尔姆;铃木俊哉 -专利权人：皮考逊公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及衬底处理装置中的等离子体。衬底处理装置(100)及相关方法，其中等离子体物质经由等离子体进料线(115)而被引入到针对沉积目标(160)的反应室(130)中。等离子体进料线(115)经过等离子体形成区。在等离子体进料线内的等离子体物质的速度通过等离子体形成区下游的收缩部(112)而加速。
衬底处理装置中的等离子体

[发明专利]石墨材料-CN201880009042.8有效
发明人：薄叶秀彦;铃木俊哉 -专利权人：新日本科技炭素株式会社
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C04B35/52 文献下载
摘要：本发明提供一种利用焦耳发热的石墨材料中不添加金属系杂质且室温下的电阻与高温下的电阻的平衡良好者。一种石墨材料，其25℃下的固有电阻(ρ25)为10.0μΩ·m以上且12.0μΩ·m以下，1600℃下的固有电阻(ρ1600)为9.5μΩ·m以上且11.0μΩ·m以下，25℃与1600℃的固有电阻之比(ρ1600/ρ25)为0.85以上且1.00以下，显示最小固有电阻值(ρmin)的温度为500℃以上且800℃以下，最小固有电阻与25℃下的固有电阻之比(ρmin/ρ25)为0.70以上且0.80以下，以及体积密度为1.69g/cm3以上且1.80g/cm3以下。
石墨材料

[发明专利]对氧化硅膜进行沉积后处理的方法-CN201910079096.8在审
发明人： 铃木俊哉 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种用于对氧化硅膜进行沉积后处理的方法，包括：在反应空间中提供具有其上沉积有氧化硅膜的凹陷部图案的衬底；在不存在成膜前体的情况下将用于重整所述氧化硅膜的重整气体供应到所述反应空间，所述重整气体主要由He和/或H₂组成；以及在压力为200Pa或更小的所述反应空间中用微波照射所述重整气体，以产生直接微波等离子体，所述衬底暴露于所述直接微波等离子体，从而对所述氧化硅膜进行重整。
氧化硅膜反应空间重整气体沉积微波等离子体后处理衬底重整微波照射凹陷部成膜前体图案暴露

[发明专利]用于填充间隙的方法和设备-CN201780044443.2在审
发明人： V·珀尔;W·科内鹏;B·琼布罗德;D·皮尔勒;G·范德尔斯达;铃木俊哉 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：提供一种通过在反应室中提供基底并进行以下操作来填充一个或多个间隙的方法：以第一剂量将第一反应物引入到所述基底上，由此在第一区域上由所述第一反应物形成不超过约一个单层；以第二剂量将第二反应物引入到所述基底上，由此在表面的第二区域上由所述第二反应物形成不超过约一个单层，其中所述第一和所述第二区域在其中所述第一和第二反应物发生反应的重叠区域中重叠，并留下其中所述第一和所述第二区域不重叠的初始未反应区域；及以第三剂量将第三反应物引入到所述基底上，所述第三反应物与残留的在所述初始未反应区域上的所述第一或第二反应物发生反应。
反应物基底第二区域反应区域单层填充引入方法和设备第一区域重叠区域不重叠反应室残留

[发明专利]通过使用负偏压的PEALD沉积膜的方法-CN201810671234.7在审
发明人： 铃木俊哉 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种通过PEALD在衬底上形成膜的方法包含沉积循环，每个沉积循环包含：(i)以脉冲形式将前体馈送到反应空间以使前体吸附在衬底的表面上；(ii)在步骤(i)之后，将RF功率施加于第二电极以在所述反应空间中产生等离子体，前体吸附的所述表面暴露于所述等离子体，由此在所述表面上形成子层；以及(iii)在步骤(ii)中施加RF功率时将偏置电压施加于所述第二电极，参考第一电极的表面上的电位，所述偏置电压为负，其中所述循环重复以沉积多个子层，直到由所述子层构成的膜具有所要厚度。
前体等离子体沉积循环第二电极反应空间偏置电压施加衬底吸附子层电位表面暴露第一电极脉冲形式循环重复沉积膜负偏压沉积参考

[发明专利]电机驱动电路和使用它的冷却装置、电子设备-CN201110150061.2有效
发明人：石井裕之;清水立郎;幸村伸生;铃木俊哉 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2011-03-25 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： H02P6/16 文献下载
摘要：本发明提供不易受到霍尔传感器偏差的影响的电机驱动技术。第一A/D转换器(ADC1)、第二A/D转换器(ADC2)分别将霍尔信号的第一信号(S1)、第二信号(S2)进行模拟数字转换，生成数字的第三信号(S3)、第四信号(S4)。差动变换电路(14)生成与第三信号(S3)、第四信号(S4)的差分对应的单端的第五信号(S5)。偏移补偿电路(16)补偿第五信号(S5)的偏移，生成第六信号(S6)。振幅控制电路(18)将第六信号(S6)的振幅稳定为规定的目标值，并且将该值取绝对值，生成第七信号(S7)。控制信号生成单元(24)基于第七信号(S7)生成控制信号(SCNT)。驱动器电路(26)基于控制信号(SCNT)驱动电机。
电机驱动电路使用冷却装置电子设备

[发明专利]电机驱动电路和使用它的冷却装置、电子设备-CN201110129794.8有效
发明人：清水立郎;石井裕之;幸村伸生;铃木俊哉 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2011-03-25 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： H02P6/08 文献下载
摘要：本发明提供不易受到霍尔传感器的偏差影响的电机驱动技术。第一A/D转换器(ADC1)、第二A/D转换器(ADC2)分别将霍尔信号的第1信号(S1)、第2信号(S2)进行模拟数字转换，生成数字的第3信号(S3)、第4信号(S4)。差动变换电路(14)生成与第3信号(S3)、第4信号(S4)的差分对应的单端的第5信号(S5)。偏移补偿电路(16)生成第6信号(S6)。振幅控制电路(18)将第6信号(S6)的振幅稳定为规定的目标值，并且将该值取绝对值，生成第7信号(S7)。驱动器电路(26)基于控制信号生成单元(24)根据第7信号生成的控制信号(SCNT)，驱动电机。
电机驱动电路使用冷却装置电子设备

[发明专利]电机驱动装置、驱动方法及使用了它的冷却装置-CN200910003394.5无效
发明人： 铃木俊哉 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2009-01-22 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： H02P29/00 文献下载
摘要：提供一种以所希望的转矩驱动电机的电机驱动装置、驱动方法及使用了它的冷却装置。第1电容器(C1)一端的电位被固定。充放电电路(20)通过与指示电机的转速的输入信号(S1)相应的电流(Ict)来对第1电容器进行充放电。第1比较器(CMP1)将第1电容器(C1)的电压(Vct)与预定的阈值电压(Vth)进行比较。控制信号生成部(30)生成具有与同步于电机的旋转的周期信号(FG)的边沿和从第1比较器(CMP1)输出的比较信号(S2)的边沿的定时相应的电平的控制电压(Vcont)。进而，控制信号生成部(30)基于周期信号和比较信号的边沿来切换充放电电路的充放电状态。电机被以与控制电压相应的转矩驱动。
电机驱动装置方法使用冷却

[发明专利]旋转位置检测装置及使用该装置的记录再现装置-CN200410095486.8无效
发明人：藤井教夫;铃木俊哉 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2004-10-14 - 公布日： 2005-08-03 - 主分类号： G11B19/00 文献下载
摘要：一种使用无传感器电动机的信息记录再现装置的旋转位置检测装置，该旋转位置检测装置检测电动机的多个磁极中的一个磁极的磁通量与其它的磁极的磁通量不同的转子旋转基准位置。在该旋转位置检测装置中，在转子的外部的规定位置配置有线圈。伴随着转子的旋转，对应的磁通量的变化，基于线圈感应信号的电平变化生成表示旋转基准位置的标记信号。这样，不使用霍尔元件作为传感器，减少设计上的限制且降低成本，可以伴随着磁盘的旋转产生标记信号。
旋转位置检测装置使用记录再现

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