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[发明专利]控制阀和控制回路-CN201810950510.3有效
发明人：芮守祯;何茂栋;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F16K11/02 文献下载
摘要：本发明涉及控制领域，特别是涉及控制阀、控制回路。控制阀包括阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其第一输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第一旁通道连通，则自第一输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第一旁通道；第二输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第二旁通道连通，则自第二输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第二旁通道；由此，通过增加旁通的设计，阀芯不仅能够控制两种物质的混合比例，同时能够控制两种物质回路各自的旁通比例，使两种物质的流通回路不受混合比例的影响，提高了设备运行的可靠性，简化管路设计，提高阀门控制精度。
控制回路

[发明专利]半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法-CN201710433375.0有效
发明人：何茂栋;芮守祯;孙华敏;张坤;韩玉东;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G05D23/19 文献下载
摘要：本公开涉及一种半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法。所述温控设备包括压缩机(1)、冷凝器(2)、电子膨胀阀(3)、蒸发器(4)、水泵(5)、加热器(6)、温度传感器(7)和可编程控制器(8)，所述温度传感器设置在加热器的出口处，温度传感器与所述可编程控制器相连，所述可编程控制器与所述电子膨胀阀直接相连。所述控制方法包括：所述可编程控制器获取所述温度传感器采集到的循环液温度；将所获取的循环液温度与目标温度进行对比计算；根据对比计算的结果确定应向所述电子膨胀阀输出的脉冲数及脉冲方向；向所述电子膨胀阀输出确定出脉冲数及脉冲方向的脉冲。通过上述技术方案，能够提高温控设备的温控精度及系统兼容性。
半导体生产温控设备及其电子膨胀控制方法

[发明专利]晶圆自动寻心装置-CN201710148165.7有效
发明人：何茂栋;芮守祯;周奕萌;肖钢;韩玉东;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-03-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆自动寻心装置，包括：机械手，用于对晶圆进行取放；驱动机构，用于对所述机械手进行驱动，从而使所述机械手移动；以及控制装置，用于对所述驱动机构进行控制，所述机械手设有多个光传感器，当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时，所述光传感器被晶圆遮断因而被触发，所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。
自动装置

[发明专利]一种桥式双向控温系统-CN201710513500.9有效
发明人：芮守祯;何茂栋;刘紫阳;孙华敏;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： F25B29/00 文献下载
摘要：本发明提出的一种桥式双向控温系统，属于温控设备技术领域，包括压缩机、压力控制装置、冷凝器、储液罐、干燥过滤器、视液镜、蒸发器和气液分离器、冷旁通路、热气旁通路，由4个单向阀构成的桥式单向阀组以及由四个电磁阀构成的桥式电磁阀组；通过切换桥式电磁阀组两个电磁阀与另两个电磁阀的不同开关状态，使得本双向控温系统处于制冷或热泵模式；同时，通过该桥式电磁阀组有效解决常规四通换向阀使用寿命短的缺陷；本桥式双向控温系统可节约运行时的能耗，起到节能作用。
一种双向系统

[发明专利]基于过热度控制电子膨胀阀的方法及装置-CN201811045617.X有效
发明人：常鑫;芮守祯;何茂栋;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： F25B41/06 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种基于过热度控制电子膨胀阀的方法及装置。其中，所述方法包括：根据过热度获取平均过热度，采用所述平均过热度计算并获取过热度高标志或过热度低标志；根据所述过热度高标志或过热度低标志，对电子膨胀阀修正值进行修正，并根据修正后的电子膨胀阀修正值控制电子膨胀阀的打开程度。本发明实施例提供的基于过热度控制电子膨胀阀的方法及装置，通过平均过热度确定过热度高标志或过热度低标志，再根据两种过热度标志对电子膨胀阀修正值进行修正，进而控制电子膨胀阀的开度，从而实现对温控设备温度的有效调节。
基于热度控制电子膨胀方法装置

[实用新型]一种带旁通口的多路流量及温度控制阀-CN201920521962.X有效
发明人：杨春水;司马超;陈彦岗;张蒙;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： F16K11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种带旁通口的多路流量及温度控制阀，包括控制阀主体、出水管道、热进水管道、冷进水管道、热回流管道、冷回流管道、控制端口、制动锁件和转动手柄，涉及温度控制领域，通过设置5个管道和控制阀主体来进行温度控制，通过冷热水混流可以实现温度的无级变换，且多余的冷水和热水能够互不干扰的重新回流，节约能源，且设置温度计能够准确控制循环液的温度，设置制动锁件和转动手柄既能控制冷热水混流比例，又能保持该比例，本实用新型不仅能够控制冷热回路的混合比例，而且能够保证回流液体不互相干扰，同时提高阀门控制精度和系统运行可靠性。
本实用新型控制阀主体进水管道转动手柄冷热水制动锁混流系统运行可靠性热回流管道温度控制阀出水管道阀门控制互不干扰互相干扰回流液体控制端口准确控制温度计冷回流旁通口循环液多路冷热无级节约能源保证

[实用新型]控制阀和控制回路-CN201821341874.3有效
发明人：芮守祯;何茂栋;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： F16K11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及控制领域，特别是涉及控制阀和控制回路。控制阀包括阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其第一输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第一旁通道连通，则自第一输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第一旁通道；第二输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第二旁通道连通，则自第二输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第二旁通道；由此，通过增加旁通的设计，阀芯不仅能够控制两种物质的混合比例，同时能够控制两种物质回路各自的旁通比例，使两种物质的流通回路不受混合比例的影响，提高了设备运行的可靠性，简化管路设计，提高阀门控制精度。
输入通道旁通道阀芯混合输出控制阀控制回路旁通连通本实用新型阀门控制管路设计流通回路设备运行

[实用新型]一种温度负载模拟控制系统-CN201822168029.7有效
发明人：董春辉;常鑫;刘紫阳;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种温度负载模拟控制系统，该系统包括调节模块和控制模块，调节模块与控制模块连接；调节模块用于模拟负载的出口温度，调节模块的调节参数根据控制模块设定。本实用新型通过控制模块模拟负载出口温度的实际变化，使得控制模块的出口温度接近负载出口温度的实际变化，从而使调节模块能针对控制模块的出口温度调节出对应的调节参数，因此在实际应用中，调节模块能准确调节负载内部的温度，提高了对负载内部温度调节的准确性，且可减少到达负载现场，调节半导体温度控制装置的调节参数的次数，节约了人力成本和时间，提高了对负载内部温度调节的效率。
控制模块模拟控制系统内部温度调节本实用新型模拟负载温度负载出口温度控制装置负载出口人力成本温度调节半导体节约应用

[实用新型]半导体温控装置的测试设备-CN201821638515.4有效
发明人：何茂栋;芮守祯;常鑫;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种半导体温控装置的测试设备，包括：多个电位器，以及一侧与待测试半导体温控装置上的模拟量输入接口匹配的输入插头；每个电位器的动触点分别与所述输入插头的另一侧的一个子插头连接，每个电位器的一固定端均与直流电源连接，每个电位器的另一固定端均接地。本实用新型实施例提供的半导体温控装置的测试设备，通过设置输入插头以及多个电位器，可以实现模拟量输入接口中每个模拟量输入子接口分别独立测试，也可以实现多个模拟量输入子接口同时测试，效率高且更直观，操作简单，易于实现。
电位器半导体温控测试设备输入插头模拟量输入接口本实用新型模拟量输入固定端子接口直流电源连接测试半导体独立测试温控装置接地动触点子插头匹配直观测试

[实用新型]半导体温控装置的测试设备-CN201821638561.4有效
发明人：何茂栋;芮守祯;常鑫;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种半导体温控装置的测试设备，包括：拨码开关，以及一侧与半导体温控装置上的开关量输入接口匹配的输入插头；所述输入插头的另一侧的每一子插头分别与所述拨码开关的一位的一端连接，所述拨码开关的一位的另一端与直流电源连接。本实用新型实施例中提供的半导体温控装置的测试设备，通过设置拨码开关以及输入插头，可以实现开关量输入接口中每个开关量输入子接口分别独立测试，也可以实现多个开关量输入子接口同时测试，效率高且更直观，操作简单，易于实现。
半导体温控拨码开关测试设备输入插头开关量输入接口本实用新型开关量输入子接口直流电源连接独立测试一端连接子插头匹配直观测试

[实用新型]一种半导体废气的洗涤设备-CN201821089659.9有效
发明人：张坤;杨春涛;曹小康;杨春水;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体废气的洗涤设备，涉及洗涤设备技术领域。该半导体废气的洗涤设备，包括吸灰装置和洗涤装置，所述吸灰装置的内壁底端固定安装有伺服电机，且吸灰装置的内壁固定安装有弹簧，所述弹簧的一侧固定安装有支架，所述支架之间固定安装有吸附板，所述伺服电机的上方设置有滚筒，所述滚筒的上端外表面固定安装有轴承，所述吸灰装置的上端外表面固定安装有第一气泵，所述第一气泵的上端外表面固定安装有第一风机。该半导体废气的洗涤设备，有效地将废气中的粉尘分离出来并收集，防止粉尘随废气一起排出设备外造成环境污染，危害到人体健康，使排出的废气达到排放标准，使废气能够被净化地更加彻底。
洗涤设备半导体废气吸灰装置上端外表面废气伺服电机滚筒弹簧内壁气泵支架本实用新型粉尘分离排出设备排放标准人体健康洗涤装置吸附板有效地风机底端排出轴承粉尘净化

[实用新型]一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置-CN201821138802.9有效
发明人：杨春水;司马超;张坤;曹小康;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括水洗腔体、进气口法兰、出气口法兰和出水口法兰，进气口法兰和出气口法兰竖直焊接在水洗腔体的顶部左侧和右侧，出水口法兰竖直焊接在水洗腔体的底部，水洗腔体的下方设有废水箱，废水箱的顶部设有进水口法兰，出水口法兰通过连接管和废水箱的进水口法兰连接，水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一和喷水口法兰二，水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三，喷水口法兰内设有喷头。废气中含有的粉尘经过前端水洗喷淋装置后，粉尘与水结合掉落到装置底部并顺着水流冲洗到废水箱中。
水洗腔废水箱喷水口法兰出水口法兰水洗喷淋出气口法兰进气口法兰进水口法兰粉尘环境水平焊接酸性气体竖直焊接粉尘半导体制造过程喷头本实用新型处理设备工艺气体水流冲洗连接管掉落废气

[实用新型]一种半导体制程废气的燃烧处理装置-CN201821079320.0有效
发明人：杨春水;曹小康;司马超;张坤;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体制程废气的燃烧处理装置，涉及工业环保设备技术领域。该制程废气的燃烧处理装置，包括除尘箱，所述除尘箱左侧连通有进气管，所述进气管上设置有第一风机，所述除尘箱顶部连通有第二风机，所述第一输气管上设置有干燥器，所述第一输气管右端连通有燃烧箱，所述燃烧箱内部固定连接有陶瓷传热板，所述燃烧箱左侧连通有第三风机，所述燃烧箱顶部固定安装有液化气箱体，所述燃烧箱右侧连通有出气管。该半导体制程废气的燃烧处理装置，通过设置除尘箱，使得气体更为流畅的通过装置，通过设置装置箱，对初步过滤的气体进行酸碱中和，通过设置燃烧箱，使得充分燃烧的气体可以通过出气口进入到大气中。
燃烧箱燃烧处理装置连通除尘箱半导体制程废气风机进气管输气管设备技术领域本实用新型充分燃烧初步过滤工业环保内部固定设置装置酸碱中和通过装置出气管出气口传热板干燥器制程液化气陶瓷

[实用新型]一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器-CN201821080916.2有效
发明人：杨春水;曹小康;司马超;张坤;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，涉及粉尘过滤器技术领域。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括过滤器外壳，所述过滤器外壳的内部活动安装有腔体，所述腔体的左侧外表面连通有进气管，所述进气管的外表面固定安装有第一气泵，所述腔体的一侧设置有集尘槽，所述集尘槽的内部固定安装有静电吸附板。该装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，很好地对废气中的粉尘进行了过滤，并对粉尘进行收集，防止粉尘对设备内部和外部造成污染，以及对人体造成危害，能够对集尘槽内部的粉尘进行集中清理，以及便于对该粉尘过滤器进行维护检修，拆装简单便捷。
粉尘过滤器半导体废气处理设备装设粉尘集尘槽腔体过滤器外壳进气管本实用新型静电吸附板活动安装内部固定对设备拆装气泵过滤连通废气检修外部污染维护

[实用新型]一种半导体废气净化设备-CN201821089652.7有效
发明人：司马超;陈彦岗;张坤;杨春水;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体废气净化设备，涉及废气净化设备技术领域。该半导体废气净化设备，包括除尘器，所述除尘器的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口，所述第一进气口的外表面固定安装有第一气泵，所述除尘器的内部底端位置固定安装有积水槽，所述积水槽的内部活动安装有滤尘网，所述除尘器的顶端固定安装有水箱，所述水箱的内部固定安装有滤膜，且水箱的左侧固定安装有第一水泵，所述水箱与积水槽之间固定安装有回流管。该半导体废气净化设备，能够对废气中含有的粉尘进行很好地分离并收集，还能够对水进行循环利用，节约了水资源，废气得到了净化，使有害物质与废气有效地分离。
半导体废气净化设备除尘器水箱积水槽进气口废气废气净化设备本实用新型底端位置活动安装内部固定上方位置循环利用回流管滤尘网有效地滤膜气泵连通水泵粉尘水资源净化节约

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