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[发明专利]半导体废气处理设备的温度仿真方法、温控方法及系统-CN202210771331.X在审
发明人：李轩;宁腾飞 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06F30/28 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体废气处理设备的温度仿真方法、温控方法及系统，半导体废气处理设备的温度仿真方法包括：简化半导体废气处理设备模型，获取流体经过区域的计算域；将计算域进行网格划分；建立半导体废气处理设备的运行参数的边界条件；根据计算流体动力学原理和边界条件，获得半导体废气处理设备的温度仿真参数。通过仿真计算得到半导体废气处理设备内整体的温度分布情况，并且识别关键位置的温度值，以及整体温度的最大值/最小值，使半导体废气处理设备的温度全场化和可视化。
半导体废气处理设备温度仿真方法温控系统

[实用新型]适用于半导体制造设备的废气处理系统及半导体制造设备-CN202123446469.2有效
发明人：杨春水 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及废气处理领域，提供一种适用于半导体制造设备的废气处理系统及半导体制造设备。适用于半导体制造设备的废气处理系统包括若干封闭室，各封闭室内设置有真空泵和废气处理装置；排风管路，流体连通于封闭室；消防管路，流体连通于封闭室。该适用于半导体制造设备的废气处理系统能够节省建筑施工成本，还能够将废气处理装置产生的热量以及潜在的废气及时排走，能够火情进行及时的消除。降低了相关技术中半导体制造设备的废气处理系统中容易出现的火灾、爆炸等危险事宜出现的可能性，提高了半导体制造设备的废气处理系统的安全处理能力。
适用于半导体制造设备废气处理系统

[实用新型]汽车燃料废气发电装置-CN200720033008.3无效
发明人：苏西安;杨小波 -专利权人：西安申科电子研究所
申请日： 2007-12-03 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： F01N5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种汽车燃料废气发电装置，包括废气排放管金属外壳和废气排放管内壁，所述废气排放管金属外壳与废气排放管内壁之间设置有半导体N材料层、半导体P材料层和导电层，有半导体N材料层与半导体P材料层之间以及导电层与废气排放管内壁之间均设有绝缘层，废气排放管内壁内侧为废气通道；所述半导体N材料层和半导体P材料层均连接有电源输出导线。本实用新型采用珀尔效应的可逆变化，利用废气发电，将汽车发动机工作时排放的燃料热能发电，向汽车电源系统提供电能，节约燃料20－50％。并且有助于促进燃料/电动双动力汽车的发展。
汽车燃料废气发电装置

[发明专利]半导体废气处理设备和半导体废气处理设备的维护方法-CN202211143522.8在审
发明人：宁腾飞 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本申请提供一种半导体废气处理设备和半导体废气处理设备的维护方法，半导体废气处理设备包括支架组件、反应腔、冷却腔和洗涤腔。支架组件包括第一滑轨和第二滑轨；反应腔设置于第一滑轨，半导体制程产生的废气生成于反应腔内；冷却腔设置于支架组件，冷却腔的侧面设置有冷却腔法兰，且冷却腔装配连通于反应腔的下游，半导体制程产生的废气经由反应腔进入冷却腔内冷却；洗涤腔设置于第二滑轨，洗涤腔装配连通于冷却腔的下游，半导体制程产生的废气经由冷却腔冷却后进入洗涤腔内。本申请简化了半导体废气处理设备的结构，在安装和清洗的过程中，避免了大重部件的拆卸、安装、定位调配过程，能够有效地降低维护难度，节约维护时间和人力成本。
半导体废气处理设备维护方法

[发明专利]用于对半导体废气进行处理的净气器-CN200610103589.3有效
发明人：李瑢灿;金滢克;李相根 -专利权人：清洁系统韩国股份有限公司
申请日： 2006-07-25 - 公布日： 2007-03-07 - 主分类号： B01D53/72 文献下载
摘要：本发明公开一种用于对半导体制造工艺中产生的半导体废气进行处理的净气器，该净气器以高温火焰燃烧废气、过滤及收集废气燃烧后所产生的微粒、将滤掉了微粒的废气排出到大气中。该半导体废气处理净气器包括：供应部分，用于供应半导体废气、燃料和氧气；燃烧器，连接于供应部分而通过火焰来燃烧半导体废气；燃烧室，结合于燃烧器而使半导体废气燃烧时所产生的微粒掉落；湿塔，安装在燃烧室的侧部而使从燃烧室传送的微粒在用水吸附后掉落本发明增加了废气燃烧效率、使得微粒不会沉积在燃烧室的内壁上且使得易于对燃烧室进行维护和修复。
用于对半导体废气进行处理净气器

[实用新型]半导体有机废气处理装置-CN201921755549.6有效
发明人：刘宗泽;江新继;彭英民;蒋韦利;查国奇 -专利权人：河南环碧环保工程设备有限公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： F23G7/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了半导体有机废气处理装置，涉及半导体有机废气处理技术领域。该半导体有机废气处理装置，包括装置壳，装置壳的左侧插设有开关管，装置壳内壁的底部活动连接有装置箱，装置壳的内部固定安装有水管。该半导体有机废气处理装置，气泵通过吸管将气罩抽成负压，使过滤过的废气，经过筛板穿过隔热板喷射在挡架的底部，使气体被打散，催化剂加入装置，通过安装头进入到螺纹管中，使催化剂呈旋涡状加入到装置壳中，使催化剂和废气充分混合，燃烧设备进行燃烧，使废气被处理的更好，燃烧后的气体通过烟管排除装置壳，将半导体有机废气和催化剂进行喷洒进入，使混合的效果很好，使半导体有机废气的处理效果很好。
半导体有机废气处理装置

[发明专利]一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置-CN202310152028.6有效
发明人：程星华;杨光明;卢芳慧;曹东;李卫佳;缪怡君;赵晓妍;解敏 -专利权人：中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置，方法包括如下步骤：采集目标半导体生产工艺，以及半导体生产系统中的设备布局信息；确定生产目标半导体的目标机台组、目标机台和生产物流路径；获取第一生产节拍和第二生产节拍，结合目标半导体的生产物流路径，给出目标机台及目标机台组所产生的废气数据；获取目标机台组的废气处理信息和第三生产节拍，结合时间控制指令，给出针对半导体生产系统废气处理的动态模拟。将生产设备和腔体进程、生产节拍等参数囊括，实现了半导体生产系统废气处理动态模拟，为设备选型、管路设计、动能用量提供更精准的参考。
一种动态模拟半导体生产系统废气处理方法装置

[发明专利]非晶半导体材料的形成方法及金属硅化物的形成方法-CN201310232183.5有效
发明人：陈勇 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-06-09 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： H01L21/30 文献下载
摘要：一种非晶半导体材料的形成方法及金属硅化物的形成方法。所述非晶半导体材料的形成方法包括在半导体基底上形成半导体预备层；对半导体预备层进行紫外线照射处理至半导体预备层分解为非晶半导体材料和废气；去除废气；重复形成半导体预备层、紫外线照射处理和去除废气的步骤，直至在半导体基底上形成预定厚度的非晶半导体材料。所述金属硅化物的形成方法包括提供半导体衬底，半导体衬底中包括源区和漏区；在源区和漏区上分别形成金属层；进行第一次退火处理；采用上述非晶半导体材料的形成方法在金属层上形成非晶半导体材料；进行第二次退火处理；去除非晶半导体材料。
半导体材料形成方法金属硅

[发明专利]半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法-CN202210510704.8在审
发明人：崔汉宽;崔汉博 -专利权人：崔汉宽
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本发明公开了半导体废气处理设备用图层温度传感器及温度感应方法，属于图层温度传感器技术领域，在半导体废气处理设备内管道直径对称点上开设两组通孔，将两组外环形套至于半导体废气处理设备管道内，使其检测带位于管道直径线上，调节内螺纹套在外螺纹杆外侧的位置，以适应半导体废气处理设备管道的厚度，使其内螺纹套位于半导体废气处理设备管道的外壁，将内螺纹套插入至通孔内，然后从半导体废气处理设备管道的外侧将卡套套设在内螺纹套的外侧上
半导体废气处理备用温度传感器温度感应方法

[发明专利]半导体工程废气处理装置-CN202280005750.0在审
发明人：尹钟珌 -专利权人：等离子科学系统株式会社
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：提供一种对从半导体工程产生并向真空泵移动的废气进行处理的半导体工程废气处理装置。半导体工程废气处理装置包括：等离子体生成部，其生成等离子体；反应腔室，其通过所述等离子体分解全氟化合物生成分解气体；以及气体供应部，其将来自所述反应腔室的分解气体供应到来自所述半导体工程的废气流入并将经过处理的废气排出到所述真空泵的处理腔室，所述分解气体在所述处理腔室内与所述废气反应抑制通过所述废气的成分生成固相(solid state)的盐。
半导体工程废气处理装置

[发明专利]半导体前段设备模组的排气装置-CN201811250717.6在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体前段设备模组的排气装置，包括：集气箱，设置于废气源的下方，集气箱的顶部设置有开口面，集气箱的内部经由开口面与废气源相连通，其中所述废气源包含半导体前段设备模组；排气管路，设置于集气箱底部或侧面本发明提供了一种半导体前段设备模组的排气装置，通过引入设置于半导体前段设备模组下方的集气箱，并将废气从排气管路排出，避免了因有毒废气泄露而对周边环境造成的危害；此外，还在半导体前段设备模组内产生垂直向下的气流，减少了半导体前段设备模组内因涡流产生的颗粒污染，提高了晶圆良率。
半导体前段设备模组排气装置

[实用新型]半导体前段设备模组的排气装置-CN201821736900.2有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种半导体前段设备模组的排气装置，包括：集气箱，设置于废气源的下方，集气箱的顶部设置有开口面，集气箱的内部经由开口面与废气源相连通，其中所述废气源包含半导体前段设备模组；排气管路，设置于集气箱底部或侧面本实用新型提供了一种半导体前段设备模组的排气装置，通过引入设置于半导体前段设备模组下方的集气箱，并将废气从排气管路排出，避免了因有毒废气泄露而对周边环境造成的危害；此外，还在半导体前段设备模组内产生垂直向下的气流，减少了半导体前段设备模组内因涡流产生的颗粒污染，提高了晶圆良率。
设备模组集气箱半导体排气管路排气装置废气源本实用新型开口面废气垂直向下顶部设置颗粒污染涡流产生周边环境晶圆良率排出泄露侧面引入

[发明专利]利用汽车废气半导体温差发电装置-CN201410332483.5无效
发明人：张学义;尹红彬;任锦玲;王越 -专利权人：山东理工大学
申请日： 2014-07-14 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： H02N11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种利用汽车废气半导体温差发电装置，属于汽车电机电器技术领域，由温差发电器、稳压控制器组成，其特征在于：温差发电器由废气通道箱体、半导体热电模块、冷却水箱组成，半导体热电模块安装在废气通道箱体和冷却水箱之间，半导体热电模块由P型半导体和N型半导体组成，一端置于高温热源中，另一端置于低温冷源中，通过半导体内部空穴、电子的扩散在低温端开路中形成电位差，其输出电压通过稳压控制器后给汽车用电设备提供电能或给蓄电池充电利用半导体温差发电装置将汽车发动机排出的高温废气热能直接转化为电能，节约能源，减少排放，该装置无噪音、无污染、无机械运动部件、无化学反应、体积小、质量轻、使用寿命长。
利用汽车废气半导体温差发电装置

[发明专利]用于半导体制造设备的废气处理仿真模型构建方法及装置-CN202310168868.1有效
发明人：程星华;刘治川;李卫佳;曹东;卢芳慧;赵晓妍;缪怡君;陈保红 -专利权人：中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：发明公开了用于半导体制造设备的废气处理仿真模型构建方法及装置，方法包括如下步骤：确定半导体制造设备组，建立半导体制造设备组的数据库；搭建离散制造模块，离散制造模块采集并响应半导体目标制造工艺，包括与半导体目标制造工艺对应的逻辑单元及策略单元；建立与离散制造模块联动的化工稳态模块；基于离散制造模块和化工稳态模块，构建形成进行实时展示废气产生、处理及排放过程的废气处理仿真模型。考虑废气产生、处理及排放各阶段的状态，进行仿真模拟，既能在设计初期快速辅助计算工程用量、管道布局、废气处理效果等，还能为产能优化、辅助设备选型和节能减排等提供更准确的参考。
用于半导体制造设备废气处理仿真模型构建方法装置

[实用新型]一种半导体废气处理设备新型涡旋气体冷却腔体-CN202123069598.4有效
发明人：崔汉博;崔汉宽 -专利权人：上海高生集成电路设备有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B01D53/76 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体废气处理设备新型涡旋气体冷却腔体，包括装置本体，所述装置本体包括底座、工作箱、进气管路和反应缸，所述底座位于装置本体底部，所述工作箱安装在底座顶部，所述工作箱顶部开设有开口，所述开口顶部安装有连接顶边该种装置可以全面对半导体废气内的有毒有害物质进行全面性的分解，从而把提高半导体废气的安全性，且该种装置密封性好，可以有效地防止半导体废气在处理时泄露，进一步可以对工作人员的身体进行保护，防止半导体废气损害工作人员的生体健康
一种半导体废气处理设备新型涡旋气体冷却

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