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[发明专利]控制阀和控制回路-CN201810950510.3有效
发明人：芮守祯;何茂栋;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F16K11/02 文献下载
摘要：本发明涉及控制领域，特别是涉及控制阀、控制回路。控制阀包括阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其第一输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第一旁通道连通，则自第一输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第一旁通道；第二输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第二旁通道连通，则自第二输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第二旁通道；由此，通过增加旁通的设计，阀芯不仅能够控制两种物质的混合比例，同时能够控制两种物质回路各自的旁通比例，使两种物质的流通回路不受混合比例的影响，提高了设备运行的可靠性，简化管路设计，提高阀门控制精度。
控制回路

[发明专利]半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法-CN201710433375.0有效
发明人：何茂栋;芮守祯;孙华敏;张坤;韩玉东;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G05D23/19 文献下载
摘要：本公开涉及一种半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法。所述温控设备包括压缩机(1)、冷凝器(2)、电子膨胀阀(3)、蒸发器(4)、水泵(5)、加热器(6)、温度传感器(7)和可编程控制器(8)，所述温度传感器设置在加热器的出口处，温度传感器与所述可编程控制器相连，所述可编程控制器与所述电子膨胀阀直接相连。所述控制方法包括：所述可编程控制器获取所述温度传感器采集到的循环液温度；将所获取的循环液温度与目标温度进行对比计算；根据对比计算的结果确定应向所述电子膨胀阀输出的脉冲数及脉冲方向；向所述电子膨胀阀输出确定出脉冲数及脉冲方向的脉冲。通过上述技术方案，能够提高温控设备的温控精度及系统兼容性。
半导体生产温控设备及其电子膨胀控制方法

[发明专利]晶圆自动寻心装置-CN201710148165.7有效
发明人：何茂栋;芮守祯;周奕萌;肖钢;韩玉东;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-03-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆自动寻心装置，包括：机械手，用于对晶圆进行取放；驱动机构，用于对所述机械手进行驱动，从而使所述机械手移动；以及控制装置，用于对所述驱动机构进行控制，所述机械手设有多个光传感器，当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时，所述光传感器被晶圆遮断因而被触发，所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。
自动装置

[发明专利]减小相差的偏转器机构及扫描电镜-CN202110587261.8在审
发明人：李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请涉及减小相差的偏转器机构，包括可旋转偏转器、连接杆、固定偏转器及安装部，可旋转偏转器的旋转中轴与固定偏转器的中轴相重合，且分别安装到安装部上，可旋转偏转器与安装部转动连接，连接杆的一端与可旋转偏转器转动连接，连接杆能够带动可旋转偏转器转动，固定偏转器与安装部固定连接。通过移动连接杆，带动可旋转偏转器旋转，调节后可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角达到预先设计角度，以使使用本申请偏转器机构的扫描电镜获得最佳分辨率，尽量减少相差，不仅如此，旋转偏转器进行微调相较于机械安装，可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角具有更高的精度，有效的解决了仅靠机械安装无法保证两个偏转器安装精度的问题。
减小相差偏转机构扫描电镜

[发明专利]浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法-CN202110584640.1在审
发明人：陈喜亚;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：本申请涉及该浸没式磁透镜电子枪，包括：电子束源、电子枪阳极及磁透镜，磁透镜中心处开设有光轴通孔，顶部设置有阳极安装槽，电子枪阳极设置在阳极安装槽内，电子枪阳极的底部及侧壁与阳极安装槽的内壁相贴附，电子枪阳极的侧壁上沿向外延伸，适用于与电镜外壳固定连接，电子束源设置在电子枪阳极上方，用以向下发射电子束。通过在磁透镜顶部开设有安装槽，并将结构与其紧密配合的电子枪阳极设在安装槽中，安装过程中确保对中精度，易于电子束源与电子枪阳极对中，通过本领域实施人员操作调节件，便于电子枪阳极与磁透镜对中，进一步优化对中位置，根据荧光屏上的电子束斑位置及显微图像特点，上至下逐级微调电子光学部件，实现整体系统对中。
浸没透镜电子枪及其光轴中的方法

[发明专利]对中机构及具有其的扫描电镜-CN202110587257.1在审
发明人：李帅辰;孟庆浪;蒋磊;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈绕第一通孔设置的环状结构；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台放置在安装槽内部，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有安装孔，安装孔贯穿安装腔体设置，安装孔处安装消像散器；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁设置，第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其使得消像散器的电场中心与光轴中心重合，从而实现消像散器的对中。
机构具有扫描电镜

[发明专利]对中机构及具有其的扫描电镜-CN202110584543.2在审
发明人：李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，用于安装在扫描电镜中，对扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈环状；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有适用于安装与电子束对准的部件的安装孔；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁；第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其实现电子束的对中调节，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。
机构具有扫描电镜

[发明专利]静电场偏转器及其加工方法-CN202110584540.9在审
发明人：李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请涉及一种静电场偏转器，适用于安装在扫描电镜内，包括：偏转极板与绝缘安装座，绝缘安装座中部具有安装孔，偏转极板整体呈柱体，外侧壁与安装孔相适配，偏转极板固定在安装孔内，且偏转极板的中部具有光轴孔，光轴孔与安装孔同轴设置，其中，偏转极板沿其径向分为偶数瓣的偏转极块。包括通过将偏转极板固定在绝缘安装座内，且偏转极板的光轴孔与安装孔同轴设置，使电子束尽可能垂直的通过静电场偏转器的几何中心，又将偏转极板沿其径向平均切割成偶数瓣的偏转极块，相对的两个偏转极块形成一个静电场，有效的提高了静电场的均匀性，以使扫描电镜减小了相差，提高的分辨率，检测精度的提高能够适用于更高制程的产线。
静电场偏转及其加工方法

[发明专利]电子枪测试平台-CN202110583645.2在审
发明人：王鑫;孟庆浪;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种电子枪测试平台，包括测试腔体；测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组；移动载具模组与测试腔体的内壁固定，移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，平行移载模组设置在移动载具模组的旁侧；平行移载模组包括驱动装置、固定座、移动架和夹持件；其中，固定座固定安装在移动载具模组旁侧，固定座与测试腔体的内壁固定；驱动装置固定在固定座上，驱动装置的输出端与移动架的一侧固定连接，移动架的另一侧与夹持件转动连接；夹持件适用于夹持硅片载盒，驱动装置驱动夹持件在移动载具模组的顶部移动。其有效的解决了取放硅片带来的接驳间隙存在的误差，以及运动模组和真空馈入装置的重复定位误差。
电子枪测试平台

[发明专利]探测器检测设备及使用其进行检测探测器的方法-CN202110583614.7在审
发明人：王雅男;孟庆浪;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01T1/24 文献下载
摘要：本申请涉及一种探测器检测设备及使用其进行检测探测器的方法，包括密封腔室、移动组件、定位检测模组和检测光源模组；其中，移动组件安装在密封腔室的底部内壁上，移动组件的顶部适用于放置探测器，以使移动组件带动探测器在密封腔室的内部移动；定位检测模组和检测光源模组均可拆卸安装在密封腔室的顶部，定位检测模组和检测光源模组均伸入密封腔室的内部；定位检测模组和检测光源模组均可拆卸安装在密封腔室的同一处位置，以使定位检测模组对探测器的探测区进行定位检测后，再由检测光源模组基于探测区的定位结果对探测区进行性能检测。其可以对不同的探测器进行功能是否正常的检测。
探测器检测设备使用进行方法

[发明专利]校准OM和SEM坐标关系的方法和装置、设备和存储介质-CN202110607323.7有效
发明人：甘远;薛磊;韩春营;俞宗强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种校准OM和SEM坐标关系的方法，该校准OM和SEM坐标关系的方法包括读取由同一标准片中选取的同一标记点在工作台上的位置和标记图案，在OM模式下获取OM图像，根据OM标记图案和OM图像得到第一标记点偏移量，在SEM模式下获取SEM图像，SEM图像为控制工作台移动至第二位置处后拍照得到的图像，根据SEM标记图案和SEM图像得到第二标记点偏移量，通过第一标记点偏移量和第二标记点偏移量得到OM和SEM坐标关系。这样针对半导体制造过程中电子束检测与特征尺寸测量之前的校准过程进行了自动化处理，该方法不仅排除了人为因素以及环境因素（温度等）的影响，还提高了检测效率。
校准 om sem 坐标关系方法装置设备存储介质

[发明专利]一种桥式双向控温系统-CN201710513500.9有效
发明人：芮守祯;何茂栋;刘紫阳;孙华敏;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： F25B29/00 文献下载
摘要：本发明提出的一种桥式双向控温系统，属于温控设备技术领域，包括压缩机、压力控制装置、冷凝器、储液罐、干燥过滤器、视液镜、蒸发器和气液分离器、冷旁通路、热气旁通路，由4个单向阀构成的桥式单向阀组以及由四个电磁阀构成的桥式电磁阀组；通过切换桥式电磁阀组两个电磁阀与另两个电磁阀的不同开关状态，使得本双向控温系统处于制冷或热泵模式；同时，通过该桥式电磁阀组有效解决常规四通换向阀使用寿命短的缺陷；本桥式双向控温系统可节约运行时的能耗，起到节能作用。
一种双向系统

[发明专利]晶圆缺陷检测方法和装置、设备及存储介质-CN202011519208.6在审
发明人：马卫民;韩春营;俞宗强;蒋俊海;黄守艳;乔静;任耀辉 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆缺陷检测方法，该晶圆缺陷检测方法包括获取检测图像和参考图像，依据检测图像和参考图像进行缺陷检测得到检测图像的缺陷区域，基于缺陷区域进行再次检测得到最终的检测结果。以使初次所得到的缺陷又进行一次复查，降低了误检率。
缺陷检测方法装置设备存储介质

[发明专利]缺陷检测模型训练方法和缺陷检测方法及装置和设备-CN202011534533.X在审
发明人：韩春营;黄守艳;俞宗强;蒋俊海;马卫民;曲诚;李强 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种缺陷检测模型训练方法。该缺陷检测模型训练方法包括获取第一参考图像、第二参考图像和测试图像，依据第一参考图像、第二参考图像和测试图像进行校准得到校准图像，将校准图像和测试图像进行合成得到输入图像，将输入图像传入神经网络进行缺陷检测模型训练。如果第一参考图像、第二参考图像和测试图像中的一张图像的某个位置有缺陷，能清晰的凸显出来，从而使神经网络能训练更加具有鲁棒性的模型，从而提高缺陷检测的准确率。
缺陷检测模型训练方法装置设备

[实用新型]消像散器-CN202121164546.2有效
发明人：李帅辰;孟庆浪;蒋磊;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种消像散器，包括底座和极板；其中，所述底座呈中空筒状设置，所述底座适用于安装在扫描电镜上；所述极板设有两个以上，两个以上的所述极板均固定安装在所述底座的内壁上，两个以上的所述极板绕所述底座的内壁依次周向设置，以使两个以上的所述极板呈环形排布；每个所述极板朝向所述底座的内壁的一侧的结构与所述底座的内壁相匹配。其增加了分辨率，且减小了像散。
消像散器

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