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[发明专利]一种冷却盘体及其加工方法和用途-CN202110276206.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈春磊 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种冷却托盘及其加工方法和用途，所述冷却托盘为仿水滴形，包括内圆盘和环绕在内圆盘外的仿水滴外环，仿水滴外环设置有环绕内圆盘的圆心均匀分布的钻孔，钻孔从上到下依次设置有方形通孔、第一圆形通孔和第二圆形通孔，仿水滴外环的尖端设置有圆形铣槽，圆形铣槽设置在冷却托盘的反面，圆形铣槽上设置有环绕圆形铣槽的圆心均匀分布的第三圆形通孔，圆形铣槽上设置有环绕圆形铣槽的圆心均匀分布的螺孔，所述冷却托盘用来与其他组合件配合，形成一个平台，在半导体芯片制造过程中起到冷却作用，所述冷却托盘通过计算机数字控制机床加工分步骤进行制备，满足对冷却托盘的外形尺寸和平面度的严格要求，能够保证方法要求。
一种冷却及其加工方法用途

[发明专利]一种聚焦环件配件加工装置及其使用方法-CN202110287500.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈春磊 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B23C3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种聚焦环件配件加工装置及其使用方法，所述加工装置包括CNC四轴加工中心与夹具工装；所述夹具工装安装在所述CNC四轴加工中心的加工位上；所述夹具工装包括夹持模块和夹持配件；所述夹持模块包括夹持头与夹持臂；所述夹持头的夹持端的横截面呈三角形，且在夹持端的端部设置有扇形凹槽；所述夹持配件安装于所述夹持头上；所述夹持臂上设置有螺孔；所述夹持模块的底部设置有贯通凹槽；所述夹持模块通过夹持头配合，使所述扇形凹槽形成圆形；所述加工装置通过CNC四轴加工中心与夹具工装的配合，代替分度头，从而精确控制角度，实现自动加工，降低摇错风险及降低劳动强度，具有良好的工业应用前景。
一种聚焦配件加工装置及其使用方法

[发明专利]一种晶圆锁紧环的制备方法-CN202011333442.X有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆锁紧环的制备方法，所述制备方法先将圆柱状钛锭依次进行锻伸处理、第一热处理、热轧处理和第二热处理得到钛热轧件，然后经过粗车加工将所述钛热轧件的中心部位掏空，随后进行第三热处理得到钛环件，最后将所述钛环件按照目标尺寸进行精车加工，得到晶圆锁紧环。本发明所述制备方法在粗车加工和精车加工之间增设了第三热处理，有效防止了圆柱状钛热轧件向钛环件转变过程中变形量大的问题，进而制备得到平面度≤0.1mm的晶圆锁紧环，大大提高了成品率。
一种晶圆锁紧环制备方法

[发明专利]一种螺纹孔三坐标数据的处理方法-CN202010808464.0有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： G01B21/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种螺纹孔三坐标数据的处理方法，其包括如下步骤：记录对螺纹孔三坐标数据进行测量时所测螺纹孔的产品编号以及检测信息；以螺纹孔的顶面为基准面，沿螺纹孔的牙顶处选取起始点，根据螺距取点得到牙顶中心点坐标；沿螺纹孔的牙根处选取起始点，根据螺距取点得到牙根中心点坐标；对所得牙顶中心点坐标与所得牙根中心点坐标求平均值，得到中心点坐标，该中心点坐标于基准面的投影点为螺纹孔顶面的中心点。所述处理方法通过对螺纹孔三坐标数据进行测量时，所测螺纹孔的产品编号以及检测信息进行记录，便于螺纹孔产品发生问题时的追溯；而且，通过分别对螺纹孔内螺纹牙顶与牙根的坐标进行记录，能够得到准确的螺纹孔顶面中心点坐标。
一种螺纹坐标数据处理方法

[发明专利]一种保持环-CN202010444211.X有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种保持环，所述保持环包括第一环和第二环；所述第一环和第二环的粘结部进行喷砂处理；喷砂处理后所述第一环粘结部的粗糙度Ra为4‑8μm；喷砂处理后所述第二环粘结部的粗糙度Ra为4‑8μm。本发明中，通过保持环中粘结部位的喷砂处理，对喷砂后的粘结部的粗糙度进行了严格限制，以解决使用时产生的掉粒和脱胶问题，同时显著的提高了保持环的使用寿命。
一种保持

[发明专利]一种铝钪靶材与铝合金背板的焊接方法-CN202210238571.3在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;廖培君;沈学峰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种铝钪靶材与铝合金背板的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法为电子束焊接，所述电子束焊接的道次≥3，所述铝钪靶材中钪的含量≤20at％。所述焊接方法采用电子束焊接，制备铝钪合金靶便于自动化生产、焊接工艺及质量更稳定、能源耗费少、生产效率高。
一种铝钪靶材铝合金背板焊接方法

[发明专利]一种旋转钼靶材的制备方法-CN202210134139.X在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄洁文;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种旋转钼靶材的制备方法，先将钼粉进行冷等静压，得到钼坯料；再将所述钼坯料进行车削，得到精加工钼粉；最后将所述精加工钼粉依次进行真空脱气和热等静压，得到旋转钼靶材；本发明所述制备方法制得的旋转钼靶材致密度高，同时材料利用率高；且操作简便，生产成本低。
一种旋转钼靶材制备方法

[发明专利]一种靶材孔位的安装检具及检测方法-CN202210144585.9在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材孔位的安装检具及检测方法，所述安装检具包括检具主体和检具插销，两者独立设置；所述检具主体呈圆环形结构，其中间位置设有通孔，所述检具主体上设有多个圆柱形凸起，其数量与靶材标准孔的数量相同，圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中；所述检具插销呈圆柱状结构，其两端均设有插销头，一端插销头的直径大于靶材孔的直径，另一端则小于靶材孔的直径。本发明根据待检测靶材中孔位的结构及分布，设计相应的安装检具，检具主体上的圆柱形凸起便于检测靶材上孔的位置是否合适，检具插销则检测靶材上孔的直径是否合适，检测速率快，精确度高，使之安装时的匹配性较好；所述安装检具结构简单，检测方法操作简便，成本较低。
一种靶材孔位安装检测方法

[发明专利]一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法-CN202210145198.7在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法，所述异形靶材整体呈锅形，所述检具呈板状，包括内检具和外检具两部分，所述内检具的形状与异形靶材内部纵截面的形状相匹配，所述外检具为一侧开口形成凹槽的板状结构件，所述外检具中凹槽的形状与异型靶材外部纵截面的形状相匹配；所述内检具和外检具独立设置，所述内检具的尺寸小于外检具中凹槽的尺寸。本发明所述检具通过内检具和外检具两部分独立结构的设计，使其与异形靶材的内、外部结构相匹配，从而能够对该类靶材的尺寸进行精确检测，检测速率快，效率高，相比传统的三坐标测量机检测时检测时间明显缩短；所述检具结构简单，检测方法操作简便，成本较低。
一种检测异形尺寸方法

[发明专利]一种铝及铝合金棒材夹层的判定方法-CN202210079107.4在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;汪焱斌;慕二龙 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明提供一种铝及铝合金棒材夹层的判定方法，所述判定方法包括：使用碱溶液对铝棒或铝合金棒进行腐蚀处理，清洗及烘干后，观察腐蚀面的腐蚀情况进行判定。所述判定方法通过肉眼即可判定铝及铝合金棒材内部是否有夹层或衔接存在，操作简单，方便快捷。
一种铝合金夹层判定方法

[发明专利]一种Ti环零件的加工方法-CN202110287509.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种Ti环零件的加工方法，所述加工方法包括：对Ti原料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、热轧处理、校平处理、第三热处理、机加工处理、第四热处理后得到所述Ti环零件。所述加工方法对Ti环零件的加工方法进行改进，可以有效减少Ti原料在加工过程中产生的形变，提高Ti环零件的加工合格率。
一种 ti 零件加工方法

[实用新型]一种晶圆保持器的安装检具-CN202122528497.2有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆保持器的安装检具，所述安装检具的主体呈圆环形结构，所述圆环形结构的中间位置设有通孔，所述通孔分为上部通孔和下部通孔，前者的直径大于后者，使得安装检具的内环形成阶梯结构，阶梯平面上设有至少三个腰形凸起，腰形凸起均匀位于同一圆周上；所述圆环形结构的环形侧壁上设有贯穿外壁和上部通孔内壁的侧孔，侧孔的数量至少为三个，沿环形侧壁均匀分布。本实用新型所述安装检具根据晶圆保持器的结构进行设计，采用检具对晶圆保持器的整体结构尺寸及其上相应结构的位置等特征进行检测，保证晶圆保持器结构尺寸的精确性，使之安装时能够与溅射机台的结构相匹配，无需返工操作，降低生产成本，提高客户满意度。
一种保持安装

[发明专利]一种碳碳化硅靶材及其制备方法和用途-CN202110199569.5有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨慧珍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-22 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C04B35/52 文献下载
摘要：本发明提供一种碳碳化硅靶材及其制备方法和用途，所述碳碳化硅靶材的制备方法通过将碳粉和碳化硅粉混合后经两次球磨，并在二次球磨之间进行干燥处理，后续再经装模、烧结和冷却，得到所述碳碳化硅靶材。所述制备方法的制备工艺简单，且二次球磨结合烧结工艺能够制得致密度≥99.0％的碳碳化硅靶材。所得碳碳化硅靶材的微观组织均匀致密且靶材溅射性能优良，应用在3D打印或热敏打印等领域可有效提高打印设备工作效率及使用寿命，应用前景广阔。
一种碳化硅及其制备方法用途

[发明专利]一种破碎制作高纯低氧硅粉的装置及其方法-CN202011097999.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李岢 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B02C23/24 文献下载
摘要：本发明提供一种破碎制作高纯低氧硅粉的装置及其方法，所述装置包括加压组件、制氮组件以及破碎组件；所述制氮组件与所述加压组件通过管路相连；所述破碎组件与所述加压组件通过循环管路相连。所述方法制备得到的硅粉的氧含量极低，可满足低氧高纯WSi的使用。
一种破碎制作高纯低氧装置及其方法

[发明专利]一种消减铝合金材料淬火残余应力的处理方法及铝合金材料-CN202210053246.X在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周敏 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C22F1/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种消减铝合金材料淬火残余应力的处理方法及铝合金材料。所述处理方法包括如下步骤：将铝合金坯件依次进行冷压处理和时效处理后得到目标铝合金材料。所述冷压处理的冷压变形量为0.5‑5％；所述时效处理中的加热温度为130‑250℃，加热的时间为1‑24h。本发明采用冷压和人工时效相结合的方法去除应力可以消除90％以上的应力；此外，本发明所述冷压处理不仅适合形状简单靶坯，还可适用于形状复杂的零件。
一种消减铝合金材料淬火残余应力处理方法