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[发明专利]浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法-CN202110584640.1在审
发明人： 陈喜亚;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：本申请涉及该浸没式磁透镜电子枪，包括：电子束源、电子枪阳极及磁透镜，磁透镜中心处开设有光轴通孔，顶部设置有阳极安装槽，电子枪阳极设置在阳极安装槽内，电子枪阳极的底部及侧壁与阳极安装槽的内壁相贴附，电子枪阳极的侧壁上沿向外延伸，适用于与电镜外壳固定连接，电子束源设置在电子枪阳极上方，用以向下发射电子束。通过在磁透镜顶部开设有安装槽，并将结构与其紧密配合的电子枪阳极设在安装槽中，安装过程中确保对中精度，易于电子束源与电子枪阳极对中，通过本领域实施人员操作调节件，便于电子枪阳极与磁透镜对中，进一步优化对中位置，根据荧光屏上的电子束斑位置及显微图像特点，上至下逐级微调电子光学部件，实现整体系统对中。
浸没透镜电子枪及其光轴中的方法

[发明专利]样品存储锁定装置-CN201810225627.5有效
发明人： 陈喜亚;郇庆;林晓;高鸿钧 -专利权人：中国科学院物理研究所;中国科学院大学
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B65D81/20 文献下载
摘要：本发明涉及样品存储锁定装置。根据一实施例，一种样品存储锁定装置可包括：样品台，具有多个样品存储位；以及样品架，用于插入并且被锁定在所述样品存储位中，其中，所述样品存储位包括：至少一个引导部，用于引导所述样品架插入到所述样品存储位中；以及至少一个锁定部，用于将所述样品架锁定在所述样品存储位中。本发明提供的样品存储锁定装置能够存储并且稳固地锁定样品，占用空间小，存储效率高，并且容易组装，操作方便。
样品存储锁定装置

[发明专利]分子束外延系统-CN201710704674.3在审
发明人：高鸿钧;吴泽宾;高兆艳;陈喜亚;郇庆 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C30B23/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种分子束外延系统，包括：分子束外延腔；样品准备腔，其通过第一门阀与所述分子束外延腔相连接；快速进样腔，其通过第二门阀与所述样品准备腔相连接；传输装置，其用于当所述第二门阀打开时，将样品片从所述快速进样腔的腔体内传输至所述样品准备腔的腔体内，以及当所述第一门阀打开时，将样品片从所述样品准备腔的腔体内传输至所述分子束外延腔的腔体内。本发明的分子束外延系统在对样品片进行外延过程中避免了对样品片造成污染。
样品准备门阀分子束外延系统分子束外延体内传输进样腔体内传输装置外延过程污染