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[发明专利]减小相差的偏转器机构及扫描电镜-CN202110587261.8在审
发明人：李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请涉及减小相差的偏转器机构，包括可旋转偏转器、连接杆、固定偏转器及安装部，可旋转偏转器的旋转中轴与固定偏转器的中轴相重合，且分别安装到安装部上，可旋转偏转器与安装部转动连接，连接杆的一端与可旋转偏转器转动连接，连接杆能够带动可旋转偏转器转动，固定偏转器与安装部固定连接。通过移动连接杆，带动可旋转偏转器旋转，调节后可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角达到预先设计角度，以使使用本申请偏转器机构的扫描电镜获得最佳分辨率，尽量减少相差，不仅如此，旋转偏转器进行微调相较于机械安装，可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角具有更高的精度，有效的解决了仅靠机械安装无法保证两个偏转器安装精度的问题。
减小相差偏转机构扫描电镜

[发明专利]浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法-CN202110584640.1在审
发明人：陈喜亚;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：本申请涉及该浸没式磁透镜电子枪，包括：电子束源、电子枪阳极及磁透镜，磁透镜中心处开设有光轴通孔，顶部设置有阳极安装槽，电子枪阳极设置在阳极安装槽内，电子枪阳极的底部及侧壁与阳极安装槽的内壁相贴附，电子枪阳极的侧壁上沿向外延伸，适用于与电镜外壳固定连接，电子束源设置在电子枪阳极上方，用以向下发射电子束。通过在磁透镜顶部开设有安装槽，并将结构与其紧密配合的电子枪阳极设在安装槽中，安装过程中确保对中精度，易于电子束源与电子枪阳极对中，通过本领域实施人员操作调节件，便于电子枪阳极与磁透镜对中，进一步优化对中位置，根据荧光屏上的电子束斑位置及显微图像特点，上至下逐级微调电子光学部件，实现整体系统对中。
浸没透镜电子枪及其光轴中的方法

[发明专利]对中机构及具有其的扫描电镜-CN202110587257.1在审
发明人：李帅辰;孟庆浪;蒋磊;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈绕第一通孔设置的环状结构；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台放置在安装槽内部，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有安装孔，安装孔贯穿安装腔体设置，安装孔处安装消像散器；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁设置，第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其使得消像散器的电场中心与光轴中心重合，从而实现消像散器的对中。
机构具有扫描电镜

[发明专利]对中机构及具有其的扫描电镜-CN202110584543.2在审
发明人：李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，用于安装在扫描电镜中，对扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈环状；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有适用于安装与电子束对准的部件的安装孔；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁；第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其实现电子束的对中调节，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。
机构具有扫描电镜

[发明专利]静电场偏转器及其加工方法-CN202110584540.9在审
发明人：李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请涉及一种静电场偏转器，适用于安装在扫描电镜内，包括：偏转极板与绝缘安装座，绝缘安装座中部具有安装孔，偏转极板整体呈柱体，外侧壁与安装孔相适配，偏转极板固定在安装孔内，且偏转极板的中部具有光轴孔，光轴孔与安装孔同轴设置，其中，偏转极板沿其径向分为偶数瓣的偏转极块。包括通过将偏转极板固定在绝缘安装座内，且偏转极板的光轴孔与安装孔同轴设置，使电子束尽可能垂直的通过静电场偏转器的几何中心，又将偏转极板沿其径向平均切割成偶数瓣的偏转极块，相对的两个偏转极块形成一个静电场，有效的提高了静电场的均匀性，以使扫描电镜减小了相差，提高的分辨率，检测精度的提高能够适用于更高制程的产线。
静电场偏转及其加工方法

[发明专利]电子枪测试平台-CN202110583645.2在审
发明人：王鑫;孟庆浪;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种电子枪测试平台，包括测试腔体；测试腔体内设有平行移载模组和移动载具模组；移动载具模组与测试腔体的内壁固定，移动载具模组的顶部适用于放置硅片或者硅片载盒，平行移载模组设置在移动载具模组的旁侧；平行移载模组包括驱动装置、固定座、移动架和夹持件；其中，固定座固定安装在移动载具模组旁侧，固定座与测试腔体的内壁固定；驱动装置固定在固定座上，驱动装置的输出端与移动架的一侧固定连接，移动架的另一侧与夹持件转动连接；夹持件适用于夹持硅片载盒，驱动装置驱动夹持件在移动载具模组的顶部移动。其有效的解决了取放硅片带来的接驳间隙存在的误差，以及运动模组和真空馈入装置的重复定位误差。
电子枪测试平台

[发明专利]探测器检测设备及使用其进行检测探测器的方法-CN202110583614.7在审
发明人：王雅男;孟庆浪;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01T1/24 文献下载
摘要：本申请涉及一种探测器检测设备及使用其进行检测探测器的方法，包括密封腔室、移动组件、定位检测模组和检测光源模组；其中，移动组件安装在密封腔室的底部内壁上，移动组件的顶部适用于放置探测器，以使移动组件带动探测器在密封腔室的内部移动；定位检测模组和检测光源模组均可拆卸安装在密封腔室的顶部，定位检测模组和检测光源模组均伸入密封腔室的内部；定位检测模组和检测光源模组均可拆卸安装在密封腔室的同一处位置，以使定位检测模组对探测器的探测区进行定位检测后，再由检测光源模组基于探测区的定位结果对探测区进行性能检测。其可以对不同的探测器进行功能是否正常的检测。
探测器检测设备使用进行方法

[发明专利]用于带电粒子束的多极型偏转器和带电粒子束成像设备-CN201910803416.X有效
发明人： 孟庆浪;孙伟强;赵焱 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本公开提供一种用于带电粒子束的多极型偏转器、和一种带电粒子束成像设备。所述用于带电粒子束的多极型偏转器，包括：至少两对极部，每对极部中每个包括构造为呈圆弧形的主体，且每对极部的所述主体同心布置并且在直径方向上相对，且每个极部还具备从所述主体径向内侧向内突伸的凸出部，所述至少两对极部包围限定轴向敞开的通孔，所述通孔配置成用于通过待由所述偏转器偏转的所述带电粒子束，其中，所述偏转器的所述至少两对极部配置成协同工作以产生偏转所述带电粒子束的偏转场，所述偏转场分布于所述通孔内。
用于带电粒子束多极偏转成像设备

[发明专利]维恩过滤器和带电粒子束成像设备-CN201910803331.1有效
发明人： 孟庆浪;孙伟强;赵焱 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：提供维恩过滤器、和带电粒子束成像设备，维恩过滤器包括：静电偏转器，包括至少一对成对对置电极，每个电极包括构造为圆弧形的电极主体，每对成对对置电极各自的电极主体呈同心布置且在直径方向上相对置，所述至少一对成对对置电极配置成在分别被施加偏置电压的情况下协同工作产生各自电场；和磁偏转器，包括至少一对成对对置磁极，每个磁极包括构造为圆弧形的磁极主体，每对成对对置磁极各自的磁极主体呈同心布置且在直径方向上相对置、且也与所述静电偏转器的所述至少一对成对对置电极各自的电极主体同心布置且在周向间隔开，所述至少一对成对对置磁极配置成产生各自磁场；合成电场垂直于合成磁场；每个电极还具备从其电极主体径向内侧向内突伸的第一凸出部，且每个磁极也还具备从其磁极主体径向内侧向内突伸的第二凸出部。
过滤器带电粒子束成像设备

[实用新型]消像散器-CN202121164546.2有效
发明人：李帅辰;孟庆浪;蒋磊;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种消像散器，包括底座和极板；其中，所述底座呈中空筒状设置，所述底座适用于安装在扫描电镜上；所述极板设有两个以上，两个以上的所述极板均固定安装在所述底座的内壁上，两个以上的所述极板绕所述底座的内壁依次周向设置，以使两个以上的所述极板呈环形排布；每个所述极板朝向所述底座的内壁的一侧的结构与所述底座的内壁相匹配。其增加了分辨率，且减小了像散。
消像散器

[发明专利]扫描电子显微镜装置和电子束检测设备-CN202110746459.6在审
发明人： 孟庆浪;孙伟强 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01J37/06 文献下载
摘要：提供扫描电子显微镜装置和电子束检测设备，扫描电子显微镜装置被配置成向待测样品的表面投射电子束，包括：电子束源；偏转机构；和物镜组件。偏转机构包括：第一偏转器，位于电子束源的下游；和第二偏转器，位于第一偏转器的下游。物镜组件包括：励磁线圈；和磁轭，由导磁材料形成为朝待测样品敞开的壳体，包括限定内部腔室的中空主体、和从中空主体成角度地向内朝光轴延伸的至少一个倾斜部分，所述至少一个倾斜部分的末端形成为极靴，所述励磁线圈容纳于所述内部腔室中。所述偏转机构还包括位于第二偏转器与物镜组件之间、且布置于由所述极靴限定的开口内的第三偏转器，第一、第二和第三偏转器中每个是静电偏转器。
扫描电子显微镜装置电子束检测设备

[发明专利]扫描电子显微镜装置和电子束检测设备-CN202110746460.9在审
发明人： 孟庆浪;孙伟强 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01J37/06 文献下载
摘要：提供扫描电子显微镜装置和电子束检测设备，扫描电子显微镜装置被配置成向待测样品的表面投射电子束，包括：电子束源；偏转机构；和物镜组件。偏转机构包括：第一偏转器，位于电子束源的下游；和第二偏转器，位于第一偏转器的下游。物镜组件包括：励磁线圈；和磁轭，由导磁材料形成为朝待测样品敞开的壳体，包括限定内部腔室的中空主体、和从中空主体成角度地向内朝光轴延伸的至少一个倾斜部分，所述至少一个倾斜部分的末端形成为极靴，所述励磁线圈容纳于所述内部腔室中。所述偏转机构还包括位于所述极靴与所述待测样品的表面之间的补偿电极，所述补偿电极被配置成在被施加电压激励情况下通过调整所述电压来调整所述电子束的聚焦位置。
扫描电子显微镜装置电子束检测设备

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