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[实用新型]硅片花篮导片装置-CN201721142156.9有效
发明人： 董晓清;凌勇;杜广亮 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片花篮导片装置，推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；出片机构包括花篮一固定座，固定座上设有定位夹具；缓存机构包括缓存盒和升降系统一，缓存盒中设有与花篮一数量和槽间距相同的插片槽，升降系统一用于控制和驱动所述缓存盒进行Y轴方向的升降动作；收片机构包括花篮二固定座和升降系统二，升降系统二用于控制和驱动花篮固定座二进行Y轴方向的升降动作；运输机构包括沿X轴平行设置的两组传送带，在工作初始状态，传送带运输起始端位于缓存盒的插片部下方，运输末端达到或伸入花篮固定座二的插片部内。本实用新型可实现不同规格花篮之间硅片的自动化转移，转片速度快，碎片率低，可大幅提高工作效率。
固定座花篮升降系统缓存盒本实用新型导片装置硅片花篮升降动作插片部水平驱动气缸传送带运输驱动出片机构定位夹具工作效率缓存机构平行设置收片机构水平推杆推片机构运输机构传送带插片槽起始端碎片率硅片两组伸入推块转片自动化运输

[实用新型]石墨舟装片机构-CN201721919629.1有效
发明人：邱其伟;董晓清 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟装片机构，包括四个硅片运载轨道、硅片缓存机构、六轴机械手、吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动。从而提高整体的工作效率，减少设备占地体积，且本实用新型可以实现硅片装载进入石墨舟的自动化运动，减少人工。
硅片运载轨道六轴机械手缓存机构石墨舟收料盒本实用新型装片机构工作效率硅片装载减少设备距离相等前后移动吸盘组件机械手归位取片丝杠底座运载自动化阻碍

[实用新型]硅片刻蚀清洗下片机-CN201721924911.9有效
发明人： 董晓清;杜广亮 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片刻蚀清洗下片机，包括若干硅片下料输送皮带，还包括与下料输送皮带垂直设置的汇流皮带，在相邻输送皮带之间还设置有用于将下料输送皮带上硅片运送至汇流皮带上的转向装置，在汇流皮带的端部设置有升降收料盒用于收集汇流皮带上的硅片，在汇流皮带的端部还设置有上下两层轨道，上层的轨道用于运输装满硅片的升降收料盒，下层的轨道运输空的升降收料盒。本实用新型可以实现硅片刻蚀后自动下料，机械化程度高，提高效率。且设置了转向装置，通过改变运载轨道的方便可以减少设备的占地面积，结构更加紧凑。
硅片汇流皮带输送皮带收料盒刻蚀下料升降本实用新型转向装置下片机清洗垂直设置硅片运送轨道运输减少设备上下两层运载轨道自动下料轨道下层紧凑机械化装满上层运输

[实用新型]在线槽式制绒上料机-CN201721919916.2有效
发明人： 董晓清;周波 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种在线槽式制绒上料机，包括导片盒以及运载导片盒的输送轨道，导片盒中存储有硅片，在运载导片盒的输送轨道一侧设置有硅片运载皮带，上下滑轨上设置有可上下滑动的花篮夹持装置，在硅片运载皮带的正下方还设置有空花篮输送轨道，空花篮输送轨道的延长线上还设置载片花篮输送轨道，载片花篮输送轨道的端部设置有花篮翻转机构，在花篮翻转机构上方还设置有水平滑轨，水平滑轨上设置有花篮机械手用于夹取花篮，在运载导片盒的输送轨道上方设置有吸盘组件用于将导片盒中的硅片运载到硅片运载皮带上。全程可以实现机械化运作，且通过花篮翻转机构，将花篮翻转后，方便花篮在水平台上堆积，一次性将多个花篮送入设备，提供效率。
花篮输送轨道导片硅片运载翻转机构运载皮带水平滑轨上料机槽式载片制绒本实用新型机械手夹持装置上下滑动上下滑轨送入设备吸盘组件延长线一次性翻转夹取机械化堆积存储全程运作

[实用新型]一种自来水快速净化装置-CN201721787019.0有效
发明人：钟润生;郭建宁;董晓清 -专利权人：深圳信息职业技术学院
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C02F9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种自来水快速净化装置，包括外壳、前面板、一级滤瓶、二级滤瓶、三级滤瓶、控制器、水流量传感器以及增压泵，其中所述前面板一侧与所述外壳一侧铰接在一起，所述一级滤瓶、二级滤瓶和三级滤瓶依次连通，所述一级滤瓶的进水口连接有进水管，所述三级滤瓶的出水口连接有出水管，在所述外壳的底壁上开设有空腔，通过螺钉将所述控制器固定在所述空腔里面，所述水流量传感器和所述增压泵安装在所述进水管上，所述控制器分别与所述水流量传感器、增压泵电性连接，所述水流量传感器将检测到的水流量信息输入到所述控制器里面，所述控制器根据所述水流量信息控制所述增压泵开始或者停止工作，其对自来水进行快速净化，且净化效果较佳。
滤瓶控制器水流量传感器增压泵快速净化水流量自来水进水管前面板本实用新型进水口连接电性连接净化效果信息控制信息输入依次连通螺钉出水管出水口底壁铰接空腔检测

[实用新型]一种环保型污水处理装置-CN201721787026.0有效
发明人：王国胜;相会强;冉治霖;董晓清 -专利权人：深圳信息职业技术学院
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种环保型污水处理装置，包括污水处理池，所述污水处理池的内部安装有过滤隔板，所述污水处理池的底部安装有底座，所述空气净化罐的一侧安装有缓气罐，所述污水处理池的另一侧安装有排水泵，所述排水泵的一端安装有第一输送管，所述第一输送管的一端安装有污水净化器，所述污水净化器的两端安装有连接套，所述污水净化器的另一端安装有第二输送管，所述第二输送管的一端安装在储水桶上，所述储水桶的一侧安装有排水管接口。本实用新型的污水处理池的一侧安装有空气净化罐，通过其可以将污水处理过程的臭气和废气进行净化处理为洁净的空气，避免了对大气的污染。
污水处理池输送管污水净化器本实用新型环保型污水空气净化罐处理装置储水桶排水泵污水处理过程排水管接口过滤隔板净化处理内部安装连接套气罐臭气底座废气洁净污染

[实用新型]一种自来水污水回收装置-CN201721787028.X有效
发明人：相会强;王国胜;冉治霖;董晓清 -专利权人：深圳信息职业技术学院
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自来水污水回收装置，包括回收箱，所述回收箱前表面设置有透明观察窗和刻度尺，所述回收箱一侧插入有倾斜挡板，所述回收箱一侧穿入有搅拌轴，所述搅拌轴位于回收箱外部的一端安装有电动机，所述搅拌轴位于回收箱内部的一端安装有搅拌叶，所述回收箱上侧通过连接管和洗手盆连接，所述洗手盆内安装有粗滤网，所述回收箱上侧安装有气体循环管，所述气体循环管上安装有杀菌箱和微型气体循环泵，所述杀菌箱通过气体管和臭氧发生器连接，所述格栅板之间设置有活性碳颗粒，所述回收箱内部上侧安装有透明防护罩和紫外线杀菌灯。本实用新型通过搅拌轴位于排污管上方，搅拌轴在电动机的带动下转动，从而很好的避免排污管堵塞。
回收箱搅拌轴污水回收装置本实用新型电动机排污管杀菌箱洗手盆自来水紫外线杀菌灯臭氧发生器活性碳颗粒气体循环管透明防护罩透明观察窗倾斜挡板微型气体粗滤网格栅板搅拌叶刻度尺连接管气体管前表面体循环循环泵穿入转动堵塞外部

[实用新型]一种采用纳米复合材料的污水处理装置-CN201721787027.5有效
发明人：冉治霖;沙苗苗;王国胜;董晓清 -专利权人：深圳信息职业技术学院
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种采用纳米复合材料的污水处理装置，包括缺氧池、厌氧池、处理池、过滤池、第一泵体、第二泵体、第三泵体以及控制装置，所述第一泵体的进水管连通缺氧池，出水管连通厌氧池，所述第二泵体的进水管连通厌氧池，出水管连通处理池，所述第三泵体的进水管连通处理池，出水管连通过滤池，在所述缺氧池的中部水平设置有载体，所述载体内搭载有纳米复合材料，在所述厌氧池的中部水平设置有反渗透高分子纳米材料构成的过滤膜，所述第一泵体的出水管位于所述过滤膜的上方，在所述过滤池内设置有筛箱，在所述筛箱内设置有除磷纳米颗粒，其结构简单，污水处理能力强。
厌氧池纳米复合材料出水管连通第一泵体处理池过滤池进水管缺氧池连通污水处理装置第二泵体水平设置过滤膜泵体高分子纳米材料污水处理能力本实用新型控制装置纳米颗粒出水管反渗透除磷筛箱体内

[实用新型]硅片分片吸盘组件-CN201721142190.6有效
发明人： 董晓清;凌勇 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片分片吸盘组件，涉及硅片装卸技术领域，包括若干个吸盘以及吸盘固定装置，所述吸盘包括固定部以及吸片部，固定部通过吸盘固定装置进行固定，固定部上设置有贯穿其表面的通孔，相邻吸盘的固定部的侧面紧密贴合设置，且所有固定部的通孔之间互相连通，吸盘的其中一个表面设置有第一凹槽，吸盘的内部设置有连通第一凹槽和通孔的气体通道。使用时，通孔中接入负压，负压气体经过气体通道进入吸盘的吸片部，吸片部可以插入花篮中的两个料槽之间，从靠近吸片部的硅片吸附，吸附后可以通过气缸将整个组件抬升，从而将被吸附与未被吸附的硅片分离。
硅片分片吸盘组件

[实用新型]石英舟装卸片机-CN201721142013.8有效
发明人： 董晓清;凌勇 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英舟装卸片机包括机体、硅片花篮输送装置、分片组件、石英舟组件、吸盘组件以及双直驱动丝杆模组，所述硅片花篮输送装置用于运载硅片，石英舟组件用于装载硅片，并将装载的硅片输送至外部处理设备，所述分片组件用于将石英舟中的部分硅片顶出，所述吸盘组件用于将石英舟组件中被顶出硅片吸附并输送至硅片花篮输送装置，并将硅片花篮输送装置中未处理的硅片输送至石英舟组件中，所述双直驱动丝杆模组用于带动吸盘组件的水平运动，利用分片组件对石英舟中的硅片先进行分片，再进行吸附，方便吸盘伸入硅片中，从而方便硅片的输送。
石英装卸

[发明专利]硅片输送系统-CN201711475890.1在审
发明人：邱其伟;董晓清 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片输送系统，包括花篮上下料机构、用于固定花篮且带动花篮上下移动的升降机构以及硅片运载轨道、硅片缓存机构、六轴机械手、吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动。从而提高整体的工作效率，减少设备占地体积，且本发明可以实现硅片装载进入石墨舟的自动化运动，减少人工。
硅片输送系统

[实用新型]管式PECVD系统硅片堆叠收集机构-CN201721142052.8有效
发明人： 董晓清;邱其伟 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种管式PECVD系统硅片堆叠收集机构，传输机构包括斜面传送带和计数传感器，斜面传送带包括左右两组传送带单元；堆叠收集机构包括堆叠收集槽和收集槽升降架，堆叠收集槽设置于斜面传送带末端正后方，槽底壁高度低于斜面传送带高度，堆叠收集槽相对于水平面同时向左右其中一侧和后侧倾斜，收集槽升降架设置在堆叠收集槽下方，用于调节堆叠收集槽高度；吹气机构包括对称设置于斜面传送带下游处左右两侧的一对吹气装置，其上设有朝向堆叠收集槽一侧的横向吹气缝，并向堆叠收集槽吹气；传输机构和堆叠收集槽之间沿竖直方向设有防落挡板。本实用新型可有效保护硅片在收集时不受损坏，整齐堆叠硅片，保证硅片质量。
pecvd 系统硅片堆叠收集机构

[实用新型]硅片上片自动预定位装置-CN201721142014.2有效
发明人： 董晓清 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片上片自动预定位装置，所述定位夹具沿传送带两侧均匀间隔设置，且相对于该传送带对称分布；每个定位夹具包括托板以及垂直设置于该托板上的上下边定位夹块和左右边定位夹块，所述上下边定位夹块和左右边定位夹块的设置方向分别与硅片的上下边及左右边平行，所述托板、上下边定位夹块和左右边定位夹块围成一个或左右对称的一对定位槽，所述定位槽槽壁均为斜面，用于承载硅片四角；所述升降机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做垂直升降动作，所述平移机构用于控制所述定位夹具相对于传送带做靠近或远离的平移动作。本实用新型可实现待吸取硅片的精确稳定预定位，自动化程度高，节省了等待时间，缩短了工艺流程。
硅片上片自动预定装置

[实用新型]硅片分片吸盘组件-CN201721142012.3有效
发明人： 董晓清;凌勇 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片分片吸盘组件，包括若干个吸盘以及吸盘固定装置，所述吸盘通过固定装置进行固定，吸盘平行设置，每个吸盘上设置有若干个中空部，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸嘴通过气体通道连接负压气源。采用该吸盘吸附硅片时，当吸盘发生抖动时，挂钩弹簧可以起到缓冲作用，减少吸嘴与吸盘的碰撞动量，从而保护硅片。
硅片分片吸盘组件

[实用新型]双直驱丝杆模组-CN201721142160.5有效
发明人： 董晓清 -专利权人：无锡市江松科技有限公司
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H02K7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双直驱丝杆模组，包括底座、驱动电机、丝杆、螺母以及滑块，驱动电机带动丝杆转动，螺母套装在丝杆上，且螺母通过螺母座与滑块固定，其特征在于所述驱动电机的数量和丝杆的数量均为两个，每个驱动电机带动一根丝杆的转动，两根丝杆平行设置，滑块上设置有两个过孔，每个过孔分别对应一个丝杆以及螺母。采用双螺杆驱动一个滑块不仅满足动力需求，且能对滑块起到良好的限位作用，防止滑块发生轴向的偏转，且占用体积少。
双直驱丝杆模组