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[发明专利]用于激光跟踪仪的跟踪恢复偏转角的标定装置及方法-CN202310850327.7在审
发明人：张佳;王博;董登峰;郝灿;崔成君;程智;王国名;邱启帆;纪荣祎;高豆豆;赵天元;王正;王颖 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于激光跟踪仪的跟踪恢复偏转角的标定装置，包括：基座，被构造成能够在水平面上移动；换向部，可拆卸地安装在基座上；以及标定部，安装在换向部上并具有多个在标定方向上依次布置的标定位置，标定部被构造成通过改变换向部与基座之间的安装位置关系而调整标定部与基座之间的相对位置，使得标定部的标定方向能够垂直于基座的直立方向或者平行于基座的直立方向，以分别标定激光跟踪仪的方位偏转角与像素偏差值之间的关系以及俯仰偏转角与像素偏差值之间的关系。
用于激光跟踪恢复偏转标定装置方法

[发明专利]一种激光跟踪仪跟踪能力测试装置及方法-CN201710061546.1有效
发明人：董登峰;王岩庆;程智;崔成君;周维虎;张明玉;王博;张滋黎;劳达宝;纪荣祎;袁江;王国名;石俊凯 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2017-01-26 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明涉及仪器检测技术领域，尤其涉及一种激光跟踪仪跟踪能力测试装置及方法，其装置包括一维跟踪能力测试模块，所述一维跟踪能力测试模块包括长直线电机平台和短直线电机平台，所述长直线电机平台上设有长直线导轨，所述长直线导轨上滑动连接所述短直线电机平台，所述短直线电机平台上设有与所述长直线导轨垂直的短直线导轨，所述短直线导轨上滑动连接设有靶球的固定座；所述长直线电机平台和所述短直线电机平台均与控制单元连接。本发明可以产生不同半径的标准圆弧，在进行一维跟踪能力测试过程中，实现合作目标可变半径的标准圆弧轨迹，为评价激光跟踪仪提供更加有效的决策数据。
一种激光跟踪能力测试装置方法

[发明专利]用于位移测量系统的电光相位调制器及位移测量系统-CN202310304061.6在审
发明人：高超;董登峰;周维虎;纪荣祎;石俊凯;潘映伶 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02F1/03 文献下载
摘要：本公开提出了一种用于位移测量系统的电光相位调制器及位移测量系统。该电光相位调制器，包括：壳体，内置有容纳空间，壳体上开设有入射口和出射口，偏振测量光由入射口射入容纳空间；调制晶体，设置在容纳空间内，被配置为调制来自入射口的偏振测量光，偏振测量光的偏振方向与调制晶体的调制电场方向成45°；以及四分之一波片，位于调制晶体和出射口之间，四分之一波片的光轴与调制晶体的调制电场方向成45°，偏振测量光经四分之一波片后由出射口射出至待测物上，待测物将偏振测量光经由四分之一波片反射回调制晶体，使得反射回调制晶体的偏振测量光与由入射口射入调制晶体的偏振测量光的偏振分量方向变化90°。
用于位移测量系统电光相位调制器

[发明专利]显微视觉入射光角度标定方法-CN202111617952.4在审
发明人：张滋黎;孟繁昌;纪荣祎;崔成君;王国名;石俊凯;潘映伶;王博;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提供一种显微视觉入射光角度标定方法，包括固定线结构光光源与显微图像采集单元，二者相对位置固定；计算显微图像采集单元放大倍率；设置标定块使线结构光光源发射的线结构光经标定块反射后被显微图像采集单元采集；移动标定块使线结构光投射到第一平面，第一平面反射后被显微图像采集单元采集，在显微图像采集单元像平面上得到第一线结构光像；在同一水平面内移动标定块，使得线结构光投射到第二平面，第二平面反射后被显微图像采集单元采集，在显微图像采集单元像平面上得到第二线结构光像；计算第一线结构光像与第二线结构光像的像间距；计算显微视觉入射光角度。本发明装置制备简单，标定流程简单，可快速完成结构光入射角度的标定。
显微视觉入射角度标定方法

[发明专利]提升鉴相精度的欠采样频率选取方法-CN202110427489.0有效
发明人：潘映伶;纪荣祎;张滋黎;董登峰;孟繁昌;崔成君;张佳;袁江;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01S17/36 文献下载
摘要：本公开提供一种提升鉴相精度的欠采样频率选取方法，包括：设定待采信号参数；设定欠采样参数；根据欠采样的采样位置与待采信号的相对关系进行采样；以及确认最终欠采样频率，从而提升鉴相精度。所述设定待采信号参数包括设定待采信号频率f。所述设定欠采样参数包括设定欠采样频率为fs。所述欠采样频率fs满足能够满足欠采样的有效性，其中n为正整数，f为待采信号频率。通过上述方法能够缓解现有技术中因欠采样频率的选取导致的的鉴相精度较差等技术问题。
提升精度采样频率选取方法

[发明专利]高速激光相位测距装置及方法-CN202211513980.6在审
发明人： 纪荣祎;潘映伶;高超;董登峰;周维虎;祁勤;高萌;朱雅庆;孟语璇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本发明提供一种高速激光相位测距装置及方法，装置包括调制频率源、激光器、分光棱镜、第一探测器、被测目标、电控衰减器、第二探测器、处理电路和控制电路，调制频率源用于产生双测尺合成调制信号，双测尺合成调制信号经过激光器，得到调制激光信号，调制激光信号进入分光棱镜后分成两路，一路由第一探测器接收，产生参考信号，另一路发射到被测目标后返回分光棱镜，经由分光棱镜反射后进入电控衰减器，再由第二探测器接收，产生测量信号，参考信号和测量信号同时进入处理电路，由处理电路处理后得到计算结果，计算结果输入至控制电路，控制电路根据计算结果来控制电控衰减器调整衰减系数，对计算结果进行解算，得到被测目标的距离数据。
高速激光相位测距装置方法

[发明专利]无限远共轭显微物镜组-CN202211452616.3在审
发明人：宋菲君;张滋黎;孟繁昌;纪荣祎;程智;潘映伶;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种无限远共轭显微物镜组，涉及显微物镜技术领域。该镜组包括：从物方至像方依次设置且同轴排列的第一光学组件、第二光学组件、第三光学组件、第四光学组件、第五光学组件和第六光学组件；其中，所述第一光学组件、第二光学组件和第三光学组件构成长工作距离平场复消色差显微物镜，所述第四光学组件、第五光学组件和第六光学组件构成套筒透镜；所述长工作距离平场复消色差显微物镜和所述套筒透镜组合形成所述无限远共轭显微物镜组，工作距离可达51mm，结构简单，易于加工。所述长工作距离平场复消色差显微物镜与所述套筒透镜之间的距离在45mm～100mm范围内可调。本发明可以满足各领域对显微物镜的要求。
无限共轭显微物镜

[发明专利]激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统-CN202211044029.0在审
发明人：张滋黎;王珊;孟繁昌;王国名;崔成君;纪荣祎;潘映伶;王博;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提出一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统，方法包括：在俯仰轴两端分别设置第一检棒及第二检棒，其中，第一检棒及第二检棒为具有母线及轴的旋转体，母线为直线，轴与俯仰轴的中心轴线重合；旋转方位轴，分别获取第一检棒及第二检棒在平行光照射下得到的阴影图案，其中，平行光的照射方向与方位轴的轴线平行，阴影图案呈现在第一接收平面上；根据阴影图案确定第一检棒与第二检棒的轴线间距；根据第一检棒及第二检棒的轴线间距确定激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差。本发明方法测量流程简单，测量精度高，可以满足激光跟踪仪轴系相交度误差高精度检测的需求。
激光跟踪俯仰方位相交误差检测方法系统

[发明专利]一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置-CN202211029150.6在审
发明人：王珊;张滋黎;孟繁昌;纪荣祎;王国名;崔成君;潘映伶;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本公开提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置，包括：第一圆柱体检棒、第二圆柱体检棒以及投影图像测量仪；第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒分别设置于激光跟踪仪两侧的俯仰轴上；投影图像测量仪包括：发射器和接收器，第一圆柱体检棒设置于发射器及接收器之间；发射器用于发射LED光照射至第一圆柱体检棒上，接收器用于显示LED光被第一圆柱体检棒或第二圆柱体检棒部分遮挡后形成的光影，以得到第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置；根据第一圆柱体检棒及第二圆柱体检棒的中心轴线位置偏差及检测端面距离，得到激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差。本公开还提供了一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测方法。
一种激光跟踪俯仰方位垂直误差检测装置

[发明专利]平顶微凸点高度测量装置及测量方法-CN202110477512.7在审
发明人：孟繁昌;张滋黎;王棚;纪荣祎;潘映伶;崔成君;程智;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01S17/48 文献下载
摘要：本公开提供了一种平顶微凸点高度测量装置及测量方法，平顶微凸点高度测量装置包括：平顶微凸点，设置在晶圆表面上；光源系统，光源系统输出端与晶圆表面相对；光源系统输出光条投射至晶圆表面上；驱动平台，晶圆设置在驱动平台上，驱动平台按照预定路线移动，晶圆随驱动平台移动；成像系统，接收光条投射到晶圆表面形成的反射光，根据反射光合成数字图像并输出；运算平台，接收成像系统输出的数字图像，通过对数字图像处理确定平顶微凸点的高度。本公开中的平顶微凸点高度测量装置具有结构简单、易操作，能够实现高度为100微米以下的平顶微凸点的测量，实现了平顶微凸点的高精度测量。
平顶微凸点高度测量装置测量方法

[发明专利]测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质-CN202110477661.3在审
发明人：孟繁昌;张滋黎;王棚;纪荣祎;王国名;崔成君;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G06T7/60 文献下载
摘要：本公开提供了一种测量球形微凸点高度的装置和方法，该装置包括：运动平台、照明模块、成像模块、控制和运算中心。将衬底固定在运动平台上；打开照明模块并将平行光束投射到衬底表面；控制和运算中心控制运动平台按照预设轨迹运动；成像模块采集经球形微凸点反射后的平行光束并生成图像；控制和运算中心获取图像并根据图像计算球形微凸点的高度。本公开通过分析球形微凸点位于不同位置时的光照模型，总结出测量球形微凸点过程中相对不变特征，建立了球形微凸点高度视觉测量模型，能够实现高精度球形微凸点高度测量。并且本公开提出的球形微凸点高度测量模型适用于绝大部分芯片封装过程中微凸点类型，满足了芯片封装过程中微凸点检测需求。
测量球形微凸点高度装置方法电子设备存储介质

[发明专利]激光扫频测距装置及方法-CN202210254755.9在审
发明人： 纪荣祎;潘映伶;高超;董登峰;张滋黎;王国名;崔成君;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01S7/483 文献下载
摘要：本发明提供一种激光扫频测距装置及方法，装置包括激光器、电光调制器、分光棱镜、第一探测器、第二探测器、模拟鉴相器、测量控制电路和调制频率源，激光器用于发出激光信号，电光调制器用于对激光信号进行强度调制以输出调制信号，分光棱镜将调制信号分为两路，一路由第一探测器接收，产生参考信号；另一路被被测目标返回并经分光棱镜反射后由第二探测器接收，产生测量信号；模拟鉴相器用于检测参考信号与测量信号的相位差；测量控制电路用于对调制频率源的输出频率进行扫频控制，产生按照预设步长变化的高频调制信号，并反馈至电光调制器，还用于通过检测零相位差信号确定两个相邻的调制频率，根据两个相邻的调制频率计算被测目标的测量距离。
激光测距装置方法

[发明专利]基于交比不变的微凸点高度测量装置及参数标定方法-CN202011462190.0在审
发明人：孟繁昌;张滋黎;纪荣祎;崔成君;潘映伶;张佳;董登峰;周维虎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种基于交比不变的微凸点高度测量装置，包括线结构光投射器、摄像机、数据处理中心、二维运动平台以及高精度标准台阶，其中，线结构光投射器，用于投射一定模式的结构光到高精度标准台阶的台阶平面上；二维运动平台，用于带动台阶水平移动，使得线结构光投射器所发出的线结构光投射在不同高度的台阶平面上；高精度标准台阶，用于使得线结构光光条在不同高度成像；摄像机，用于拍摄含有光条的台阶图像；数据处理中心，用于图像处理，数据运算，计算标定参数。本发明在高度方向上基于交比不变的标定方法，能够实现结构光参数标定，并且省去了复杂的坐标系转化运算，操作简单，便于实现，能够提高标定效率，扩大结构光测量的适用范围。
基于不变微凸点高度测量装置参数标定方法

[发明专利]一种测距装置和方法-CN202010986525.2有效
发明人：高书苑;纪荣祎;周维虎;刘晨辰;石俊凯;崔捷 -专利权人：常州大学
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G01S17/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种测距装置，包括光源、偏振控制器、第一电光调制器、第二电光调制器、光环形器、耦合器、1/4波片、反射器、检偏器、光电探测器、低通滤波器、信号源、第一自动增益放大器、第二自动增益放大器、测量控制单元。本发明还公开了一种用于测距的方法，利用信号源输出频率连续变化的正弦信号，同时控制第一电光调制器和第二电光调制器对测量光进行调制，测得解调波形参数计算待测距离。本发明结构简单，环境适应性强，可有效抑制调制器非互易非平坦的电学特性引起的测量误差，并且可同时实现大动态范围高精度绝对距离测量。
一种测距装置方法

[发明专利]有图形晶圆及掩模版的缺陷检测方法及装置-CN201811259816.0有效
发明人：刘立拓;周维虎;陈小梅;李冠楠;纪荣祎;石俊凯 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种有图形晶圆及掩模版的缺陷检测方法及装置，该方法包括：获取待检测的器件的图像数据，器件包括有图形晶圆或掩模版，图像数据用于反映器件的光照区域的电磁场分布情况；将图像数据输入至与器件对应的缺陷检测模型，输出与器件对应的缺陷检测结果；缺陷检测模型是基于样本图像数据以及预先确定的与样本图像数据对应的样本缺陷类型进行训练后获得的。本发明实施例由于通过图像数据的方式检测有图形晶圆和掩模版的缺陷，相比于探测电磁扰动来检测有图形晶圆和掩模版的缺陷的方式，较少的实验样本来实现仿真数据的逼近，且利用网络模型处理多维非线性问题的能力，能够显著提高缺陷检测的灵敏度。
图形模版缺陷检测方法装置

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