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[发明专利]一种离子注入的方法-CN202010680105.1有效
发明人：张涛;王金翠;张秀全;李真宇;李洋洋 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本申请公开了一种离子注入的方法，所述方法通过在离子注入机中加增电子发生器，利用所述电子发生器所产生的电子束对注入片/压电晶片进行电子轰击，电子束中的电子能够与由于热释电效应而形成于注入面表面上的正离子相互作用，从而抑制由于压电晶片的热释电效应形成环形山纹样，进而提高注入片以及由所述注入片获得的压电薄膜的性能。
一种离子注入方法

[发明专利]电光晶体薄膜、制备方法及电子元件-CN202310231132.4有效
发明人： 王金翠;张涛;邢兆辉;王有贵;李慧青;董玉爽 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G02F1/03 文献下载
摘要：提供了一种电光晶体薄膜、制备方法及电子元件，涉及半导体元件技术领域，其中，电光晶体薄膜的制备方法包括：对衬底层进行刻蚀处理，刻蚀后的衬底层表面形成凹槽和相较于凹槽凸起的光波导结构；在凹槽内制备填充层；在光波导结构和填充层共同形成的表面依次制备隔离层、功能层，以形成复合薄膜；去除填充层，形成电光晶体薄膜。本申请中通过在衬底层上刻蚀光波导结构后制备填充层，并形成复合薄膜后，再将填充层去除，从而保证了在衬底层的刻蚀深度合适，形成高度合适的光波导结构。
电光晶体薄膜制备方法电子元件

[发明专利]一种提高离子注入层均匀性的方法-CN202211677870.3在审
发明人：张涛;胡卉;胡文;连坤;董玉爽;王金翠 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种提高离子注入层均匀性的方法，通过调整离子注入设备的离子束与晶圆的夹角，来避免离子束与晶圆的晶格原子之间的间隙平行，从而可避免离子注入时产生沟道现象，确保了被注入的离子能够到达晶圆中的深度均匀，提高了晶圆离子注入层的均匀性。
一种提高离子注入均匀方法

[发明专利]一种建筑物垂直度测量装置及其测量方法-CN202111631230.4有效
发明人：唐瑞林;卞小雨;唐华山;王金妹;丁雪莲;王金翠 -专利权人：盐城市经纬测绘科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种建筑物垂直度测量装置，包括底板，底板顶部的两侧均固定连接有支撑板，两个支撑板之间设置有支撑杆，支撑杆的顶部设置有垂直度测量仪，支撑杆外壁的底部设置有承载块，承载块上设置有驱动装置，承载块通过驱动装置与支撑板活动连接，两个支撑板之间的顶部设置有连接装置，两个支撑板之间的中部设置有定位装置，驱动装置包括两个圆弧块，圆弧块的一侧与承载块固定连接。本发明利用第二连接杆和承载块的配合使用，第二连接杆在第二弹簧和定位套筒可以对支撑杆进行一定位置限定，并且支撑杆扭矩过大时，承载块可以在两个支撑板之间滑动，从而带动支撑杆发生倾斜，可以防止支撑杆损坏。
一种建筑物垂直测量装置及其测量方法

[发明专利]一种复合薄膜及其制备方法-CN202310041547.5在审
发明人： 王金翠;连坤;张涛;董玉爽;李慧青;胡卉;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-01-11 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜包括衬底基板、第一隔离层、第二隔离层和功能薄膜层，所述第一隔离层、所述第二隔离层和所述功能薄膜层自下而上依次层叠设置于所述衬底基板的表面，且所述第一隔离层和所述第二隔离层的材质相同，所述第二隔离层的直径小于所述第一隔离层的直径。本申请会使得第一隔离层与第二隔离层之间的键合力更强，使衬底基板与功能基板所形成的键合体具有更好的键合效果，进而使得从键合体中剥离形成的复合薄膜具有更好的结构强度和稳定性。
一种复合薄膜及其制备方法

[实用新型]一种晶圆研磨装置-CN202223498980.1有效
发明人：殷菲菲;胡文;胡卉;连坤;王金翠 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本申请实施例提供的一种晶圆研磨装置，属于半导体制造设备技术领域，包括承载台和晶圆固定件，在承载台的晶圆固定区域上设置能够覆盖所有负压孔的晶圆固定件，并将晶圆固定在该晶圆固定件上，从而使晶圆被间接固定在承载台上，该种固定方式既方便工作人员更换晶圆，又解决了部分非标准晶圆因尺寸或者形状限制无法被吸附固定在承载台上的问题，提高了晶圆研磨设备的适用性，满足了不同规格产品的研磨需求，有效提高了工作效率。
一种研磨装置

[发明专利]一种优化注入颗粒的复合薄膜及其制备方法-CN202211441449.2在审
发明人：张涛;胡卉;胡文;连坤;董玉爽;王金翠 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H10N30/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种优化注入颗粒的复合薄膜及其制备方法，方法包括如下步骤：准备压电晶圆和衬底晶圆；将压电晶圆进行离子注入处理，在离子注入处理的全程利用粒子淋浴器产生的粒子束对离子束进行喷淋，粒子束在喷淋时与离子束形成夹角，得到包含薄膜层、分离层和余质层的压电晶圆注入片；将压电晶圆注入片与衬底晶圆进行键合，得到键合体；将键合体进行退火热处理，使得余质层与薄膜层分离，得到复合薄膜。本发明在离子注入工艺中引入粒子喷淋操作，利用与注入离子束形成一定夹角的粒子束来喷淋拦截颗粒，制备的复合薄膜的颗粒数最低可以降至300颗粒/片的水平，制备得到的复合薄膜表面均匀度大大提升，适用于大规模工业化的推广。
一种优化注入颗粒复合薄膜及其制备方法

[实用新型]一种便携式药剂存储设备-CN202222259118.9有效
发明人：刘测;冀润田;耿庆涛;龚军;戴培勤;滕宁宁;吕灿;王金翠;钱兆森 -专利权人：山东中节能天融环保技术有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B65D25/24 文献下载
摘要：一种便携式药剂存储设备，涉及加药装置技术领域，包括可移动底座，可移动底座底部设置有脚轮，可移动底座上固定安装有加药箱，壳体与药剂储藏腔之间设置有保温隔热腔，保温隔热腔内填充有保温隔热材料，药剂储藏腔底部设置有制冷片，药剂储藏腔内固定安装有加液管，加液管顶部可拆卸安装有加液软管，内盖与药剂储藏腔密封接触。本实用新型通过设置脚轮，从而可以实现便携式药剂存储设备的随意移动，转运方便，通过设置保温隔热腔从而保持制冷片所创造的隔热低温环境，利于药剂的保存，通过设置加液管，需要倒出药剂时，仅需要通过将加液软管连接在加液管上，然后通过加液管对药液进行定量输出，从而避免了药剂的倾倒，防止药剂的泄漏。
一种便携式药剂存储设备

[实用新型]一种氮氧化物二次处理装置-CN202222940622.5有效
发明人：冀润田;刘测;刘飞;吕灿;王金翠;戴培勤;滕宁宁 -专利权人：山东中节能天融环保技术有限公司
申请日： 2022-11-05 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B01D53/56 文献下载
摘要：本实用新型提供一种氮氧化物二次处理装置，属于生产烟气处理技术领域，包括窑体，窑体内的上部设置有雾化喷枪，雾化喷枪上设置有向下喷射的喷头和向窑壁方向喷射的喷头，雾化喷枪连接输送泵，输送泵连接氧化剂罐和催化剂罐，雾化喷枪的上侧设置有抽吸梁，抽吸梁连接风机一，风机一连接碱洗罐，碱洗罐连接风机二，风机二连接空气管道和窑体。在原有设备的基础上增设管道和风机，无需再设喷淋处理装置，实现废气的二次处理，降低了能耗，提高了喷淋液体的利用率，经过二次处理后的废气中氮氧化物含量大大降低。
一种氧化物二次处理装置

[实用新型]一种雨水排放控制装置-CN202222603945.5有效
发明人：吕灿;冀润田;刘测;耿庆涛;龚军;戴培勤;滕宁宁;王金翠;钱兆森;田浩 -专利权人：山东中节能天融环保技术有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H05K7/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种雨水排放控制装置，属于雨水排放控制装置技术领域，包括控制箱，所述控制箱的前侧通过铰链转动连接有箱门，所述控制箱的后侧内壁固定连接有开关电源和485IO模块，所述控制箱的后侧内壁固定连接有导轨，且导轨上固定连接有接触器和交流继电器，所述箱门的侧壁固定连接有工控屏。本实用新型中，通过设置开关电源、485IO模块、导轨、接触器、交流继电器和工控屏，实现对雨水排放的控制，内部布局合理，配件简化占用空间更小，便于安装，户外室内均可安装，不需要额外供电系统或者配电箱，只需接上电源，设置散热保护机构实现本装置的散热、防尘和防尘功能，提高对电器的保护效果。
一种雨水排放控制装置

[实用新型]一种晶圆承载装置-CN202222817026.8有效
发明人：张涛;胡文;胡卉;连坤;董玉爽;王金翠 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆承载装置，涉及晶圆加工设备领域，包括：承载座、第一限位部、第一支撑部、第二限位部和第二支撑部；通过设置第一限位部和第一支撑部、第二限位部和第二支撑部来形成不同直径的承载区域来承载不同规格的晶圆，从而提高了晶圆承载装置的适配性，解决了加工设备处理不同规格的晶圆时，需要更换晶圆承载装置的问题。
一种承载装置

[实用新型]一种矫正离子注入靶盘剂量差异的装置-CN202222408935.6有效
发明人：张涛;胡文;胡卉;连坤;王金翠;董玉爽 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： C30B31/22 文献下载
摘要：本申请提供的一种矫正离子注入靶盘剂量差异的装置，所述装置包括：靶盘，所述靶盘上设置若干靶位，所述靶位用于设置晶圆；靶盘旋转驱动组件，设置在所述靶盘的一侧，输出轴驱动连接所述靶盘，以使所述靶盘旋转；若干晶圆驱动组件，固定设置在所述靶盘的一侧，位于对应靶位的背面且输出轴穿设在对应靶位中，以通过输出轴驱动晶圆旋转。本申请提供的矫正离子注入靶盘剂量差异的装置，使晶圆能够进行随靶盘公转的同时又能进行自转，进而通过控制转速矫正晶圆上离子注入剂量的差异，以便于保证晶圆各处离子注入剂量趋于均衡。
一种矫正离子注入剂量差异装置

[发明专利]一种应用高锰酸盐指数法测定高氯水中COD含量的方法-CN202211415398.6在审
发明人：刘测;戴培勤;钱兆森;冀润田;吕灿;滕宁宁;王金翠;田浩 -专利权人：山东中节能天融环保技术有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N31/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用高锰酸盐指数法测定高氯水中COD含量的方法，属于水处理技术领域，本方法通过在待测水样中加入高锰酸钾溶液和碱液，煮沸30min，高锰酸钾使样品中有机物和无机物氧化，加入过量的草酸钠溶液还原剩余的高锰酸钾，使过量的高锰酸钾与草酸钠反应，最后用高锰酸钾反滴定多余的草酸钠，根据用去的高锰酸钾量计算出耗氧量。本发明的有益效果是，本方法中提出将氢氧化钠代替硫酸混合配制，拓宽了指数法的利用范围，提高了测试过程中抗氯离子干扰的能力，延长试剂保质期，提高了消解反应速率，提高了测试的效率。
一种应用高锰酸盐指数测定水中 cod 含量方法

[外观设计]雨排中控系统控制箱-CN202230651660.1有效
发明人：滕宁宁;冀润田;吕灿;刘测;耿庆涛;龚军;戴培勤;王金翠;钱兆森;田浩 -专利权人：山东中节能天融环保技术有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：雨排中控系统控制箱。2.本外观设计产品的用途：用于排水系统控制雨水的排放。3.本外观设计产品的设计要点：在于主视图。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
雨排中控系统控制箱

[实用新型]一种便携式低粘度药剂存储设备的搅拌装置-CN202222259981.4有效
发明人：滕宁宁;刘飞;耿庆涛;龚军;戴培勤;冀润田;吕灿;刘测;王金翠;田浩;钱兆森 -专利权人：山东中节能天融环保技术有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B01F33/501 文献下载
摘要：一种便携式低粘度药剂存储设备的搅拌装置，涉及加药装置技术领域，包括可移动底座，可移动底座底部设置有脚轮，可移动底座上固定安装有加药箱，壳体与药剂储藏腔之间设置有保温隔热腔，保温隔热腔内填充有保温隔热材料，药剂储藏腔底部设置有制冷片，药剂储藏腔内固定安装有加液管，加液管顶部可拆卸安装有加液软管，内盖与药剂储藏腔密封接触。本实用新型通过设置脚轮，转运方便，通过设置保温隔热腔从而保持制冷片所创造的隔热低温环境，利于药剂的保存，通过设置加液管，需要倒出药剂时，仅需要通过将加液软管连接在加液管上，然后通过加液管对药液进行定量输出，从而避免了药剂的倾倒，防止药剂的泄漏。
一种便携式粘度药剂存储设备搅拌装置