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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]便于清理检测头的智能环境检测设备-CN202321026195.8有效
发明人：吴家平;王祯祥;黄凤;王敏阳 -专利权人：江苏恩测检测技术有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01D11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了便于清理检测头的智能环境检测设备，属于环境检测技术领域，便于清理检测头的智能环境检测设备，包括检测仪，检测仪上安装有检测探头，检测仪的一侧设置有防护罩，防护罩的内部且位于检测探头的上方设置有清洁组件，防护罩的内部且位于检测探头的下方设置有收集组件，它可以实现方便对检测探头进行清理，保证设备检测结果的准确性，从而方便工作人员使用。
便于清理检测智能环境设备

[实用新型]一种用于高层建筑消防的消防箱结构-CN202320856518.X有效
发明人： 王祯祥;王晨喜 -专利权人：上海楷和建设工程有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： A62C35/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于高层建筑消防的消防箱结构，包括消防箱体，所述消防箱体下端前部和下端后部均安装有两个活动轮，所述消防箱体左端和右端共同安装有防护装置，所述防护装置后端下部安装有驱动装置，所述消防箱体上端中部安装有警报装置，所述消防箱体前端安装有箱门，所述箱门前端中部安装有把手。本实用新型所述的一种用于高层建筑消防的消防箱结构，通过警报装置烟雾传感器对烟雾进行感知，控制器收到烟雾的信息进而启动警报器，使人们能够快速取出消防器材进行灭火，减少生命财产损失，通过防护装置进一步提高了消防箱体的使用寿命，通过驱动装置上的电机推动消防箱体，使消防箱体在需要挪动时更加省时省力。
一种用于高层建筑消防结构

[发明专利]一种多功能空气质量检测装置-CN202310449296.4在审
发明人：陈佳;吴家平;王祯祥 -专利权人：江苏恩测检测技术有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多功能空气质量检测装置，属于空气质量检测技术领域，包括箱体：箱体连接有用于检测和推动气体流动的检测组件；检测组件输出端固定连接有集气组件，集气组件包括多工位收集组件和导通组件，多工位收集组件与箱体内底部固定连接，多工位收集组件与导通组件，导通组件与检测组件连接，导通组件还连接有排气管；通过上述方式，本发明多工位收集组件可进行分开收集，实现多工位分开收集功能。
一种多功能空气质量检测装置

[发明专利]一种基于二维碳材料的超级电容器的制备方法及其产品-CN202110762124.3有效
发明人：冯光;莫唐明;王祯祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01G11/86 文献下载
摘要：本发明属于超级电容器相关技术领域，并公开了一种基于二维碳材料的超级电容器的制备方法及其产品。该制备方法包括下列步骤：S1选取多孔石墨炔作为基体，在该基体中掺杂非金属元素，使得该多孔石墨炔成为导体；在基体中掺杂非金属元素是指采用非金属原子取代所述基体中的碳原子；所述非金属元素为硼、氮、氧或者硫元素中的一种；掺杂方式为四价掺杂；多孔石墨炔为多孔石墨炔中氢取代石墨单炔，氢取代石墨二炔或者卤素取代石墨炔中的一种；S2将步骤S1中的导体多孔石墨炔作为电极，离子液体作为电解质，以此形成超级电容器。通过本发明，解决超级电容器能量密度低的问题。
一种基于二维材料超级电容器制备方法及其产品

[发明专利]一种用于水环境在线监测浮标站-CN202011327967.2有效
发明人：赵列军;王祯祥;金民 -专利权人：江苏恩测检测技术有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B63B22/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于水环境在线监测浮标站，包括安装壳、复位组件、减震组件、监测组件和发电组件；安装壳：内部的上端固定有固定盘；复位组件：安装在固定盘的下端面上，通过设置复位组件将安装壳恢复到原来的位置；减震组件：安装在安装壳的圆周面上，通过设置减震组件对安装壳进行缓冲；监测组件：包含固定桶、水质监测装置、进水管、水泵和连接管，所述固定桶固定在安装壳内部的下端面上，具有减震性能，能够在遭受撞击时进行缓冲，减小撞击力度，从而避免出现损坏，而且能够在遭受到撞击后，自动复位，并且能够非常方便的对抽水的深度进行调整，使得水质的监测范围增大。
一种用于水环境在线监测浮标

[发明专利]用于确定辅助特征的印制概率的系统、方法和产品及其应用-CN202180045311.8在审
发明人： 王祯祥;阳鹏程;黄郊;卢彦文;刘亮;张琛 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文描述了一种用于确定掩模图案的辅助特征将印制于衬底上的可能性的方法。所述方法包括：获得(i)被印制于衬底上的图案的多个图像，和(ii)方差数据、所述图案的所述多个图像；基于所述方差数据来确定被配置成产生与所述掩模图案相关联的方差数据的模型；和基于针对给定掩模图案的模型产生的方差数据、以及与所述给定掩模图案相关联的抗蚀剂图像或蚀刻图像，来确定所述给定掩模图案的辅助特征将被印制于所述衬底上的可能性。所述可能性可以被应用于调整与图案化过程或图案形成设备相关的一个或更多个参数，以降低所述辅助特征将印制于所述衬底上的可能性。
用于确定辅助特征印制概率系统方法产品及其应用

[发明专利]用于转换量测数据的方法-CN202211028992.X在审
发明人：郭蕴博;王竹;杨丰;赵谦;冯牧;王祯祥 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本文描述了一种量测系统和用于经由经训练的机器学习(ML)模型转换量测数据的方法。所述方法包括：访问由第一扫描电子量测(SEM)系统获取的第一SEM数据集(例如图像、轮廓灯)和由第二SEM系统获取的第二SEM数据集，其中所述第一SEM数据集和所述第二SEM数据集与图案化衬底相关联。使用所述第一SEM数据集和所述第二SEM数据集作为训练数据，机器学习(ML)模型被训练，使得所述经训练的ML模型被配置为将由所述第二SEM系统获取的量测数据集转换为转换数据集，所述转换数据集具有与由所述第一SEM系统获取的量测数据相当的特性。此外，测量值可以基于所述经转换的SEM数据来确定。
用于转换数据方法

[发明专利]确定用于光刻相关图案的圆化轮廓-CN202210632761.3在审
发明人：吕稳;M·F·沙伊甘萨拉克;谢晓波;王祯祥 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G03F1/70 文献下载
摘要：本文中描述了用于确定目标轮廓的圆化轮廓、或用于掩模设计的其它的光刻有关轮廓的方法和系统。所述方法包括将轮廓表示转换成(i)在第一维度(例如，x)中的第一组轮廓点位置和(ii)在第二维度(例如，y)中的第二组轮廓点位置。基于所述第一组轮廓点位置和所述第二组轮廓点位置来确定信号函数，所述信号函数指示所述轮廓表示的不同区段。基于第一滤波函数和所述信号函数来更新所述第一组轮廓点位置，并且基于所述第二滤波函数和所述信号函数来更新所述第二组轮廓点位置。基于更新后的轮廓点位置，产生所述轮廓表示的圆化轮廓。
确定用于光刻相关图案轮廓

[实用新型]一种具备实验模拟功能的智能环境测验系统-CN202221521626.3有效
发明人：周梦驰;王祯祥;龚思羽 -专利权人：江苏恩测检测技术有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具备实验模拟功能的智能环境测验系统，涉及环境检测相关领域，为解决目前的整体检测装置的设置较为封闭，从而较易耗费人力成本和工作时间，并且对于内部装置的防护性较弱，对于整体装置的防护性较弱，从而较易对内部结构产生损伤，从而影响整体装置的使用的问题。所述系统箱的外表面设置有观察窗，所述观察窗的内部转动连接有调节球，所述调节球的内部设置有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有观察桶镜，所述观察桶镜的内部分别设置有凸透镜和凹透镜，所述系统箱的内壁固定连接有驱动箱，所述驱动箱的内部设置有气缸，所述气缸的输出端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的底端固定连接有清洁海绵垫。
一种具备实验模拟功能智能环境测验系统

[发明专利]用于模型基础对准的基于机器学习的图像产生-CN202080075537.8在审
发明人：张强;郭蕴博;曹宇;王祯祥;卢彦文;陈丹武;阳鹏程;梁浩毅;陈志超;浦凌凌 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-10-01 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于训练机器学习模型以产生预测的被测量图像的方法，包括：获得(a)与参考设计图案相关联的输入目标图像，和(b)与印制于衬底上的指定设计图案相关联的参考测量图像，其中所述输入目标图像与所述参考测量图像为未对准的图像；和通过硬件计算机系统且使用所述输入目标图像训练所述机器学习模型以产生预测的被测量图像。
用于模型基础对准基于机器学习图像产生

[发明专利]微调过程模型的方法-CN202210108239.5在审
发明人：冯牧;M·F·沙伊甘萨拉克;朱典文;郑雷武;拉斐尔·C·豪厄尔;王祯祥 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明中披露了构造过程模型的方法，该过程模型用于根据在不同处理条件下产生的图案模拟光刻术的产品的特性。所述方法使用该被模拟的特性的变化与被测量的特性的变化之间的偏差以调整该过程模型的参数。
微调过程模型方法

[发明专利]用于改善图像中的结构的基于过程的轮廓信息的方法-CN202080058841.1在审
发明人：郑羽南;范永发;冯牧;郑雷武;王祯祥;罗亚;张辰骥;陈骏;侯振宇;王进泽;陈峰;马紫阳;郭欣;程进 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-08-01 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文描述了产生经修改的模拟轮廓和/或基于经修改的轮廓产生量测量规的方法。一种产生用于测量衬底上的结构的物理特性的量测量规的方法包括：获得(i)与印制于所述衬底上的所述结构的所述物理特性相关联的测量数据，和(ii)所述结构的模拟轮廓的至少一部分，所述模拟轮廓的所述部分与所述测量数据相关联；基于所述测量数据修改所述结构的所述模拟轮廓的所述部分；和在所述模拟轮廓的经修改的部分上或附近产生所述量测量规，所述量测量规被放置以测量所述结构的所述模拟轮廓的所述物理特性。
用于改善图像中的结构基于过程轮廓信息方法

[发明专利]训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法-CN202080055236.9在审
发明人：马紫阳;程进;罗亚;郑雷武;郭欣;王祯祥 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本文描述一种用于训练机器学习模型的方法，所述机器学习模型被配置成预测与衬底相关联的物理特性的值以用于调整图案化过程。所述方法涉及：获得参考图像；确定所述机器学习模型的模型参数值的第一集合，使得第一成本函数从使用初始模型参数值集合获得的成本函数的初始值减小，其中所述第一成本函数是所述参考图像与经由所述机器学习模型产生的图像之间的差；以及使用所述模型参数值的第一集合来训练所述机器学习模型，使得迭代地减小所述第一成本函数与第二成本函数的组合，所述第二成本函数是测量值与预测值之间的差。
训练用于改善图案过程机器学习模型方法

[发明专利]微调过程模型的方法-CN201880008283.0有效
发明人：冯牧;M·F·沙伊甘萨拉克;朱典文;郑雷武;拉斐尔·C·豪厄尔;王祯祥 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明中披露了构造过程模型的方法，该过程模型用于根据在不同处理条件下产生的图案模拟光刻术的产品的特性。所述方法使用该被模拟的特性的变化与被测量的特性的变化之间的偏差以调整该过程模型的参数。
微调过程模型方法

[发明专利]用于图案化过程建模的方法-CN202080044810.0在审
发明人： 王祯祥;陈峰;M·A·法兰卡维拉;J·W·必吉斯马 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：描述一种图案化过程建模方法。所述方法包括：利用过程模型的前端确定与图案化过程流程内的操作的过程物理学和/或过程化学相关联的函数；和利用所述过程模型的后端确定所述预测的晶片几何形状。所述后端包括所述晶片上的目标区域的体积表示。通过应用来自所述前端的所述函数以操控所述晶片的所述体积表示来确定所述预测的晶片几何形状。可以使用体积动态B树产生所述晶片的所述体积表示。可以使用水平集合方法来操控所述晶片的所述体积表示。与所述图案化过程流程内的所述操作的过程物理学和/或过程化学相关联的所述函数可以是速度/速率函数。可以使用射线追踪来确定所述晶片的模型化表面上的入射通量。
用于图案过程建模方法

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