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[发明专利]一种压电片阻抗特性测量装置及其测量方法-CN202110628405.X有效
发明人：丁庆胜;郝泽仁;徐婵娜;叶林森;沈凡 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B07C5/344 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电片阻抗特性测量装置及其测量方法，包括载片测试台，载片测试台顶部端面中设有测试台端面通孔，载片测试台顶部端面下侧设有转动电机，转动电机轴端固定安装有用于放置压电片的转盘，载片测试台外侧设有色标传感器，色标传感器所发出的光信号能照射至放置于转盘上的压电片的侧壁上；测试台端面通孔上方处设有探针推杆，探针推杆的杆端固定连接有用于实现压电片阻抗特性测量的测量探针。通过布置色标传感器控制置于转盘上的压电片所需转动的角度，以实现阻抗特性测量中压电片的定位监测。
一种压电阻抗特性测量装置及其测量方法

[发明专利]一种发热膜式液体加热器及其均温加热方法-CN202011178865.9有效
发明人：付新;罗政;赵艺文;杜森;徐宁 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： F24H1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种发热膜式液体加热器及其均温加热方法，筒体两端设端头固定板，热管设筒体内，两端头固定板上分别贯穿设管道口，管道口内设连接管，两连接管内端均设密封连接组件，热管外侧涂覆发热膜层，发热膜层左右两侧连接设电极层，电极层与外接电源相连，发热膜层外侧涂覆绝缘层，热管内固定连接分流柱，热管内侧和分流柱之间配合形成加热腔，分流柱左右两端及其内侧均设分流槽，分流槽两外端侧与连接管相连通，分流槽与加热腔相连通。发热膜层通电产生热量，热量向内传导至热管和分流柱上，热量向外传导至筒体；液体经连接管和分流槽流入加热腔中。改善对加热腔中流过的液体流的加热均匀性。
一种发热液体加热器及其加热方法

[发明专利]一种基于液力平衡原理的磁悬浮泵-CN202010056650.3有效
发明人：付新;张一帆;陈鑫;李博;苏芮;胡亮 -专利权人：浙江大学;浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： F04D13/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于液力平衡原理的磁悬浮泵结构，包括内部引流式进水口补偿结构和双向进水口补偿结构，叶轮系统同时受到多入口输入的液体压力，以补偿或平衡轴向冲击，以解决现有磁悬浮泵入水口水压波动导致转子轴向受到较大冲击，从而造成的转子旋转失稳、脉冲式出水、摩擦导致出水不纯、功率受限等问题。所述内部引流式进水口补偿结构主要特征在于内部引流式泵头结构；所述双向进水口补偿结构包括单电机形式和双电机形式，所述单电机形式和双电机形式主要特征在于双入口式泵头结构。本发明合理优化结构，利用内部引流式或多入口代替单入口来补偿或平衡叶轮运转过程中的轴向冲击，具有旋转稳定，出水平稳，功率大，结构紧凑等优点。
一种基于平衡原理磁悬浮

[发明专利]一种辐射加热浸没单元洁净烘干装置及其烘干方法-CN202010913186.5有效
发明人：江利民;徐晓峰;李元;江深;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种辐射加热浸没单元洁净烘干装置及其烘干方法，通过在封闭的烘干箱体的上空腔内进行使用箱体上方外部的辐射加热器进行对浸没单元在稳定的干燥气体环境下进行加热烘干处理，通过第一出气口、第二出气口和箱底出气口进行配合上空腔和下空腔的干燥气体分隔处理，可使得烘干加热处理更加稳定洁净，通过温度传感器和湿度传感器分别对上空腔和下空腔的温湿度数据采集信息，可更可靠有效的获得对辐射加热器的启动工作与关停工作控制，可有效避免浸没单元因过热而导致部分装配件产生形变和功能失效，避免浸没单元加速老化或带来污染，提高浸没单元烘干清洁可靠稳定性。
一种辐射加热浸没单元洁净烘干装置及其方法

[发明专利]一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置-CN202010055886.5有效
发明人：付新;王晓波;吴敏;苏芮;胡亮 -专利权人：浙江大学;浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置包包括浸液供给通道、浸液回收通道以及抽排开口，相邻的抽排开口之间设置钉扎带；所述钉扎带具有内钉扎带和外钉扎带，分别限制弯液面向内后退和向外前进，可提高浸没流场的密封能力，改善浸液回收通道的振动特性，提高衬底曝光的质量。
一种用于浸没光刻浸液供给回收装置

[发明专利]一种具有双层隔离封环的洁净流体管式加热器-CN202011436532.1有效
发明人：罗政;赵艺文;何元杰;陈文昱;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： F24H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有双层隔离封环的洁净流体管式加热器，包括设于加热器两侧处的隔离封环，所述隔离封环为双层分体式结构，隔离封环包括封环外环和封环内衬，封环外环用于在高承压状态下封环外环形变小，避免出现变形失效引起加热器损坏，封环外环同轴线套接于封环内衬外侧，封环外环内侧壁紧贴封环内衬外侧壁；封环内衬内设用于外界流体流入或流出的端口流道，封环内衬内并位于端口流道靠外一侧处设有呈环形的限位凹槽，管式加热管左右两端分别固定连接设于对应两侧的限位凹槽间处。可加速间隙中流体流动，避免间隙中气泡聚集，避免热管局部热量聚积无法及时散去，防止引发局部高温，提高热管使用安全可靠性。
一种具有双层隔离洁净流体管加热器

[发明专利]一种浸没控制单元的扰动力测量装置-CN202011598053.X有效
发明人：符文静;王帅;胡归;徐文苹;徐宁;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01L11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种浸没控制单元的扰动力测量装置，包括基座、模拟物镜机构、模拟衬底机构及力测量机构，模拟物镜机构包括模拟物镜和物镜连接件，模拟物镜通过物镜连接件与基座固定连接在一起；模拟衬底机构包括衬底和承载衬底的衬底台，衬底上方设依次浸没控制单元和力测量机构，力测量机构上端与基座相连接，力测量机构具有力测量器和位移调节结构，力测量器设于模拟物镜上方；浸没控制单元定位至环绕模拟物镜径向外侧以及位于衬底上方，且分别与模拟物镜和衬底保持间隙。有效测量评估浸没控制单元受到的来自浸没流场的扰动力，更好保证在浸没流场力扰动下的浸没控制单元的定位可靠，保证浸没流场的空间形状稳定性，保证扰动力测量的有效可靠性。
一种浸没控制单元扰动测量装置

[发明专利]气液分离组件、用此组件的气液分离装置及气液分离方法-CN202010913381.8有效
发明人：徐晓峰;李元;杜亮;陈文昱;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B01D45/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种气液分离组件、用此组件的气液分离装置及气液分离方法，内设有一级、二级和三级气液分离，一级气液分离对来自于浸没单元中气液二相流进行初步气液分离，第二级气液分离实现第一级分离结构中的气液二相流的流量分流，将分流后的流量进行快速高效处理；二级气液分离后再经三级气液分离再次进行细致化的气液分离，更好确保了从分流块流出的气体和液体皆以较为纯净的形式流出，保证了本专利分离效果，本专利内的第一弧形板和第二弧形板都分别具有短暂蓄液效果，避免了现有气液分离装置压力波动大所引起的振动干扰问题，使得浸没式光刻机内的浸没单元在光刻过程中能够保持在可靠可控的操作范围内，同时具有设备占用体积小的优点。
分离组件装置方法

[发明专利]一种轴向长度可调的密封接头-CN202111637890.3在审
发明人：谢尚翔;徐宁;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： F16L13/02 文献下载
摘要：本发明属于管接头技术领域，公开了一种轴向长度可调的密封接头，包括第一接头、第二接头、限位件；第一接头内设有抵接部，第一接头远离抵接部的一端设有限位件；第二接头外侧设有凸缘部；第二接头的凸缘部插设于第一接头内并受到抵接部的轴向移动限制，凸缘部限制于抵接部和限位件之间，且可在抵接部和限位件之间轴向移动；凸缘部设有环形凹槽，环形凹槽内设有密封件，密封件将第一接头、第二接头之间的缝隙填充；第一接头内周壁环设有沟槽部，沟槽部与第二接头外周壁相正对，且相互配合以形成迷宫密封。本发明接头长度可调、密封性好，能够补偿热胀冷缩等现象引起的管路间距变化，接头使用方便、灵活，且接头结构简单、生产成本低。
一种轴向长度可调密封接头

[发明专利]磁力联轴器在线监测系统、方法及采用其的磁力泵-CN202111640222.6在审
发明人：成克云;陈娟;杨军;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： F04D15/00 文献下载
摘要：本发明公开了磁力联轴器在线监测系统、方法及采用其磁力泵，磁力联轴器在线监测系统，包括磁力联轴器；磁力联轴器包括外转子、内转子、金属隔套；外转子、内转子中均设有多个磁钢，外转子中的磁钢与内转子中的磁钢磁耦合，金属隔套设置于外转子和内转子之间；在磁钢于金属隔套上的投影面扫掠过的区域内设有磁场强度传感器，磁场强度传感器用于测量外转子中的磁钢与内转子中的磁钢之间的磁场强度，根据磁场强度测量结果判断磁钢状态是否正常，预防磁钢状态异常引发故障。
磁力联轴器在线监测系统方法采用磁力泵

[发明专利]一种磁力联轴器温度控制系统及采用其的磁力泵-CN202111640223.0在审
发明人：歹晓晖;杨军;房鑫;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： F04D29/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁力联轴器温度控制系统及采用其的磁力泵，磁力联轴器温度控制系统包括磁力联轴器、温度控制系统；磁力联轴器包括外转子、内转子、金属隔套；温度控制系统包括第一温度传感器、第二温度传感器、控制模块、冷却模块，第一温度传感器、第二温度传感器分别与控制模块连接，控制模块与冷却模块连接，内外转子中的磁钢磁耦合，金属隔套设置于内外转子之间；在磁钢于金属隔套上的投影面扫掠过的区域轴向外侧上由近及远设置第一温度传感器和第二温度传感器，控制模块根据检测得到的检测温度以及相应预设距离控制冷却模块的启闭，以对金属隔套进行降温。本发明温度检测精度高，实现了温度控制系统的冷却能力与电涡流的发热功率相适配。
一种磁力联轴器温度控制系统采用磁力泵

[发明专利]一种具有新型抽排腔的浸液供给回收装置-CN202010055888.4有效
发明人：不公告发明人 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有新型抽排腔的浸液供给回收装置。本发明包括抽排开口、抽排腔以及密封抽排通道，所述的抽排腔通过多个与抽排开口与浸没流场连通，不同抽排腔连通的抽排开口沿周向交叉排布；抽排腔至少有两个，每个抽排腔分别通过一个密封抽排通道与浸液回收系统连通；各个抽排腔与密封抽排通道的连通点沿抽排腔周向均匀布置。本发明通过将浸液抽排开口交叉引入多个抽排腔再被密封抽排通道抽排的方法，使不同的抽排腔和密封抽排通道始终同时处理高流量负载和低流量负载的抽排开口，改善了浸液回收通道的负载均衡能力，提高了维持浸没流场密封的稳定性、抑制气液两相流型改变所引发的振动特性和热传导特性波动问题，从而提高曝光质量。
一种具有新型抽排腔浸液供给回收装置

[发明专利]一种红外辐射加湿装置及其加湿方法-CN202010678587.7有效
发明人：不公告发明人 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F24F6/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外辐射加湿装置及其加湿方法，包括红外波装置、蒸发腔室、液相水供给装置和载气流道。其中主腔体为蒸发腔室；红外波装置由螺旋线形状的异形红外发生器和红外控制器组成，用于提供一定波谱及功率的红外波；液相水供给装置由供液控制隔膜阀、雾化喷嘴组成，载气流道包含干气供气流道与湿气出口流道，蒸发式腔体内部设有温度传感器及液位传感器用于保证蒸发腔室内部温度与控制内部残留液量；液滴去除装置用于过滤去除湿气体中夹带的未气化的小液滴；采用红外辐射方式加速水雾蒸发，具有加湿量可调、载气进出口温差小、工作状况不影响周围环境温度等优点，加湿效率高，提高环境气体高洁净度。
一种红外辐射加湿装置及其方法

[发明专利]无轴承永磁同步电机径向力精确补偿解耦控制方法-CN202010059364.2有效
发明人：付新;李玲玲;苏芮;胡亮 -专利权人：浙江大学;浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H02P21/00 文献下载
摘要：本发明提出一种无轴承永磁同步电机径向力精确补偿解耦控制方法，包括位置控制器、力/电流转换、电流控制器、径向位移传感模块、转矩绕组磁链和转子角位置观测器、神经网络以及电压型逆变器。离线训练神经网络确定无轴承永磁同步电机系统力‑位置模型；将径向位移传感测量信号与转子角位置观测信号反馈到神经网络输入端，得到的输出信号与位置控制器的输出信号叠加，实现对无轴承永磁同步电机径向力的精确补偿解耦控制。该方法解决了转子径向位置x，y间的非线性耦合问题，提高了转子悬浮的控制精度与响应速度等动态与静态系统性能，达到对无轴承永磁同步电机悬浮子系统高精度控制的目的。
轴承永磁同步电机径向精确补偿控制方法

[发明专利]一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置-CN202010055161.6在审
发明人：不公告发明人 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置包包括浸液供给通道、浸液回收通道以及抽排开口，在抽排开口和注气开口之间设置缓冲腔，使弯液面在向外运动时压缩缓冲腔；缓冲腔受压缩后会增强气密封压力，提高气密封对弯液面的约束效果。设计注气开口到抽排开口的流道流阻显著小于注气开口到外部开放环境的流道流阻，使来自注气开口的密封气体大部分流向缓冲腔和抽排开口，可以增大缓冲腔对衬底运动速度的适应范围。
一种用于浸没光刻浸液供给回收装置