专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种微管内气液两相流流型的检测装置及方法-CN201711395982.9有效
  • 付新;徐杭杭;胡亮;陈文昱 - 浙江启尔机电技术有限公司
  • 2017-12-21 - 2023-10-13 - G01N29/032
  • 本发明涉及一种微管内气液两相流流型的检测装置及方法。本发明包括注液流道、回收微流道和气密封通道。通过等间隔在回收微流道两侧分别布置三对超声波信号发射单元和接收端信号处理单元来实现气液回收时管内流型的实时监测,再配合浸液输送单元、密封气体输送单元和气液回收单元进行协同自适应控制。使浸没流场时时处于动态平衡状态,实现浸没流场边界的稳定约束,同时消除回收微流道内段塞流流型,有效控制浸没液体回收过程中的流体行为引起的振动。本发明从工况入手,避免由于结构现状导致的浸没单元外部到回收腔之间产生气液两相流,有效控制浸没液体回收过程中的流体行为引起的振动,在根本上消除回收微流道内气液两相流混合的问题。
  • 一种微管内气液两相流流检测装置方法
  • [发明专利]一种液力平滑的微压平膜压力传感阵列及制备工艺-CN202210650397.3有效
  • 刘伟庭;李佳潞;胡亮;付新 - 浙江大学
  • 2022-06-09 - 2023-09-26 - G01L9/06
  • 本发明公开了一种测量超薄液膜壁面压力的平膜式压力传感器及制备工艺。传感阵列嵌入在被测壁面内,传感阵列包括多个传感单元,每个传感单元中,被测壁面内部开设有阶梯状油腔,在被测壁面背面开设充油孔,充油孔和阶梯状油腔侧旁连通;PVDF膜安装孔位处固定嵌装PVDF膜片与被测壁面齐平,压力传感芯片安装孔位处固定布置MEMS压力传感芯片;在真空条件下,在粘贴了MEMS压力芯片和PVDF膜片后进行真空注液工艺。本发明结构对原流场的干扰最小化,规避引压孔结构引起的测量误差,实现5mm的空间阵列排布,提升传感器的动态响应性能,结构紧凑,能在1kPa的量程内达到千分之二的测量精度。
  • 一种平滑压平压力传感阵列制备工艺
  • [发明专利]一种基于双柔性副的三自由度精密调节并联机构-CN201711337382.7有效
  • 付新;朱春;徐宁 - 浙江启尔机电技术有限公司
  • 2017-12-14 - 2023-09-12 - G03F7/20
  • 本发明涉及一种基于双柔性副的三自由度精密调节并联机构。本发明包括三组以并联方式连接结构相同的运动支链,三组运动支链以浸没单元中心孔为中心圆周不均匀分布在浸没单元三个伸出端。所述的每组运动支链均包括直线运动组件、双柔性副连杆组件、机械防撞组件、Z向位移测量组件、重力补偿组件。本发明用以实现浸没式光刻机浸没单元的安装固定和空间位姿调节,实现浸没单元亚微米级定位;采用双柔性副,结构简单紧凑,具有无摩擦、不需润滑的优点;整体采用并联机构,刚度高、响应快、调节范围大,采用模块化设计装配,能用于浸没式光刻机以外其它场合下的三自由度精密调节。
  • 一种基于柔性自由度精密调节并联机构
  • [发明专利]一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置-CN201711338005.5有效
  • 付新;陈文昱;徐宁 - 浙江启尔机电技术有限公司
  • 2017-12-14 - 2023-09-12 - G03F7/20
  • 本发明涉及一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置。本发明包括气液分离器、气液分离罐、液体流量控制器、气体和液体分离前的两相流回路、气体和液体分离后的排气回路、气体和液体分离后的排水回路;气液分离器与气体和液体分离前的两相流回路、气液分离罐上部入口相连,气液分离罐与气体和液体分离后的排气回路、液体流量控制器的入口相连,液体流量控制器、气液分离器合与气体和液体分离后的排水回路相连。本发明能够在负压抽吸的作用下对气液两相流实现连续的分离过程,并且较之前的解决方案在分离回收的效率和效果上均有明显的提升。同时避免了对系统负压造成的干扰,且能在故障条件下将系统内的气体和液体排出及时泄压。
  • 一种用于浸没光刻两级分离回收装置
  • [实用新型]一种实验用发酵用添加剂精确配比装置-CN202223121720.2有效
  • 马奎;徐天海;付新 - 新疆绿城生物科技发展有限公司
  • 2022-11-23 - 2023-09-12 - C12M1/00
  • 本实用新型公开了一种实验用发酵用添加剂精确配比装置,包括发酵罐、防回流机构、配比机构和封闭机构;发酵罐的顶端固定连接有进料顶盖,发酵罐的底端固定连接有多个支撑底座,发酵罐的底端安装有出料口;本实用新型通过对拉动盖板的拉动,可以使拉动盖板通过连接盖板带动连接拉绳滑动,使连接拉绳对封闭盖板进行拉动,使封闭盖板对进料顶盖的进料口封闭,然后倒入添加剂,通过观察透明刻度板的刻度可以方便观察添加剂的添加量,方便进行控量,当添加剂添加完毕后关闭连接盖板,使封闭盖板一侧的弹簧对封闭盖板进行拉动,使封闭盖板解除对进料口的封闭,使进料顶盖内壁的添加剂从进料口进入发酵罐内,方便对添加剂的添加。
  • 一种实验发酵添加剂精确配比装置
  • [发明专利]光刻设备检测系统及其检测方法-CN202310652690.8在审
  • 付新;徐文苹;赵美慧;文科权;徐宁;陈文昱 - 浙江大学
  • 2023-06-02 - 2023-09-05 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法,上密封件从浸没控制单元上方完全遮蔽其中心通孔,下密封件从浸没控制单元下方完全遮蔽其中心通孔,共同合围形成中心流室;下密封件中设下采样流道,下采样流道两端分别与中心通孔和洁净度检测器相连。对组装好的浸没控制单元及其附属流路进行浸液流路的洁净度检测,在检测过程中,封闭浸没控制单元中心通孔的上下两端,避免其内部容纳的浸液与环境气体接触,从而准确地检测浸液的洁净度,以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净度质量。
  • 光刻设备检测系统及其方法
  • [实用新型]一种带有清屑功能的自行车生产用铣孔机-CN202320431665.2有效
  • 庄延伟;刘树赫;付新;吴小平 - 天津捷马电动科技有限公司
  • 2023-03-09 - 2023-08-22 - B23C3/00
  • 本申请涉及铣孔机技术领域,公开了一种带有清屑功能的自行车生产用铣孔机,包括底座,所述底座的上端通过多根支撑柱固定连接有同一个托接框,所述底座的上端对称固定连接有两根液压推杆,两根所述液压推杆的上端输出端固定连接有同一个升降板,所述升降板的表面均匀开设有多个通孔,且对应通孔内通过轴承转动套接有钻杆,所述升降板的上端固定安设有用于驱动多根钻杆同步转动的驱动机构,所述底座的表面对称固定插套有两个电动推杆,两个所述电动推杆的上端输出端固定连接有同一个横板。本申请能够在钻孔后进行自动清屑操作,保证了生产连续性和后续生产质量。
  • 一种带有功能自行车生产用铣孔机
  • [发明专利]光刻设备检测系统及其检测方法-CN202310650752.1在审
  • 付新;徐文苹;赵美慧;文科权;徐宁;陈文昱 - 浙江大学
  • 2023-06-02 - 2023-08-15 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法,包括模拟末端投影物镜、气体供给系统和采样检测系统,模拟末端投影物镜具有朝向浸没控制单元的镜侧面和朝向衬底的镜底面,镜侧面中设有呈环形分布且朝向浸没控制单元的多个侧开口;模拟末端投影物镜内设有注气流道和采样流道,注气流道一端与气体供给系统相连通,气体供给系统向注气流道供给难溶于浸液中的气体,注气流道另一端与侧开口相连通;采样流道一端与采样检测系统相连通,采样流道另一端贯穿镜底面。利用难溶性气体将浸没流场自由界面与环境气体相分隔,避免环境因素干扰,从而准确地检测浸液的洁净度,以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净度质量。
  • 光刻设备检测系统及其方法

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