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[发明专利]一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置-CN202010055155.0有效
发明人：付新;李威锋;吴敏;苏芮;胡亮 -专利权人：浙江大学;浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置具有第一抽排开口和第二抽排开口，使大部分浸液经第一抽排开口被抽吸，大部分密封气体经第二抽排开口被抽吸，使第一抽排开口和第二抽排开口中都具有较稳定的气液比例和流型；抽排开口和注气开口之间设置缓冲腔，使弯液面在向外运动时压缩缓冲腔；缓冲腔受压缩后会增强气密封压力，提高气密封对弯液面的约束效果。
一种用于浸没光刻浸液供给回收装置

[发明专利]一种微管内气液两相流流型的检测装置及方法-CN201711395982.9有效
发明人：付新;徐杭杭;胡亮;陈文昱 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01N29/032 文献下载
摘要：本发明涉及一种微管内气液两相流流型的检测装置及方法。本发明包括注液流道、回收微流道和气密封通道。通过等间隔在回收微流道两侧分别布置三对超声波信号发射单元和接收端信号处理单元来实现气液回收时管内流型的实时监测，再配合浸液输送单元、密封气体输送单元和气液回收单元进行协同自适应控制。使浸没流场时时处于动态平衡状态，实现浸没流场边界的稳定约束，同时消除回收微流道内段塞流流型，有效控制浸没液体回收过程中的流体行为引起的振动。本发明从工况入手，避免由于结构现状导致的浸没单元外部到回收腔之间产生气液两相流，有效控制浸没液体回收过程中的流体行为引起的振动，在根本上消除回收微流道内气液两相流混合的问题。
一种微管内气液两相流流检测装置方法

[发明专利]一种光刻方法-CN202011563660.2有效
发明人：吴敏;付婧媛;徐宁;陈文昱 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种光刻方法。本发明提供携带集成电路图案信息的激光束，使激光束穿过投影物镜后投射在具有多个曝光靶区的衬底上，激光束投射的目标区域为投影区；提供折射率大于空气的浸没液体，完全填充投影物镜与衬底之间的激光束经过的空间，形成浸没流场，浸没流场具有流场边界。本发明使浸没流场与尾迹中可能存在的残留液滴接触并融合，实现对尾迹中残留液滴的清扫和消除，从而降低残留液滴对衬底的污染风险，同时允许在曝光过程中使用更高的最大扫描速度，甚至可以采用高于弯液面破裂临界速度的最大扫描速度；有利于提高光刻机的产率和/或减少曝光缺陷的数量。
一种光刻方法

[发明专利]一种基于双柔性副的三自由度精密调节并联机构-CN201711337382.7有效
发明人：付新;朱春;徐宁 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于双柔性副的三自由度精密调节并联机构。本发明包括三组以并联方式连接结构相同的运动支链，三组运动支链以浸没单元中心孔为中心圆周不均匀分布在浸没单元三个伸出端。所述的每组运动支链均包括直线运动组件、双柔性副连杆组件、机械防撞组件、Z向位移测量组件、重力补偿组件。本发明用以实现浸没式光刻机浸没单元的安装固定和空间位姿调节，实现浸没单元亚微米级定位；采用双柔性副，结构简单紧凑，具有无摩擦、不需润滑的优点；整体采用并联机构，刚度高、响应快、调节范围大，采用模块化设计装配，能用于浸没式光刻机以外其它场合下的三自由度精密调节。
一种基于柔性自由度精密调节并联机构

[发明专利]一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置-CN201711338005.5有效
发明人：付新;陈文昱;徐宁 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于浸没式光刻机的两级气液分离回收装置。本发明包括气液分离器、气液分离罐、液体流量控制器、气体和液体分离前的两相流回路、气体和液体分离后的排气回路、气体和液体分离后的排水回路；气液分离器与气体和液体分离前的两相流回路、气液分离罐上部入口相连，气液分离罐与气体和液体分离后的排气回路、液体流量控制器的入口相连，液体流量控制器、气液分离器合与气体和液体分离后的排水回路相连。本发明能够在负压抽吸的作用下对气液两相流实现连续的分离过程，并且较之前的解决方案在分离回收的效率和效果上均有明显的提升。同时避免了对系统负压造成的干扰，且能在故障条件下将系统内的气体和液体排出及时泄压。
一种用于浸没光刻两级分离回收装置

[发明专利]具有温度均衡功能的浸没控制单元-CN202310614486.7在审
发明人：张颖;徐闯;童金杰;江深;李元;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有温度均衡功能的浸没控制单元，浸没控制单元环绕在末端投影物镜的径向外侧，并且位于衬底的上方，浸没控制单元内部包含流道，所述流道至少包括供液流道和抽排流道，浸液经流道被提供至末端投影物镜和衬底之间的空间，并在该空间中形成流动的浸液流场；浸没控制单元配置设有均衡温度部件，在浸没控制单元中，均衡温度部件至少具有与不同流道邻接的第一部位和第二部位，均衡温度部件的导热系数高于与之邻接的所有流道的导热系数。可加快浸没控制单元内不同温度区域之间的热交换，减小浸没控制单元内各温区的温度梯度，并抑制因浸没控制单元温度不均匀而造成曝光精度和质量降低的影响。
具有温度均衡功能浸没控制单元

[发明专利]非焊接式压电振子连接装置及采用其的超声流量检测装置-CN202110804407.X有效
发明人：徐安察;方泽华;赵楠楠;陈文昱;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01F1/667 文献下载
摘要：本发明公开了非焊接式压电振子连接装置及采用其的超声流量检测装置，连接装置包括旋帽、套管、压电振子座；旋帽内设置有旋帽内腔，旋帽内腔内设置有旋帽内腔阶梯面，套管一端插入旋帽内腔并与所述旋帽内腔阶梯面相抵，另一端与压电振子座固定连接；压电振子座内设有环形腔，环形腔用于内嵌安装压电振子，环形腔内设有对压电振子限位的环形腔阶梯面；压电振子座两侧侧壁分别设置有与环形腔连通的第一线孔、第二线孔；第一信号导线、第二信号导线分别通过第一线孔、第二线孔与压电振子的两电极电性连接。本发明中信号导线与压电振子电极以压接方式连接，避免了焊接高温和焊点一致性对压电振子工作特性的影响；且当压电振子损坏时，更换更方便。
焊接压电连接装置采用超声流量检测

[发明专利]一种具有气液隔离抽排功能的浸液供给回收装置-CN202010913184.6有效
发明人：池优阳;张颖;李元;徐宁;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有气液隔离抽排功能的浸液供给回收装置，包括基体，基体内部设置密封抽排流路，密封抽排流路包括抽排开口、抽排腔以及密封抽排口，抽排腔连通抽排开口与密封抽排口，密封抽排流路还包括设于抽排腔中的隔离板，隔离板使抽排腔内的浸没液体和外围气体较大程度的隔离流动，抑制了气液两相混合流动带来的抽排压力脉动、作用于浸液供给回收装置的振动等负面影响。有利于稳定浸液抽排负压，保证浸液抽排能力，防止浸液泄漏；并且抑制了浸液抽排过程对浸液供给回收装置本身和间接传递到光刻机其他组件的振动，有利于光刻机稳定工作。
一种有气隔离功能浸液供给回收装置

[发明专利]一种占空比限制电路、电机驱动电路及电机驱动方法-CN202210743113.5有效
发明人：方泽华;毛凯;郑高志;孟哲;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H02M1/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种占空比限制电路及其应用。本发明提出一种占空比限制电路，利用PWM信号对电容进行充电，利用PWM信号或其互补信号控制电容放电电路的通断，以控制电容两端的电压，用电容两端的电压来控制所输出的开关信号，如果PWM信号的占空比达到设定值并保持一段时间，则占空比限制电路作动改变输出的开关信号，开关信号用于控制PWM生成电路是否工作。基于上述电路提出一种电机驱动电路及其驱动方法，实现对驱动电路功率电器以及电机的过载保护功能。本发明利用PWM信号的占空比实现对负载电器的过载保护，不依赖电流的热效应，重复性好，可靠性高，复位操作简单、快速；涉及的逻辑操作少，使用的电路器件少，功耗低，成本低，操作简单，调节方便。
一种限制电路电机驱动方法

[发明专利]一种压电片尺寸测量装置及其测量方法-CN202110628424.2有效
发明人：张谨强;郝泽仁;徐婵娜;叶林森;沈凡 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电片尺寸测量装置及其测量方法，测量平台上端面设载片测试台，载片测试台与水平面间设有倾斜夹角，载片测试台端面外侧设第一和第二激光位移传感，第一激光位移传感和第二激光位移传感通过相互对射以测量设置于两激光位移传感间的压电片的直径尺寸；载片测试台上方处设第三激光位移传感，第三激光位移传感通过发射激光并照射于载片测试台端面上以测量设置于第三激光位移传感和载片测试台端面间的压电片的厚度尺寸；通过直径测量结果，计算两个或多个直径的数值偏离范围，作为压电片的圆度；使得同一测量装置能同时完成压电片的直径、圆度和厚度测量，无需反复拆装，降低测量所耗时间，提高了压电片测量的效率。
一种压电尺寸测量装置及其测量方法

[发明专利]一种用于浸没式光刻机的微流道气液分离回收装置-CN201711395115.5有效
发明人：付新;厉明波;胡亮;陈文昱 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于浸没式光刻机的微流道气液分离回收装置。本发明中注液通道、浸没流场、液体回收模块、气液回收模块和密封气体供给模块设置在浸没式光刻机的浸没单元内浸没单元上盖板与浸没单元下盖板之间，投影透镜组底部镜头与浸没单元中部浸没流场内流体相触。缝隙流场设置在硅片衬底上表面与浸没单元下底面之间。本发明在保证有效流场密封维持的同时，通过将气液分离、分通道回收，减小由于气液两相混合回收所引起的回收流道和输运管道振动及其对缝隙流场的冲击，提高硅片扫描曝光的质量。有效维持曝光过程中的工作温度场恒定。增大了浸没流场回收面积，实现稳定高效地注液回收，在保证曝光质量的前提下，提高光刻机的扫描速度。
一种用于浸没光刻微流道气液分离回收装置

[发明专利]一种超声波流量测量方法及利用该方法的流量计-CN202211180270.6有效
发明人：赵楠楠;刘泽远;徐安察;葛鹏;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01F1/667 文献下载
摘要：本发明公开了一种超声波流量测量方法及利用该方法的流量计，测量超声波的顺流和逆流传播时间，根据超声波在管段中的顺流和逆流传播时间的和值及差值计算管段中流体的流速，进而计算流体的流量；不需要检测流体的温度即可消除温度对流量测量的影响，提高了流量计的测量精度和稳定性。
一种超声波流量测量方法利用方法流量计

[发明专利]一种浸没流场初始建立方法-CN202011563551.0有效
发明人：吴敏;赵艺文;徐宁;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种浸液供给系统及浸没流场初始建立方法。本发明第一流路包括浸液纯化组件，浸液纯化组件能够提高浸液的纯净度；第二流路包括供液阀，供液阀控制是否向浸液供给回收装置供给浸液；第三流路包括旁路阀，旁路阀控制第三流路的通断；还包括浸液流动调节组件，能够使浸液的流动参数趋向于曝光要求范围。本发明能够使浸液的纯净度和流动参数趋近于光刻机的曝光要求范围；减少浸液中污染物对浸液供给系统中部件的污染；避免污染物进入浸没流场甚至附着在浸没流场的壁面上，加快浸没流场的初始建立过程，提高浸没流场的初始建立过程的消除污染物的可靠性，有利于提升光刻机的效率和保证曝光质量。
一种浸没初始建立方法

[发明专利]一种具有两级密封结构的洁净流体管式加热器及密封方法-CN202011442579.9有效
发明人：罗政;赵艺文;陈文昱;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H05B3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有两级密封结构的洁净流体管式加热器及密封方法，包括石英加热管和两个左右两侧对称设置的隔离封环，隔离封环通过内螺纹向外连接设接口端头，接口端头内设端口流路，所述隔离封环内侧设有呈环形的限位凹槽，石英加热管左右两端设于限位凹槽内，加热管两端将限位凹槽分隔为内外两侧，在石英加热管左右两侧端口与限位凹槽相接处设置有第一级密封垫，形成石英加热管端头第一级密封结构；在石英加热管外侧与限位凹槽外侧之间设有第二级密封圈，形成石英加热管外侧的第二级密封结构。既可提高密封连接效果，降低密封连接难度，避免流体泄露风险发生，又可有效保证高洁净度要求。
一种具有两级密封结构洁净流体管加热器方法

[发明专利]一种换能器特性检测装置及检测方法-CN202110628437.X有效
发明人：郝泽仁;丁庆胜;徐婵娜;叶林森;沈凡 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种换能器特性检测装置及其检测方法，测试盒侧壁上设换能器固定孔；检测组件包括控制器、激发接收电路、阻抗分析器、切换开关、数据采集器；控制器分别与激发接收电路、阻抗分析器和切换开关电性连接，激发接收电路和阻抗分析器分别与切换开关一端电连接，切换开关另一端与换能器电性连接；数据采集器分别与激发接收电路和阻抗分析器电性连接。检测装置将用于换能器信号幅值特性检测与阻抗特性检测的装置合并，并通过保持温控箱内检测环境的温度稳定，使得阻抗特性检测和信号幅值特性检测的环境温度保持一致，使检测获得阻抗特性结果更准确地反映信号幅值特性检测中换能器的特性，有利于对换能器工作性能的评价。
一种换能器特性检测装置方法

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