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[发明专利]一种转炉和/或高炉煤气的脱碳方法-CN201810826875.5有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： B01D53/047 文献下载
摘要：一种转炉和/或高炉煤气的脱碳方法，包括如下步骤：粗脱碳：采用变压吸附的方式对转炉和/或高炉煤气粗脱碳和去磷化氢；使经过变压吸附的转炉和/或高炉煤气的二氧化碳的体积分率为5.8‑6.2％，磷化氢的含量为1‑5PPM；精脱碳：使用MDEA溶液对经过步骤S1的转炉和/或高炉煤气脱碳，使转炉和/或高炉煤气的二氧化碳的体积分率为0.0015‑0.0019％。本发明的转炉和/或高炉煤气的脱碳方法，创造性的通过变压吸附粗脱碳和MDEA溶液精脱碳两步工序完成转炉和/或高炉煤气的脱碳，实现了转炉和/或高炉煤气脱碳的突破，对推动我国炼钢工业的技术进步和经济发展具有十分重要的意义。
一种转炉高炉煤气脱碳方法

[发明专利]一种焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气的脱碳方法-CN201810829336.7有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： C10K1/00 文献下载
摘要：一种焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气的脱碳方法，包括如下步骤：S1)、焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气过滤、除杂，MDEA贫液加压；S2)、CO2分离；S3)、焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气净化；S4)、MDEA贫液循环再生。本发明的焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气的脱碳方法，具有吸收速率快、吸收能力大和净化度高等优点，不仅可用于脱除二氧化碳，也可用于脱除硫化物，因此有着广泛的应用及发展前景，同时，创造性的通过变压吸附粗脱碳和MDEA溶液精脱碳两步工序完成转炉和/或高炉煤气的脱碳，实现了转炉和/或高炉煤气脱碳的突破，对推动我国炼化工业的技术进步和经济发展具有十分重要的意义。
一种焦炉煤气转炉高炉煤气脱碳方法

[发明专利]一种焦炉煤气除氧精脱硫的方法-CN201810829320.6有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： B01D53/48 文献下载
摘要：一种焦炉煤气除氧精脱硫的方法，包括如下步骤：S1)、换热升温，S2)、预加氢转化和一级加氢转化，S3)、一级脱硫，S4)、二次换热升温，S5)、二级加氢转化，S6)、二级精脱硫。本发明的焦炉煤气除氧精脱硫的方法，采用两级焦炉煤气加氢除氧精脱硫工艺，利用一级加氢除氧脱硫工段将焦炉煤气中的大部分有机硫转化成H2S，将大部分氧加氢脱除，将大部分不饱和烃加氢饱和，同时将其它杂质进行处理；经过处理的焦炉煤气再进入二级加氢除氧精脱硫工段，将残余的有机硫、不饱和烃、微量氧等杂质进行二次深度加氢转化及处理，实现焦炉煤气深度净化。
一种焦炉煤气脱硫方法

[发明专利]一种转炉和/或高炉煤气除氧精脱硫的方法-CN201810828279.0有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C10K1/34 文献下载
摘要：一种转炉和/或高炉煤气除氧精脱硫的方法，包括如下步骤：S1)、脱硫；S2)、混合；S3)、脱氧；S4)、掺混和精脱硫。本发明工艺简单，操作方便，采用将氧气含量较高的煤气与氧气含量低的合格煤气进行混合，然后将混合后的煤气通入脱氧反应器进行脱氧处理，得到合格的再生气，同时将一部分煤气经循环压缩机进行循环，用于氧气含量较高的煤气进行混合，以制得混合气，整个工艺简单，能耗小，能够实时在线连续对煤气进行脱氧处理。
一种转炉高炉煤气脱硫方法

[发明专利]一种交联型丙烯酸酯类共聚物及其光刻胶-CN201710371950.9有效
发明人：秦龙;许箭;汪武平;耿文练 -专利权人：儒芯微电子材料（上海）有限公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： C08F220/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种交联型丙烯酸酯类共聚物及其光刻胶，通过引入交联型单体，制备出具有交联度可控地三维网状结构的丙烯酸酯共聚物，利用该共聚物制备得到的光刻胶不仅能够满足实际量产工艺的要求(密集的line/space图形在最佳光刻条件下分辨率达到140纳米)，而且与同等含碳量非交联型的光刻胶对比，三维网状的树脂结构能够有效调整光刻胶的抗刻蚀性能，满足刻蚀工艺中对刻蚀比的要求。
一种交联丙烯酸酯共聚物及其光刻

[发明专利]一种聚合物树脂及其制备方法和应用-CN201811525923.3在审
发明人：许箭;秦龙;袁华;汪武平;耿文练;花雷;陈一鸣 -专利权人：儒芯微电子材料（上海）有限公司
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C08F222/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚合物树脂，其具如下通式：其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₆、R₈中的每个选自H、苯基或含1‑4个碳的烷烃基团；R₅选自含1‑10个碳原子的直链、支链或环状烃类基团，苯基或苄基；R₇选自1‑10个碳原子的直链、支链或环状烃类基团；X选自含1‑10个碳原子的直链、支链、环状烃类基团，醚类基团，酯基，酰胺基团或芳香基团。本发明还公开了该聚合物树脂的制备方法、包含该聚合物树脂的金属剥离胶组合物，以及金属剥离胶组合物的应用。
聚合物树脂个碳原子环状烃类直链胶组合物金属剥离苯基制备方法和应用芳香基团烷烃基团酰胺基团醚类苄基酯基制备应用

[实用新型]一种焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气的脱碳装置-CN201821184617.3有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C10K1/02 文献下载
摘要：一种焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气的脱碳装置，包括焦炉煤气过滤器，焦炉煤气塔顶过滤器，富液过滤器，焦炉煤气吸收塔，再生塔，焦炉煤气冷却器，贫富液换热器，再生塔顶冷却器，再沸器，贫液冷却器，焦炉煤气分离器，闪蒸罐，贫液缓冲罐，再生塔顶气液分离器，焦炉煤气贫液泵，回收泵，转炉和/或高炉煤气过滤器，转炉和/或高炉煤气塔顶过滤器，转炉和/或高炉煤气吸收塔，转炉和/或高炉煤气冷却器，转炉和/或高炉煤气分离器和转炉和/或高炉煤气贫液泵。本实用新型的脱碳装置具有吸收速率快、吸收能力大和净化度高等优点，不仅可用于脱除二氧化碳，也可用于脱除硫化物，因此有着广泛的应用及发展前景。
高炉煤气焦炉煤气转炉过滤器脱碳装置冷却器分离器吸收塔再生塔顶贫液泵可用塔顶贫富液换热器本实用新型贫液缓冲罐贫液冷却器气液分离器脱除硫化物吸收能力回收泵净化度闪蒸罐再沸器再生塔二氧化碳富液脱除吸收应用

[实用新型]一种转炉和/或高炉煤气的脱碳装置-CN201821184511.3有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C10K1/32 文献下载
摘要：一种转炉和/或高炉煤气的脱碳装置包括依次连接的变压吸附粗脱碳装置和MDEA溶液吸附精脱碳装置。本实用新型的转炉和/或高炉煤气的脱碳装置，创造性的通过变压吸附粗脱碳和MDEA溶液精脱碳两步工序完成转炉和/或高炉煤气的脱碳，实现了转炉和/或高炉煤气脱碳的突破，对推动我国炼钢工业的技术进步和经济发展具有十分重要的意义。
高炉煤气转炉脱碳装置脱碳变压吸附精脱本实用新型技术进步炼钢工业溶液吸附依次连接

[实用新型]一种转炉和/或高炉煤气除氧精脱硫装置-CN201821186428.X有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C10K1/34 文献下载
摘要：一种转炉和/或高炉煤气除氧精脱硫装置包括水解脱硫塔，脱氧反应器和精脱硫塔；水解脱硫塔的入口与转炉和/或高炉煤气气柜连通，出口与脱氧反应器的入口连通，脱氧反应器出口设置两条支路，一条支路与连通水解脱硫塔出口与脱氧反应器入口的管路连通，另一条支路与精脱硫塔的入口连通。本实用新型的转炉和/或高炉煤气除氧精脱硫装置将氧气含量较高的煤气与氧气含量低的煤气混合，将混合后的煤气进行脱氧处理，得到合格的再生气，同时将一部分煤气进行循环，用于氧气含量较高的煤气进行混合，制得混合气，工艺简单，能耗小，能够实时在线连续对煤气进行脱氧处理。
脱氧反应器高炉煤气煤气转炉连通精脱硫装置水解脱硫除氧氧气支路精脱硫塔脱氧处理本实用新型管路连通两条支路煤气混合实时在线混合气塔出口再生气气柜出口能耗

[实用新型]一种焦炉气除氧精脱硫装置-CN201821186432.6有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C10K1/34 文献下载
摘要：一种焦炉煤气除氧精脱硫装置，包括依次通过管路连通的第一换热器，预加氢反应装置，一级加氢反应器，一级脱硫反应装置，第二换热器，二级加氢反应器，二级精脱硫反应装置和第三换热器。本实用新型的焦炉煤气除氧精脱硫装置，采用两级焦炉煤气加氢除氧精脱硫工艺，利用一级加氢除氧脱硫工段将焦炉煤气中的大部分有机硫转化成H₂S，将大部分氧加氢脱除，将大部分不饱和烃加氢饱和，同时将其它杂质进行处理；经过处理的焦炉煤气再进入二级加氢除氧精脱硫工段，将残余的有机硫、不饱和烃、微量氧等杂质进行二次深度加氢转化及处理，实现焦炉煤气深度净化。
焦炉煤气精脱硫装置加氢除氧除氧加氢反应器不饱和烃反应装置精脱硫本实用新型第二换热器第三换热器第一换热器精脱硫工艺有机硫转化预加氢反应管路连通加氢饱和加氢脱除深度加氢深度净化脱硫工段一级脱硫残余的焦炉气微量氧有机硫工段两级转化

[实用新型]焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气合成乙二醇联产LNG的装置-CN201821189001.5有效
发明人：杨勇;戴乐亭;汪武平;侯俊平 -专利权人：戴乐亭;杨勇;汪武平;侯俊平
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C10L3/12 文献下载
摘要：焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气合成乙二醇联产LNG装置，包括焦炉煤气净化装置，转炉和/或高炉煤气净化装置，变压吸附粗脱碳装置，焦炉煤气和转炉和/或高炉煤气的脱碳装置，深冷分离装置，CO提纯装置，H₂提纯装置，DMO合成装置和乙二醇合成装置；本实用新型的装置。本实用新型的焦炉煤气与转炉和/或高炉煤气合成乙二醇联产LNG的装置，充分利用炼焦和炼钢过程中产生的尾气，利用高炉煤气、转炉煤气多CO少H₂和焦炉气多CH4、H₂少CO的特点，合理净化及配比，使气体中有效气(CO、H₂、CH₄)100％利用，可以实现资源的高效充分利用，减少资源浪费和对环境的污染，为钢铁和化工单位联合产出优质高端精细化工产品开辟先河。
高炉煤气转炉焦炉煤气乙二醇联产本实用新型合成装置提纯装置脱碳装置合成高炉煤气净化焦炉煤气净化精细化工产品深冷分离装置变压吸附化工单位炼钢过程转炉煤气焦炉气有效气高端配比炼焦尾气净化钢铁污染联合

[发明专利]电子束光刻胶组合物及制备方法-CN201810383600.9在审
发明人：秦龙;许箭;袁华;曾霞;刘晓华;汪武平;耿文练;花雷 -专利权人：儒芯微电子材料（上海）有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供了一种电子束光刻胶组合物，其主要成分包括卤代丙烯酸酯共聚物和光致产酸剂，所述卤代丙烯酸酯共聚物为卤代丙烯酸酯单体单元和芳香族丙烯酸酯或芳香族烯类单体单元的共聚物。通过引入侧链取代的卤族原子及刚性的芳香环，并选取了合适的单体单元的组合，本发明组合物中的共聚物具有较高的灵敏度和抗蚀性能。此外，本发明组合物中还具有光致产酸剂，能够加速组合物中的共聚物的裂解，有效提高了曝光效率，进一步提高了光刻胶的灵敏度。
共聚物卤代丙烯酸酯单体单元电子束光刻胶光致产酸剂灵敏度丙烯酸酯芳香族烯抗蚀性能卤族原子曝光效率芳香环芳香族光刻胶侧链裂解制备引入

[发明专利]一种掩膜板及孤立孔寻址图形在测量中的应用方法-CN201510367319.2有效
发明人：王艳云;毛智彪;罗华明;汪武平;陈晓强 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板及孤立孔寻址图形在测量中的应用方法，通过在掩膜板上制作一系列间距变化、大小变化、样式变化的孤立孔寻址图案以及密集孔寻址参考图案，可建立适合于不同节点、不同尺寸、能够借助在孤立孔图形区域设置优选寻址方式的孤立孔自动测量方法，优化了包括孤立孔自动测量过程中寻址图形距离、样式、大小等工艺条件，以满足孤立孔测量的精确性、稳定性要求，可配合密集孔像散矫正图形，提高测量的清晰度，同时，配合密集孔图形寻址间距、尺寸作为参考，通过比较数据找到孤立孔图形最优测量方式，可在线监控光刻工艺孤立孔尺寸情况，以提高线宽测量扫描电镜自动测量成功率，减少产品因孔洞尺寸测量失真而造成的风险。
一种孤立寻址图形设计及其测量中的应用

[发明专利]一种检测光刻工艺曝光前晶圆背面水平度的方法及装置-CN201610783914.9在审
发明人： 汪武平;毛智彪;杨正凯 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种检测半导体晶圆背面水平度的方法即装置，该方法包括设定晶圆背面水平度变化的预定阈值；在对半导体晶圆曝光之前检测晶圆背面水平度的变化，并得到晶圆背面水平度变化值；将所检测的水平度变化与预定阈值进行比较；如果水平度变化值小于预定阈值，对半导体晶圆进行下一工艺步骤的处理，否者，拒绝对半导体晶圆进行下一工艺步骤的处理。与现有技术相比，该方法仅对晶圆背面水平度较好的晶圆进行后续工艺步骤的处理，从而减少了设备资源及材料的浪费，并且还可以在检测到晶圆背面水平度不佳时，对晶圆背面进行清洗工艺，然后，进行再次检测，从而避免晶圆载物台的污染，同时也提高光刻工艺的良品率。
一种检测光刻工艺曝光前晶圆背面水平方法装置

[发明专利]光刻工艺曝光焦距的监测方法-CN201510680498.5在审
发明人： 汪武平;毛智彪;杨正凯 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-10-19 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻工艺曝光焦距的监测方法，包括：第一步骤：提供具有相位转移特性的基准套刻标记的掩模版；第二步骤：通过光刻工艺，将所述基准套刻标记转移到产品晶圆的光刻胶上以形成光阻图形；第三步骤：通过掩模版的相位转移特性，把曝光机的焦距变化转移到与曝光机焦距方向正交的方向上的距离变化；第四步骤：量测光阻图形的与曝光机焦距方向正交的方向上的距离变化；第五步骤：根据掩模版的相位转移特性确定的所述焦距变化与所述距离变化之间的对应关系，利用第四步骤量测到的距离变化确定光阻图形的套刻精度的偏移，从而确定曝光机曝光过程中的焦距的偏移情况。
光刻工艺曝光焦距监测方法