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[发明专利]一种基于形状记忆合金丝驱动的机翼翼面变形机构-CN202310665404.1有效
发明人： 欧李苇;王贵山;聂旭涛;麻越垠;张伟 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B64C3/18 文献下载
摘要：本发明属于飞行器设计技术领域，公开了一种基于形状记忆合金丝驱动的机翼翼面变形机构。本发明的基于形状记忆合金丝驱动的机翼翼面变形机构通过加热形状记忆合金丝，使其恢复到变形前的形状，从而产生驱动力，驱动外部连接的零部件发生运动，能够有效实现机翼翼面变形驱动机构的结构轻量化而且无液压油泄露风险。本发明的基于形状记忆合金丝驱动的机翼翼面变形机构适用于机翼翼面、机翼前后缘、机翼襟翼、机翼后缘的变形驱动或直升机旋翼后缘调整片的变形驱动，具有工程应用价值。
一种基于形状记忆合金丝驱动机翼变形机构

[发明专利]一种基于连杆组件的非对称翼型反转机构及其使用方法-CN202310148186.4有效
发明人：蔡清青;聂旭涛;欧李苇;高鑫宇;王贵山 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B64C3/38 文献下载
摘要：本发明属于航天航空设备技术领域，公开了一种基于连杆组件的非对称翼型反转机构及其使用方法。本发明的基于连杆组件的非对称翼型反转机构包括固定框架和两组前后对称的运动组件；固定框架构成二维翼型主体，前后对称的运动组件控制前后两个旋转襟翼同步转动，实现二维翼型反转。本发明的基于连杆组件的非对称翼型反转机构的使用方法简单可靠。本发明的基于连杆组件的非对称翼型反转机构及其使用方法将记忆合金材料与连杆机构组合，通过较少的驱动元件和紧凑的机构布局实现了停转式高速直升机旋翼的前后缘的反转，反转后的旋翼翼型与原旋翼翼型形状对称，且翼面连续，提高了停转式高速直升机在高速状态下旋翼的飞行效率，达到了增升减阻的目的。
一种基于连杆组件对称反转机构及其使用方法

[发明专利]一种半导体摩擦光电化学的测量装置及测量方法-CN202211433058.6在审
发明人：时康;张明明;乔立青;刘宝全;欧李苇 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01N27/27 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体摩擦光电化学的测量装置，包括：电机；导电滑环，套设于电机的转轴上；电解池，底部设有透光底座，其底部与电机的转轴转动连接，顶部设有圆环凹槽；对电极，嵌套于圆环凹槽内，并从导电滑环穿出；抛光垫，设于透光底座上，且设有通孔；半导体电极，位于通孔的正上方；金属柱，固定于半导体电极的上端；参比电极，固定于金属柱的左端；电化学工作站，分别连接至金属柱、参比电极和对电极；力传感器，固定于金属柱的上端；计算机，连接至力传感器；电解液，注入于电解池内；及光源，放置于透光底座下方，正对于通孔位置。本发明还提供了一种半导体摩擦光电化学的测量方法，了解表面氧化层对非氧化型半导体光电化学的影。
一种半导体摩擦光电化学测量装置测量方法

[发明专利]一种分布式形状记忆合金驱动的主动变形蒙皮结构-CN202211703789.8在审
发明人：麻越垠;聂旭涛;欧李苇;蔡清青;高鑫宇 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B64C1/12 文献下载
摘要：本发明属于智能变形蒙皮领域，公开了一种分布式形状记忆合金驱动的主动变形蒙皮结构。主动变形蒙皮结构在厚度方向上，从下至上依次叠加弹性支撑层、导热绝缘基体和弹性整流层构成主动变形蒙皮主体；主动变形蒙皮主体的前端为固定端，后端为分布式驱动端；导热绝缘基体内嵌入平行排列的若干根形状记忆合金丝，各形状记忆合金丝的前端固定在固定端上，后端固定在分布式驱动端上，各形状记忆合金丝之间相互隔离而且绝缘。主动变形蒙皮结构利用蒙皮与空气对流散热提升形状记忆合金冷区效率，实现蒙皮主动大变形，同时改善蒙皮承载刚度，实现柔性蒙皮材料、结构和驱动一体化，能够推广应用于变形机翼、变形舵面、变形进气道等变体飞行器的特定部件。
一种分布式形状记忆合金驱动主动变形蒙皮结构

[发明专利]金刚石晶片紫外光辅助化学机械抛光的加工装置及工艺-CN202110704669.9有效
发明人：郭晓光;袁菘;董志刚;欧李苇;康仁科 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B24B37/11 文献下载
摘要：本发明提供一种金刚石晶片紫外光辅助化学机械抛光的加工装置及工艺，装置包括抛光装置、抛光液供给装置和紫外光照射装置；所述抛光盘为所述抛光盘为JGS1石英玻璃制成，所述抛光液供给装置位于所述抛光盘的上方，所述紫外光照射装置位于所述抛光盘下方。本发明将紫外光直接照射到单晶金刚石晶片表面并结合合适的氧化剂，高效地氧化改性晶片，再通过抛光盘和磨粒机械性地去除氧化改性层，加工过程中晶片与抛光盘各自旋转产生相对运动，同时紫外线的照射和抛光液的送入使得光化学改性作用和机械抛光作用交替进行，可对晶片进行光化学机械加工，在多能场耦合的作用下可以实现单晶金刚石的高质高效加工。
金刚石晶片紫外光辅助化学机械抛光加工装置工艺

[发明专利]一种半导体晶圆无线光电化学机械抛光的方法及装置-CN202110426699.8有效
发明人：时康;乔立青;欧李苇 -专利权人：厦门大学
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：半导体晶圆无线光电化学机械抛光方法：将晶圆固定在抛光头；抛光垫粘贴在同样直径的抛光盘底；在通孔底壁设置一对正负电极，并入盘顶的两条汇流线，经导电滑环接电源的正负端；加工时，紫外光穿过通孔照射到晶圆；抛光液滴入通孔在其底部形成由晶圆表面、抛光液层和正负电极构成的光电解池，电极与晶圆被抛光垫隔开；施加电压后，光电解池底的晶圆表面处于两极间的电场中，按双极电化学原理被氧化成软质的表面氧化膜；抛光盘/垫与晶圆同向旋转使晶圆所有表面都能在光电化学氧化和机械摩擦步骤间均匀地交替。本发明设计的装置能在常温常压下高效高质地加工以不导电蓝宝石为衬底的氮化镓晶圆等各种半导体晶圆，具有较大的经济意义和推广价值。
一种半导体无线光电化学机械抛光方法装置

[发明专利]一种半导体晶片光电化学机械抛光加工装置-CN201811537196.2有效
发明人：康仁科;时康;董志刚;欧李苇;朱祥龙;周平 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶片光电化学机械抛光加工方法及其加工装置，晶片通过导电胶粘接固定在抛光头上，晶片再其下方通过导电滑环内外圈的导线连接外电源正极。抛光垫粘贴在对电极盘底部，对电极盘固定在抛光盘底部且与抛光盘对应位置加工有通孔，对电极盘通过其上方的导电滑环内外圈导线连接外电源负极。紫外光源发出的紫外光可以透过通孔照射到晶片表面，抛光液也可以喷射入通孔进入晶片与抛光垫的接触区。本发明设计的光电化学机械抛光加工装置可较好地实现本发明中涉及的加工方法，加工装置具有操作简单，实现容易，工艺参数可灵活调节的优点，加工氮化镓晶片的实际加工中可取得去除速率快，加工后表面质量好的效果。
一种半导体晶片光电化学机械抛光加工装置

[发明专利]一种半导体晶片光电化学机械抛光加工方法-CN201811537195.8有效
发明人：时康;康仁科;欧李苇;董志刚;胡慧勤;田中群 -专利权人：厦门大学
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶片光电化学机械抛光加工方法及其加工装置，晶片通过导电胶粘接固定在抛光头上，晶片在其下方通过导电滑环内外圈的导线连接外电源正极。抛光垫粘贴在对电极盘底部，对电极盘固定在抛光盘底部且与抛光盘对应位置加工有通孔，对电极盘通过其上方的导电滑环内外圈导线连接外电源负极。紫外光源发出的紫外光可以透过通孔照射到晶片表面，抛光液也可以喷射入通孔进入晶片与抛光垫的接触区。本发明设计的光电化学机械抛光加工装置可较好地实现本发明中涉及的加工方法，加工装置具有操作简单，实现容易，工艺参数可灵活调节的优点，加工氮化镓晶片的实际加工中可取得去除速率快，加工后表面质量好的效果。
一种半导体晶片光电化学机械抛光加工方法

[发明专利]一种半导体晶片光电化学机械抛光的方法-CN201710994759.X有效
发明人：康仁科;董志刚;欧李苇;时康;朱祥龙;周平 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： C25F3/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶片光电化学机械抛光的方法，包括以下步骤：将晶片固定在抛光液池中随抛光液池绕轴向旋转，抛光液池中的抛光液完全浸没晶片；将抛光垫固定在抛光轴上，经驱动与晶片产生相对运动；所述抛光垫与晶片的接触面积小于晶片的面积；抛光过程中采用紫外光辐照晶片；本发明具有紫外光线可在线实时辐照改性晶片，抛光去除率快，抛光前后粗糙度明显改善，抛光垫可对晶片表面进行定点抛光，操作简单，工艺参数灵活可调的优点。
一种半导体晶片光电化学机械抛光方法

[发明专利]一种氮化镓晶片光电化学机械抛光液及抛光方法-CN201710994767.4有效
发明人：康仁科;董志刚;欧李苇;时康;朱祥龙;周平 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于紫外辅助化学机械抛光的抛光液及其方法，包括纳米磨粒和氧化剂；所述纳米磨粒的含量为0.05‑20wt.％，所述氧化剂的含量为0.1‑10wt.％。本发明提供的抛光液主要用于氮化镓晶片的紫外辅助化学机械抛光加工，使用该抛光液对氮化镓晶片进行抛光加工可以获得高的去除率和低的表面粗糙度，同时该抛光液成分简单，纳米二氧化硅或氧化铈磨粒浓度极低，抛光液的后处理方便，对环境污染小。
一种氮化晶片光电化学机械抛光抛光方法

[发明专利]一种光化学与机械抛光相结合的半导体晶片加工装置-CN201811535752.2在审
发明人：时康;董志刚;康仁科;欧李苇;胡慧勤;田中群 -专利权人：厦门大学
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶片光化学机械抛光加工方法及其加工装置，晶片固定在抛光头上，抛光垫粘贴在抛光盘底部且与抛光盘对应位置加工有通孔，紫外光源发出的紫外光可以透过通孔照射到晶片表面；抛光液通过通孔进入晶片与抛光垫的接触区。本发明设计的光化学机械抛光加工装置可较好地实现本发明中涉及的加工方法，加工装置具有操作简单，实现容易，工艺参数可灵活调节的优点。
光化学机械抛光加工装置通孔抛光垫抛光盘半导体晶片加工装置加工半导体晶片紫外光晶片表面晶片固定紫外光源接触区抛光液抛光晶片粘贴照射灵活

[发明专利]一种光化学与机械抛光相结合的半导体晶片加工方法-CN201811535751.8在审
发明人：董志刚;康仁科;欧李苇;时康;高尚;朱祥龙 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶片光化学机械抛光加工方法，晶片固定在抛光头上，抛光垫粘贴在抛光盘底部且与抛光盘对应位置加工有通孔，紫外光源发出的紫外光可以透过通孔照射到晶片表面；抛光液通过通孔进入晶片与抛光垫的接触区。本发明设计的光化学机械抛光加工装置可较好地实现本发明中涉及的加工方法，加工装置具有操作简单，实现容易，工艺参数可灵活调节的优点。
光化学机械抛光通孔加工装置抛光垫抛光盘加工半导体晶片加工半导体晶片紫外光晶片表面晶片固定紫外光源接触区抛光液抛光晶片粘贴照射灵活

[发明专利]半导体晶片光电化学机械抛光装置-CN201710994803.7在审
发明人：董志刚;康仁科;欧李苇;周平;朱祥龙;时康 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明公开了半导体晶片光电化学机械抛光装置，包括抛光头，用于与晶片表面相接触并进行加压；抛光液池，用于固定晶片并盛装化学抛光液；第一驱动传动部，连接抛光液池，用于带动抛光液池定轴回转；第二驱动传动部，连接抛光头，用于带动抛光头定轴回转；抛光头位于抛光液池的上方；紫外光源，位于抛光液池的上方，向下辐射晶片；支撑部，用于支撑和固定所述抛光头、抛光液池。本发明采用了紫外光在线辐照晶片表面方式，在抛光过程中始终照射晶片表面，可以高效地氧化改性晶片，再通过抛光垫和磨粒机械性地去除氧化改性层，进而提高整个抛光过程中的去除速率。
半导体晶片光电化学机械抛光装置

[实用新型]一种机械手的不完全齿轮机构-CN201320016317.5有效
发明人： 欧李苇;吴海涛;刘泓滨;温礼刚 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2013-01-14 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F16H27/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种机械手的不完全齿轮机构，属于机械设备齿轮传动设计和齿轮技术领域。本实用新型包括圆柱齿轮Ⅰ、不完全齿轮Ⅰ、从动齿轮、不完全齿轮Ⅱ、齿轮轴、圆柱齿轮Ⅱ；不完全齿轮Ⅰ通过齿轮轴安装在圆柱齿轮Ⅰ上，不完全齿轮Ⅱ通过齿轮轴安装在圆柱齿轮Ⅱ上，圆柱齿轮Ⅰ与圆柱齿轮Ⅱ啮合，从动齿轮安装在不完全齿轮Ⅰ与不完全齿轮Ⅱ中间、并与不完全齿轮Ⅰ啮合。本实用新型可实现机械手停顿需要、来回送放料工艺动作，机构结构简单，易于实现。
一种机械手不完全齿轮机构

[实用新型]一种手机支架-CN201320022200.8有效
发明人： 欧李苇;吴海涛;刘泓滨;温礼刚 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2013-01-16 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： H04M1/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种手机支架，属于日常生活用品领域。本实用新型包括底座、支撑杆、球座、连杆Ⅰ、连杆Ⅱ、球、放置架；支撑杆一端与底座连接，另一端与球座连接，球安装在球座内，连杆Ⅰ一端安装在球内，另一端与连杆Ⅱ连接，连杆Ⅱ与放置架连接。本实用新型将手机放置在手机支架上，使用者可根据需要随意转动到需要的角度或位置，方便使用者使用手机，制造方便、实用性强。
一种手机支架

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