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- [发明专利]一种激光器腔内颗粒检排装置-CN201810431941.9有效
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杜仕峰;彭钦军;薄勇;王志超;张申金;许祖彦
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中国科学院理化技术研究所
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2018-05-08
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2021-06-25
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B08B5/04
- 本发明涉及激光器技术领域,公开了一种激光器腔内颗粒检排装置,该装置包括:紫外灯、吸嘴和吸尘器;紫外灯发出紫外光用于肉眼直观检查发现腔内颗粒,紫外灯的光线照射在吸嘴的前端,吸嘴的后端与吸尘器相连,吸嘴呈细长状,吸嘴内部具有第一通道,第一通道从吸嘴的前端至后端贯穿吸嘴,第一通道与吸尘器的吸入口相连通。本发明提供的一种激光器腔内颗粒检排装置,设置紫外灯在腔内产生荧光,可用肉眼直观检查发现腔内微颗粒;设置吸嘴可深入狭窄空间,对器件表面的微颗粒进行近距离强吸引力排除;通过使紫外光照射在吸嘴的前端范围,可使吸嘴准确的抵达微颗粒处进行精准排除,提高检排效果;从而确保激光器腔内洁净,保障激光器可靠性。
- 一种激光器颗粒装置
- [发明专利]全固态激光装置-CN201210545144.6在审
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杜仕峰;王彩丽;彭钦军;牛燕雄;薄勇;许家林;张超;崔大复;许祖彦
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中国科学院理化技术研究所
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2012-12-14
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2014-06-18
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H01S3/16
- 本发明提供一种全固态激光装置,包括有:多个串接的激光模块,每个激光模块包含激光晶体棒、多组半导体激光阵列及配套机械结构;所述激光晶体棒由Tm:YAG晶体两端键合白YAG晶体组成;腔镜A及腔镜B,所述腔镜A为全反镜,在其表面镀有2μm波长的高反膜;所述腔镜B为输出耦合镜,在其朝向所述光学谐振腔内的表面镀有2μm波长的部分反射膜,其另一面镀有2μm波长的增透膜;水冷系统,用于控制所述多个激光模块的温度;电源模块,用于给所述多个激光模块提供驱动电源;本发明提供的装置可以输出中心波长为2.07μm的高功率全固态Tm:YAG激光,其输出波长在大气中具有较高的透过率;该装置降低了设计复杂性,可广泛应用。
- 固态激光装置
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