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- [实用新型]一种用于单晶片的旋转涂胶机-CN202321239835.3有效
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张军区;杜国强;姜永明;张浩
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无锡环亚微电子有限公司
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2023-05-22
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2023-10-27
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B05C9/14
- 本实用新型涉及一种用于单晶片的旋转涂胶机，其包括机座、涂胶腔、托盘、机盖、旋转机构和加热机构，所述旋转机构包括底板、齿轮箱、电机、套筒、转轴和导电臂，加热机构包括电源和电加热器，在电机的作用下，可以带动转轴转动，转轴带动导电臂上的机盖转动，当机盖转动到一定位置时，正好覆盖涂胶腔，此时机盖底部的电加热装置正好对准托盘上的晶片，启动电源，对电加热装置通电即可对托盘上的晶片进行加热，因此可以在晶片进行匀胶的过程中就对胶层进行加热和烘干，不仅节省了取拿的时间，提高了工作效率，而且还避免了还未固化的胶层在取拿时遭到意外损坏，保证了成品率。
- 一种用于晶片旋转涂胶
- [实用新型]一种用于匀胶机的排风装置-CN202320527108.0有效
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张军区;董金良;姜永明
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无锡环亚微电子有限公司
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2023-03-17
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2023-08-18
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G03F7/16
- 本实用新型涉及一种用于匀胶机的排风装置，其包括进风筒、排风筒、清洁组件和排风阀，清洁组件包括电机、转轴、锥齿轮一、锥齿轮二、齿轮箱、固定杆和刷壁机构，电机设置在进风筒的外壁上，电机的转子穿过进风筒，电机的转子穿过进风筒的部分与转轴的一端连接，转轴的另一端与齿轮箱转动连接，齿轮箱内设置所述锥齿轮一和锥齿轮二，转轴的端部连接所述锥齿轮一，锥齿轮一和锥齿轮二互相啮合，所固定杆的一端固定在进风筒的内壁，启动电机，电机带动转轴端部的锥齿轮一转动，由于锥齿轮一和锥齿轮二互相啮合，因此锥齿轮二上的连杆也随之转动，从而使刷杆在进风筒的内壁旋转刮动，将湿润的内壁刮干净，避免手动清理。
- 一种用于匀胶机装置
- [实用新型]一种匀胶机的吸气结构-CN202320596900.1有效
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董金良;杜国强;姜永明
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无锡环亚微电子有限公司
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2023-03-24
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2023-08-04
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H01L21/683
- 本实用新型涉及一种匀胶机的吸气结构，其包括机座、匀胶腔和吸气组件，吸气组件包括真空吸盘、连接轴和主轴，真空吸盘底部与连接轴顶部连接，连接轴底部与所述主轴连接，连接轴与主轴内均设置有抽气通道，真空吸盘上开设有通气口，通气口与抽气通道连通，所述连接轴底部设置有凹槽，凹槽的内壁设置有内螺纹，主轴的顶部设置有环形槽，所述环形槽的内壁设置有外螺纹，所述连接轴与所述主轴螺纹连接，所述连接轴插入所述环形槽内，将晶圆放置在真空吸盘上，通过在抽气通道底部提供负压真空可以使晶圆固定在真空吸盘上，设置连接轴和主轴可以实现对真空吸盘的自由拆卸，便于后期的更换与维修，而且螺纹连接的结构本身具有较强的密封性。
- 一种匀胶机吸气结构
- [发明专利]一种显影机的智能导料装置及其工作方法-CN202210290280.9有效
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张军区;董金良;杜国强
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无锡环亚微电子有限公司
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2022-03-23
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2023-07-21
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G03F7/30
- 本发明涉及半导体技术领域，应用于半导体制造流程中，在硅片进入匀胶机后，通过匀胶机上的喷胶模块将光刻胶喷在硅片上，再将硅片通过上下料装置移到光刻机上进行曝光操作，后移至显影机上进行显影液的喷涂，便于将光刻机光刻出的线路显现出来，具体为一种显影机的智能导料装置及其工作方法，包括进料板、显影机本体和出料板；本发明通过压力感应器和测距仪的作用，使出料板位置处可进行其他印版的放置，无需工作人员人工进行来回进行放料和收料操作，不会耗费较多的时间，导致工作效率降低的情况，通过抽风机工作时支撑环位置处产生的负压对印版在堆料板上的位置进行固定，并将扩散至空气中的氨水气味从抽气孔位置处吸附至水箱内部进行消除。
- 一种显影智能装置及其工作方法
- [实用新型]一种轨道式匀胶机-CN202220397450.9有效
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张军区;董金良;杜国强
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无锡环亚微电子有限公司
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2022-02-25
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2022-09-06
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B05C11/08
- 本实用新型公开了一种轨道式匀胶机，涉及基片旋柱涂胶技术领域，包括箱体，箱体的顶部对称安装有伸缩块，箱体的顶部对称开设有匀胶槽，且位于匀胶槽的顶部通过螺栓对称固定有盒体；本实用新型先通过伸缩块上安装的放料架和重力传感器，使得第二电动推杆推动整个放料架中的基片组在箱体的顶部上下运动，使得壳体上的转臂能够稳定地将隔板间的基片传送到伸缩支撑板上，通过盒体内的两个伸缩限位板对基片的夹紧和限位，使得基片能够准确的落到转盘的中心位置处，使得后期旋转基片上的光刻胶涂抹得更加均匀，基片也不会因为旋转的离心力从吸盘上脱落。
- 一种轨道式匀胶机
- [实用新型]一种电子束蒸发台-CN202023292578.9有效
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张军区;杜国强;董金良
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无锡环亚微电子有限公司
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2020-12-30
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2021-08-31
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C23C14/30
- 本实用新型属于电子束蒸发台技术领域，具体公开了一种电子束蒸发台，包括壳体和伸缩杆，所述壳体的下方焊接有底座，且底座的下方焊接有支撑块，所述伸缩杆位于底座的内部，且伸缩杆的下方焊接有活动柱，所述壳体的内部开设有卡槽，且卡槽的内部活动连接有卡块，所述卡块的右侧固定连接有柑涡，且柑涡的内部固定连接有进水管，所述进水管的右侧固定有法兰，且法兰的右侧固定连接有密封垫。该电子束蒸发台，与现有的普通电子束蒸发台相比，便于使用者对柑涡的内部进行清洁与维护，从而提高装置工作的效率，并且节约的更换的成本，同时在需要移动装置时，能够方便使用者进行移动，从而使得装置可移动至不同的工作位置。
- 一种电子束蒸发
- [实用新型]一种匀胶机电机旋转台-CN202022022191.5有效
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张军区;杜国强;董金良
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无锡环亚微电子有限公司
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2020-09-15
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2021-08-27
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B05C11/08
- 本实用新型公开了一种匀胶机电机旋转台，包括壳体，所述壳体的内腔横向固定连接有承载板。本实用新型通过设置防滑块和防滑垫，对壳体在工作时起到了防滑稳定的作用，解决了壳体在工作时出现滑动的问题，通过设置通槽，对放置板在工作后起到了方便拿取的作用，解决了放置板在工作后不方便拿取的问题，通过设置万向轮，对操作箱在转动时起到了方便旋转的作用，解决了操作箱在转动时不方便旋转的问题，并减少了摩擦，增加了工作效率，达到了可以进行调节的优点，解决了现有的匀胶机电机旋转台无法进行调节的问题，当人们在对物料加工时，可以对匀胶机电机旋转台进行升降，方便对物料进行拿取，不影响人们工作效率。
- 一种机电旋转
- [实用新型]一种带基片加热的匀胶机-CN202022019338.5有效
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张军区;杜国强;董金良
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无锡环亚微电子有限公司
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2020-09-15
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2021-08-24
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B05C11/08
- 本实用新型公开了一种带基片加热的匀胶机，包括箱体，所述箱体的内腔横向固定连接有隔板，所述箱体内腔底部的左侧固定连接有安装板。本实用新型通过设置机械密封件，固定轴在使用时起到了密封及固定效果好的作用，通过设置安装板，对步进电机在使用时起到了固定稳定的作用，通过设置真空固定盘，对待测试基片在使用时起到了便于固定的作用，通过设置导热板对真空固定盘在使用时起到了加热效果好的作用，达到了基片加热和气氛处理功能的优点，解决了现有的匀胶机不具有基片加热和气氛处理功能的问题，当人们在使用匀胶机时，可以对基片进行加热，可以实时显示加热温度，且可以自动的对基片进行加热。
- 一种带基片加热匀胶机
- [实用新型]一种集束式匀胶显影设备-CN202023292417.X有效
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张军区;杜国强;董金良
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无锡环亚微电子有限公司
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2020-12-30
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2021-07-30
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G03F7/30
- 本实用新型属于集成电路制造光刻技术领域，具体公开了一种集束式匀胶显影设备，包括主体和喷管，所述主体的内部固定连接有显影舱，且显影舱的右侧水平安设有主泵，所述喷管位于主泵的右侧，且喷管的下方固定连接有淋头，所述淋头的下方安装有副转轮，且副转轮的前端安装有副辅轮，所述副辅轮的外壁套接有皮带，且皮带的内部活动连接有主转轮，所述主转轮的前端安装有主辅轮。该集束式匀胶显影设备，与现有的普通集束式匀胶显影设备相比，该装置内的相关设置可提高装置的进料效率，该设计替代了传统人工手动送料，提高装置生产效率该装置进料、显影、冲洗和烘干，四重结构相互配合一体化设置，使得装置的工作效率更高、安全性更高。
- 一种集束式匀胶显影设备
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