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[发明专利]具有深台面结构的晶圆片的光刻方法-CN202310590000.0在审
发明人：郑婉华;王天财;黄亚军;彭红玲;曹澎;徐传旺;宋春旭 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供一种具有深台面结构的晶圆片的光刻方法，包括：在具有深台面结构的晶圆片表面匀涂光刻胶；对匀涂过光刻胶的晶圆片进行预烘；对预烘的晶圆片依次进行完成第一次曝光、第一次显影、第二次曝光以及第二次显影，以减弱曝光时的边缘衍射效应；其中，第一次曝光和第二次曝光的剂量相同；刻蚀待刻蚀区域；去除光刻胶，完成光刻。本公开经过二次曝光，减弱曝光时的边缘衍射效应，解决晶圆片的深台面边缘处光刻胶较薄的问题；采用稀释后的显影液，抑制显影液的减薄效果，保障深台面边缘处光刻胶的保护性；在预烘过程中，采用先低温恒温减少深台面边缘处光刻胶的收缩，再线性升高温度使得光刻胶粘附性更好的同时也能实现快速挥发。
具有台面结构晶圆片光刻方法

[发明专利]同相超模激光器-CN202310826254.8在审
发明人：郑婉华;王炬文;齐爱谊;徐传旺;渠红伟;周旭彦;王亮 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01S5/40 文献下载
摘要：本公开提供一种同相超模激光器，包括：沿外延方向设置的衬底和至少两个相叠加的激光器单元；其中，至少两个相叠加的激光器单元中的相邻激光器单元之间设置有隧道结，至少两个相叠加的激光器单元的波导芯层相互耦合形成超模光学腔；以及远离衬底的最上层激光器单元上刻蚀有一个或多个电注入脊条结构；其中，电注入脊条结构包括本征超模增益区和反向超模相移区，反向超模相移区用于补偿与本征超模增益区相对应的超模光学腔中高阶超模的本征相位差。本公开的同相超模激光器可以在快轴方向实现同相超模输出，并且具有低发散角的远场主峰，以及窄光谱宽度。
相超模激光器

[发明专利]激光器及其制备方法-CN202310308102.9在审
发明人：郑婉华;徐传旺;齐爱谊;王炬文;渠红伟;周旭彦;王亮 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本公开提供了一种激光器及其制备方法，应用于半导体激光器技术领域。该激光器包括N面电极层、衬底、N型限制层、N型波导层、有源层、P型波导层、P型限制层、欧姆接触层、反型层和P面电极层，该反型层包括至少一个反型层单元，P面电极层还与所述欧姆接触层接触。本公开通过在传统外延结构上继续外延生长一层反型层，仅需一次光刻实现区域电流注入，无需沉积绝缘层或者离子注入，大大简化了芯片的制作过程，提升了制备效率。同时通过欧姆接触层或P型限制层与反型层之间形成的凹凸结构，有助于P面电极层的金属扩展，增加了芯片与金属之间的粘合力。且多个反型层单元的设置，可以实现不同反型层单元之间的相互耦合，进而改善光束质量。
激光器及其制备方法

[发明专利]一种地铁隧道监测三维控制网仿真设计系统和方法-CN202210982975.3有效
发明人：郑加柱;徐传旺 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G06F30/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种地铁隧道监测三维控制网仿真设计系统和方法，所述仿真设计系统包括如下四个模块：三维模型管理模块，用于创建隧道三维模型；网形布设与优化模块，用于根据实际情况布设基准点与控制点，建立三维隧道模型布设控制网，即三维控制网，并对所述三维控制网中的控制点进行优化；网形精度评估模块，用于对所述三维控制网的测量精度进行评定，根据评定结果进行三维控制网进行动态可视化分析，实现三维控制网的优化设计；成果管理模块，用于数据存储、成果输出和网络发布。并提供了一种地铁隧道监测三维控制网仿真设计方法，本发明可以填补传统控制网设计时的技术缺失，建立三维控制网，动态调整网型结构，实现网形的优化设计。
一种地铁隧道监测三维控制仿真设计系统方法

[发明专利]光子晶体激光器-CN202310337435.4在审
发明人：郑婉华;徐传旺;齐爱谊;渠红伟;周旭彦;王亮;王天财 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01S5/10 文献下载
摘要：本公开提供一种光子晶体激光器，涉及半导体激光器领域，其包括衬底，依次叠设于衬底上的N型限制层、N型波导层、有源层、P型波导层、P型限制层、绝缘层、欧姆接触层以及P面电极层；其中，在沿腔长方向的两面分别设置反射率均为0％的第一膜层和第二膜层，用于抑制光波模式在腔长方向形成振荡；在沿腔长方向的两面相邻的两侧面，一个侧面设置反射率为0％‑10％的第三膜层，另一个侧面设置反射率为90％‑100％的第四膜层，用于光波模式在侧面方向形成振荡。本公开保证输出光信号高功率的情况下，可以避免产生纵向烧孔效应。
光子晶体激光器

[发明专利]一种高铝组分的氧化限制半导体激光器及其制备方法-CN202211429937.1在审
发明人：郑婉华;王亮;周旭彦;渠红伟;孟凡胜;齐爱谊;徐传旺;韩韧博;王宇飞 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01S5/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种高铝组分的氧化限制半导体激光器及其制备方法，该高铝组分的氧化限制半导体激光器包括：N面金属电极、N型GaAs衬底、N型限制层、N型波导层、有源区、P型波导层、P型限制层、P型高铝组分层、P型接触层和P面金属电极；其中，P型高铝组分层和P型接触层经光刻和刻蚀形成脊条结构；P型高铝组分层经过氧化形成氧化限制层；氧化限制层置于P型限制层上表面和P型接触层下表面之间，并包裹于脊条结构的两侧，使其形成脊条结构下方的电流注入通道和脊条结构两侧电隔离。高铝组分的氧化限制半导体激光器较传统激光器性能更好，且其制备方法工艺难度低，可以提高器件制备过程中的成品率，减少制备过程中耗材，节省生产成本。
一种组分氧化限制半导体激光器及其制备方法

[发明专利]光子晶体激光器-CN202111150917.6有效
发明人：郑婉华;徐传旺;王亮;渠红伟;齐爱谊;周旭彦;王天财;王炬文 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H01S5/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种光子晶体激光器，包括：有源层(6)；N型下波导层(5)，设置在有源层(6)下，用于形成电流注入通道和纵向光场限制；以及光子晶体波导层(4)，设置在N型下波导层(5)下，包括多个波导组件，每个波导组件包括：高折射率层(41)，以及低折射率层(42)，设置在高折射率层(41)上，低折射率层(42)的折射率不高于高折射率层(41)的折射率，多个波导组件的高折射率层(41)和低折射率层(42)交替设置，其中，低折射率层(42)包括从高折射率层(41)依次形成的折射率下降部(421)、过渡部(422)、和折射率上升部(423)，折射率下降部(421)的折射率从高折射率层(41)的折射率逐渐下降到过渡部(422)的折射率，折射率上升部(423)的折射率从过渡部(422)的折射率逐渐上升到高折射率层(41)的折射率。
光子晶体激光器

[发明专利]低功率损耗半导体激光器及其制备方法-CN202210754306.0在审
发明人：郑婉华;徐传旺;齐爱谊;渠红伟;周旭彦;王天财 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01S5/30 文献下载
摘要：本公开提供一种低功率损耗半导体激光器及制备方法，器件包括：半导体衬底层，以及依次叠设外延于半导体衬底层上的N型限制层、N型波导层、有源层、P型波导层、P型限制层和欧姆接触层；P型限制层包括叠设的第一P型子限制层和第二P型子限制层，第一P型子限制层靠近P型波导层；其中，沿外延方向，半导体衬底层、N型限制层、第二P型子限制层和欧姆接触层的掺杂浓度沿厚度变化均保持不变，掺杂气体流量随时间的变化为常数，N型波导层、P型波导层和第一P型子限制层的掺杂浓度与厚度均满足二次函数关系，掺杂气体流量随时间的变化均满足二次函数关系。该器件可以实现很低的功率损耗。
功率损耗半导体激光器及其制备方法

[发明专利]背入射近红外增强硅雪崩光电探测器的结构及制备方法-CN202110222821.X在审
发明人：郑婉华;王天财;彭红玲;鲁玉环;王亮;徐传旺 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L31/107 文献下载
摘要：一种背入射近红外增强硅雪崩光电探测器的结构及制备方法，包括：衬底、π型层、p型层、n+层、贯穿p型层的沟道型保护槽、二氧化硅绝缘层以及第一电极；还包括位于结构下方的衬底掏空区域、硅柱区和第二电极。本发明通过设置硅柱区和沟道型保护槽，增强了光电探测器近红外波段下不同波长的响应，调控边缘电场分布，有效调节器件的击穿特性，降低了过剩噪声；此外本发明在制备过程中采用微米级工艺，较纳米级工艺精度要求低，工艺容错率高，达到了降低制备成本的有益效果。
入射红外增强雪崩光电探测器结构制备方法

[实用新型]一种便捷式土木测绘用水准仪的支撑装置-CN202120612861.0有效
发明人： 徐传旺;郑加柱;陈慧 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： F16M11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便捷式土木测绘用水准仪的支撑装置，属于水准仪技术领域，其技术方案要点包括连接块，所述连接块的底部活动连接有支撑腿，所述支撑腿的数量为三个，所述连接块的底部固定连接有固定柱，所述固定柱的内壁固定连接有限位机构，所述限位机构的底部贯穿至固定柱的底部，解决了现有的支撑装置在遇到不同的测量场景时，当支撑装置放置到水泥地上时，由于其支撑腿是比较尖锐的，支撑面积较小，该尖锐的支撑腿只适合在泥地中，在误碰到支撑装置时，很容易使其发生倾倒的现象，同时在对支撑腿进行收纳时都是使用到绑带进行绑紧的，很容易发生脱落和丢失的现象，减少了实用性和稳定性，不方便使用者使用的问题。
一种便捷土木测绘水准仪支撑装置

[实用新型]一种带辅助照明的测绘放样装置-CN202120561387.3有效
发明人： 徐传旺;郑加柱;陈慧 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： F16M11/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带辅助照明的测绘放样装置，包括外壳，所述外壳底端分别通过转轴转动连接有若干个转板，所述转板内部开设有第一空腔，所述转板在第一空腔内部设有撑杆，撑杆一侧开设有第一凹槽，且第一凹槽一侧内壁固定连接有挡板，撑杆在凹槽内部设有拉杆，拉杆一侧外部固定连接限位块，撑杆内部开设有第二通孔。相比较现有装置而言，本实用新型避免使用测绘主体时，需从保护箱取出并安装在三角架上，不仅步骤繁琐还耗时耗力，同时在存取和安装的过程中容易造成设备的损坏，遮阳布对人体视线和测绘主体进行遮阳，避免阳光直射从而影响设备的正常使用，通过水准气泡数据来校准尖杆和撑杆角度及长度，可使测绘主体处于水平状态。
一种辅助照明测绘装置

[实用新型]一种iBeacon基站定标及固定装置-CN202022331483.7有效
发明人：郭语;郑加柱;徐传旺;陈慧 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G01C21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种iBeacon基站定标及固定装置，属于室内定位的技术领域。在使用iBeacon技术进行室内定位时，需要预先在场景内固定位置布设iBeacon基站信号源。在布设iBeacon基站时常常难以确定基站坐标，并且难以实现有效的固定，影响后续室内定位的精度与稳定性。本实用新型提供了一种iBeacon基站定标及固定装置，包括定标觇牌、定标杆、定标杆固定孔、可调节的iBeacon基站卡扣器、固定尺、螺栓孔、固定螺栓、定标中心。在进行iBeacon基站布设时，可以快速完成iBeacon基站的定标及固定工作，操作简便，成本低廉，同时其可靠性及耐用性良好。
一种 ibeacon 基站定标固定装置

[实用新型]一种可弯曲的棱镜杆-CN201922139628.0有效
发明人：李冬;陈媛媛;尹延中;徐传旺;张一明;赵一智 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01C15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可弯曲的棱镜杆，包括棱镜杆本体、转动结构和主支撑脚，主支撑脚上左右对称连接有副支撑脚，主支撑脚的上端连接有棱镜杆本体，棱镜杆本体的上端连接有棱镜主体，棱镜杆本体上等间距安置有转动结构，转动结构的内侧中间设置有固定轴，固定轴的外侧通过轴承转动连接有转动轴，转动轴的外侧面包裹有外壳，外壳的内侧壁上焊接有挡板，固定轴上右部开设设有内腔，内腔的内侧左侧壁连接有弹簧，弹簧的右端连接有滑块，滑块的右端面焊接有塞子，内腔的内侧上下侧壁对称开设有滑槽。本实用新型解决了现有的棱镜在测绘工作中遇到障碍物时存在无法在测量点树立棱镜的问题。
一种弯曲棱镜

[发明专利]精密量取仪器高的测量装置及测量方法-CN201910778737.9在审
发明人：魏浩翰;何明磊;俞峂柠;葛言磊;徐传旺 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01B5/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密量取仪器高的测量装置及测量方法。包括带有圆水准器的水平板、主杆、第一支杆和第二支杆。所述第一支杆与主杆采用嵌套结构，可以竖直上下滑动，并且主杆侧壁设置一个止位螺旋，可以将第一支杆以一定的长度固定在主杆上。所述第一支杆上刻有均匀刻度，所述第二支杆螺旋嵌套在第一支杆的另一端，与水平板垂直旋紧固定。第一支杆上端设置一个微动螺旋，用于微调第二支杆长度，且微动螺旋外侧有均匀刻度，用于确定第二支杆长度。本发明可用于精密测量安置于强制对中观测墩上的测量仪器的高度，避免对测量仪器的扰动，减少测量误差，且结构简单，便于携带，测量精度高。
支杆主杆测量仪器均匀刻度水平板微动测量测量精度高便于携带测量装置长度固定精密测量螺旋嵌套嵌套结构上下滑动旋紧固定圆水准器扰动上端观测墩精密量侧壁可用竖直微调止位垂直安置

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