专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]矿脉的采场底部结构和矿脉采场-CN202021849458.1有效
  • 李守波;张建华;张洪廷;张长征;李达;章邦琼;王成龙;王寿刚;王士强;鞠光辉;张彦坡;刘国学;周春利 - 内蒙古金陶股份有限公司
  • 2020-08-28 - 2021-04-16 - E21C41/16
  • 本公开涉及一种矿脉的采场底部结构和矿脉采场,采场底部结构包括底部巷道和布置在底部巷道中的砼假底,砼假底将底部巷道分隔为上部的第一操作空间和下部的放矿空间,矿块的侧边设置有行人运料通道,砼假底具有延伸出矿块的侧边的延伸部,行人运料通道的底部设置有第一溜井,延伸部中布置有用于与第一溜井连通配合的第一溜口。这样,砼假底具有对应设置在行人运料通道的底部的延伸部,从而可以阻挡从行人运料通道掉落的物体,保护底部巷道中施工人员的安全,同时还可以避免堵塞底部巷道,减少施工人员的劳动量。另外,行人运料通道底部的第一溜井可以用于存放行人运料通道上方坍塌时产生的废石,并将废石通过第一溜口放矿至放矿空间。
  • 矿脉底部结构
  • [发明专利]一种可控自形成Cu3Ge/TiN双层扩散阻挡层制备方法-CN201410254176.X有效
  • 刘波;张彦坡;林黎蔚 - 四川大学
  • 2014-06-10 - 2014-09-03 - H01L21/768
  • 本发明公开了一种在超深亚微米集成电路铜互连技术中应用的可控自形成Cu3Ge/TiN双层阻挡层制备方法。本发明先采用气相物理共溅射技术制备Cu(Ge,Ti)合金层,随后通过控温氮气(N2)氛退火等步骤,利用Cu(Ge,Ti)合金层中各元素在高温退火过程中能自发选择性反应特性,在Si/Cu(Ge,Ti)/Cu界面可控自形成Cu3Ge/TiN双层阻挡层,其在高温(750℃)条件下仍能有效阻挡Cu与Si基体的相互扩散。采用Cu(Ge,Ti)合金可控自形成Cu3Ge/TiN双层阻挡层能有效降低互连膜系电阻率,降低互连电路的阻容耦合(RC)延迟效应,提高半导体器件的运行速度和稳定性。
  • 一种可控形成cusubgetin双层扩散阻挡制备方法
  • [发明专利]一种可控自形成MnSixOy/Cu3Ge双层扩散阻挡层制备工艺-CN201410199784.5有效
  • 刘波;张彦坡;廖小东;林黎蔚 - 四川大学
  • 2014-05-13 - 2014-08-06 - H01L23/532
  • 本发明公开了一种在超深亚微米集成电路铜互连技术中应用的可控自形成MnSixOy/Cu3Ge双层阻挡层制备工艺。本工艺采用气相物理共溅射技术,包括镀前处理、偏压反溅清洗、沉积Cu(Ge,Mn)合金层和控温退火等步骤。本发明利用Cu(Ge,Mn)合金层中各元素在高温退火过程中能自发选择性在Si/Cu(Ge,Mn)/Cu界面反应自形成MnSixOy/Cu3Ge双层阻挡层,其在高温(>650℃)条件下仍能有效阻挡Cu与Si基体的相互扩散。采用Cu(Ge,Mn)合金可控自形成MnSixOy/Cu3Ge双层阻挡层能有效降低互连膜系电阻率,降低互连电路的阻容耦合(RC)延迟效应,提高半导体器件的运行速度和稳定性。
  • 一种可控形成mnsisubcuge双层扩散阻挡制备工艺
  • [发明专利]4H-SiC基中子探测器用BC4转换薄膜制备工艺方法-CN201310077722.2无效
  • 刘波;蒋勇;张彦坡 - 四川大学
  • 2013-03-12 - 2013-06-05 - C23C14/35
  • 本发明公开了一种4H-SiC基半导体中子探测器用的BC4转换膜制备方法,主要包含以下步骤:将4H-SiC基体分别浸没于丙酮、酒精中进行超声波清洗;采用偏压反溅射清洗去除4H-SiC基体中杂质,预溅射清洗去除BC4靶材表面杂质;以BC4靶作为磁控靶在4H-SiC基体上沉积BC4涂层;溅射清洗和溅射沉积均以氩气为起辉气体;反应磁控溅射镀膜真空炉内真空度调整至不低于10-3Pa自然冷却后出炉,即得到在4H-SiC基体上沉积的BC4转换膜。采用本发明获得的BC4转换膜厚度精确可控、耐辐照损伤、耐高温、与4H-SiC基体结合性能优良和制备工艺重复性强,易实现产业推广。本发明制备的BC4转换膜层与半导体4H-SiC器件合成的中子探测器实测效果具有噪音小、探测中子效率高、以及高γ抑制性等优点。
  • sic中子探测器用bcsub转换薄膜制备工艺方法
  • [发明专利]一种可控自形成阻挡层用Cu(Ge,Zr)合金的制备工艺-CN201210439672.3无效
  • 刘波;张彦坡;陈顺礼 - 四川大学
  • 2012-11-07 - 2013-03-27 - H01L21/768
  • 本发明公开了一种在超深亚微米集成电路铜互连技术中应用的可控自形成阻挡层用Cu(Ge,Zr)合金的制备工艺。本工艺采用气相物理共溅射技术,包括镀前处理、偏压反溅清洗和沉积Cu(Ge,Zr)合金层等步骤。本发明沉积的Cu(Ge,Zr)合金层特点是能在高温退火(>500℃)过程中自发在Si/Cu(Ge,Zr)/Cu界面形成ZrGe2/Cu3Ge和ZrOx(ZrSiyOx)/Cu3Ge复合层,其在高温(>650℃)条件下仍能有效阻挡Cu与Si基体的相互扩散。采用该Cu(Ge,Zr)合金自发形成的阻挡层能有效降低互连膜系电阻率,降低互连电路的阻容耦合(RC)延迟效应,提高半导体器件的运行速度和稳定性。
  • 一种可控形成阻挡cugezr合金制备工艺
  • [实用新型]一种用于小区草坪的停车装置-CN201220002380.9有效
  • 张彦坡 - 张彦坡
  • 2012-01-05 - 2013-01-02 - E04H6/02
  • 本实用新型涉及一种用于小区草坪的停车装置。其特征在于:在草坪的合适位置处架设钢板网,钢板网的边缘延伸至草坪边缘的道路上。其特征在于:钢板网的底部由埋设在草坪中的立柱支撑,所述的立柱为钢结构的或混凝土浇铸。其特征在于:钢板网的边缘为一连接道路的斜坡。其特征在于:钢板网为一大平面或为鱼骨形状。其特征在于:在钢板网上架设有花架,所述的花架由立杆连接在钢板网的边侧,立杆的顶端由横杆相互连接。本实用新型的优点是就是在不破坏绿化的前提下,在有限的小区空间里,利用晚间的时段在草坪上开辟出停车位,而在白天还以绿地的功能。
  • 一种用于小区草坪停车装置

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