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[发明专利]一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备-CN202310364154.8在审
发明人：潘高威;廖平强;蒋竞超 -专利权人：杭州新诺微电子有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备，包括圆形换板机构、直线换板机构和夹具体，夹具体与圆形换板机构、直线换板机构适配，且夹具体在圆形换板机构、直线换板机构之间移动，将待曝光的板材夹持在夹具体内，圆形换板机构用于将夹具体移动至与直线换板机构对应的位置上，直线换板机构将装有待曝光板材的夹具体从圆形换板机构上取下，并移动至对应的曝光引擎处；板材曝光完毕后，直线换板机构将夹具体移动至圆形换板机构对应的位置上，并将夹具体插接至圆形换板机构上，通过圆形换板机构下料。
一种双面曝光光刻机换板装置及其设备

[发明专利]曝光设备及曝光控制方法-CN202211717265.4在审
发明人：肖传潘;王楚南;王鹏;廖平强;陈超;王珺 -专利权人：杭州欣俊哲科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光设备及控制方法，包括第一曝光系统，包括激光组件以及第一对准组件，激光组件与第一对准组件分别安装于第一安装结构，并朝向第一曝光区设置；第二曝光系统；包括平行光组件以及第二对准组件，件平行光组件与第二对准组件安装于第二安装结构，并朝向第二曝光区设置；运动平台系统，包括移动平台组件与安装台面组件，移动平台组件滑动安装于底座，安装台面组件安装于移动平台组件，载板设置与安装台面组件；通过使得待加工的载板能够依次通过第一曝光系统与第二曝光系统的曝光作用，从而减少因单次曝光方式而导致的侧向侵蚀的现象，从而保证了加工精度。
曝光设备控制方法

[实用新型]光纤拉线裁线机-CN202222150337.3有效
发明人：唐战备;黎家锋;周绍平;李红学;廖平强;彭露露;叶烺煦 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B26D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤拉线裁线机，包括机台、及设置于机台上的进料机构、裁线机构及拉线机构，所述进料机构包括绕有光纤线的料筒、张紧轮、张紧摆杆，所述张紧摆杆一端与张紧轮转动连接而张紧摆杆另一端与机台铰接，所述近接感应器固定于机台上且能够在光纤线崩断后感应张紧摆杆，所述裁线机构包括裁线移动机构及通过裁线移动机构带动在平面内移动的夹线气缸一、夹线气缸二及位于夹线气缸一和夹线气缸二间的电动裁剪刀，所述拉线机构包括拉线移动机构、通过拉线移动机构带动的拉线架，所述拉线架上设有拉线气缸，所述光纤线经张紧轮张紧后，所述拉线气缸能够夹住光纤线通过拉线移动机构的带动而移动到预定距离。
光纤拉线裁线机

[实用新型]一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构-CN202221911301.6有效
发明人：蒋竞超;廖平强;尚小兵;陈鹏 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无掩模光刻机平台伸缩式排线结构，包括若干导线及气管，其特征在于：还包括螺旋式弹性伸缩管，所述导线从螺旋式弹性伸缩管穿过且随着螺旋式弹性伸缩管伸缩，所述气管为弹性伸缩气管或直管，所述直管从螺旋式弹性伸缩管穿过且随着弹性伸缩管伸缩。本实用新型不使用拖链的方式不仅可以减少振动对设备的稳定性以及解析精度的影响，同时可以减少结构装配，减少后期人力物力成本。
一种无掩模光刻平台伸缩排线结构

[实用新型]光纤拉线裁线机断线报警机构-CN202222130553.1有效
发明人：黎家锋;周绍平;唐战备;李红学;廖平强;黄图;江艳宝 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B26D7/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤拉线裁线机断线报警机构，包括进料架、张紧轮、张紧摆杆，所述张紧摆杆一端与张紧轮转动连接而张紧摆杆另一端与进料架铰接，所述近接感应器固定于进料架上且能够感应张紧摆杆，本申请的张紧轮通过张紧摆杆摆动而张紧，当光纤线被拉动张紧时，张紧摆杆位于张紧的位置，而光纤线因为意外断了后，张紧摆杆能够通过重力摆动回原位，而近接感应器设置于张紧摆杆摆动回原位所要经过的某一位置，从而在光纤线断后近接感应器能将感应到的断线信号传送到控制中心，从而实现断线报警。
光纤拉线裁线机断线报警机构

[实用新型]一种板状工件加工输送设备-CN202222196639.4有效
发明人：李永亮;逄效伟;郑先云;吴越;夏炎;胡魏巍;廖平强;周绍平 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B65G47/252 文献下载
摘要：本实用新型涉及板状工件加工输送技术领域，具体为一种板状工件加工输送设备，包括支撑架体；第一工件进出料部件，与所述支撑架体连接；第二工件进出料部件，与所述支撑架体连接；第一工位平台，与所述支撑架体连接，且所述第一工位平台在第一位置A1时与所述第一工件进出料部件在水平方向上对接、在第二位置A2时与第一加工设备对接；第一平台驱动机构，设置在所述支撑架体上，且所述第一平台驱动机构的动力输出端与所述第一工位平台连接。板状工件加工输送设备的第一工位平台、第二工位平台是并行设置在一起的，省去了现有技术中板状工件在第一加工设备与翻转设备之间以及在翻转设备与第二加工设备之间输送的时间，从而提高了板状工件的加工效率。
一种工件加工输送设备

[实用新型]光纤耦合部件检测用夹具-CN202222130086.2有效
发明人：唐战备;黎家锋;周绍平;李红学;廖平强;江尧;黄图 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤耦合部件检测用夹具，包括底板及与底板扣合的面板，所述底板中设有若干用于固定耦合部件的卡槽，所述卡槽的底面设有用于点胶及检测的底通孔；所述面板上设有用于点胶及检测的面通孔，所述面通孔与对应的卡槽连通，多个光纤耦合部件卡在对应卡槽中通过面板压在卡槽中，光纤耦合部件上的点胶位与底通孔及面通孔是对应的，因而工人能够对光纤耦合部件点胶，而且是统一点面完一面后再将夹具整体翻转进行另一面的点胶，上述过程只用翻转一次就可对多个光纤耦合部件点胶完成，因而节省时间，而且通过底通孔及面通孔的引导能够更准确点到光纤耦合部件的胶位上。
光纤耦合部件检测夹具

[实用新型]光纤拉线裁线机拉线裁剪机构-CN202222130593.6有效
发明人：周绍平;黎家锋;唐战备;李红学;廖平强;吴明新;陈宝丽 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B26D1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光纤拉线裁线机拉线裁剪机构，包括机台、及设置于机台上的裁线机构及拉线机构，所述裁线机构包括裁线移动机构及通过裁线移动机构带动在平面内移动的夹线气缸一、夹线气缸二及位于夹线气缸一和夹线气缸二间的电动裁剪刀，所述拉线机构包括拉线移动机构、通过拉线移动机构带动的拉线架，所述拉线架上设有拉线气缸，拉线气缸能够夹住光纤线通过拉线移动机构的带动而移动到预定距离，且在光纤被拉线气缸拉到了预定长度，夹线气缸一及夹线气缸二夹住光纤后通过电动裁剪刀将光纤剪断。
光纤拉线裁线机裁剪机构

[发明专利]光纤拉线裁线机-CN202210976909.5在审
发明人：唐战备;黎家锋;周绍平;李红学;廖平强;彭露露;陈宝丽 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B65H59/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种光纤拉线裁线机，包括机台、及设置于机台上的进料机构、裁线机构及拉线机构，所述进料机构包括绕有光纤线的料筒、张紧轮、张紧摆杆，所述张紧摆杆一端与张紧轮转动连接而张紧摆杆另一端与机台铰接，所述近接感应器固定于机台上且能够在光纤线崩断后感应张紧摆杆，所述裁线机构包括裁线移动机构及通过裁线移动机构带动在平面内移动的夹线气缸一、夹线气缸二及位于夹线气缸一和夹线气缸二间的电动裁剪刀，所述拉线机构包括拉线移动机构、通过拉线移动机构带动的拉线架，所述拉线架上设有拉线气缸，所述光纤线经张紧轮张紧后，所述拉线气缸能够夹住光纤线通过拉线移动机构的带动而移动到预定距离。
光纤拉线裁线机

[实用新型]一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构-CN202221911365.6有效
发明人：蒋竞超;廖平强;尚小兵;陈鹏 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构，包括底座、移动平台，其特征在于：所述移动平台上设有电线转接头，所述电线转接头中设有金属触片，设备电线通过电线转接头与金属触片电连接，所述底座上设有线轨座，所述线轨座中设有与外界电源导通的导线，所述金属触片能够与导线滑动接触而导通，所述气管为伸缩管。本实用新型不使用拖链的方式不仅可以减少振动对设备的稳定性以及解析精度的影响，同时可以减少结构装配，减少后期人力物力成本。
一种无掩模光刻平台滑触式排线结构

[发明专利]一种双面曝光光刻机的夹持机构及其控制方法-CN202210967171.6在审
发明人：丁鹏飞;廖平强;许艳;李兵;张华 -专利权人：杭州新诺微电子有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种双面曝光光刻机的夹持机构，包括上玻璃盖组件和下玻璃盖组件，上玻璃盖组件与下玻璃盖组件适配，上玻璃盖组件、下玻璃盖组件相互盖合形成夹持腔，夹持腔用于对待曝光的板材进行放置、夹持，通过双面玻璃组件的设置，便于对通过本夹持机构夹持后的板材进行双面曝光，提高曝光效率；上玻璃盖组件、下玻璃盖组件之间安装有夹持腔调节件，夹持腔调节件调节夹持腔的厚度，通过改变夹持腔调节件的厚度来控制上玻璃盖组件、下玻璃盖组件之间的间距，从而便于对不同厚度的板材进行夹持，提高本夹持机构的通用性。
一种双面曝光光刻夹持机构及其控制方法

[发明专利]一种晶圆平整装置、控制方法及存储介质-CN202210851406.5在审
发明人：蒋竞超;廖平强;尚小兵 -专利权人：杭州新诺微电子有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种晶圆平整装置、控制方法及存储介质，装置包括晶圆平台、多个管柱、晶圆固定机构、抽气系统、驱动系统。通过利用晶圆固定机构，可以将晶圆固定于晶圆平台上，以便于对晶圆表面平整进行后续操作；通过利用抽气系统，将晶圆平台下侧的空气抽出，使得晶圆平台上下两侧形成气压差，从而让晶圆平台上侧的大气压将晶圆紧紧压至晶圆平台上，实现将晶圆凸起的部分变得平整；通过利用驱动系统，来驱动多个管柱在管柱孔中垂直方向上的移动，以使得晶圆上凹陷的部分可由管柱顶起，从而实现晶圆平整。因此，通过利用本发明实施例的晶圆平整装置，可以使得晶圆表面的凹凸部分实现平整，从而有利于晶圆的加工封装。
一种平整装置控制方法存储介质

[发明专利]一种多模组光引擎及其应用的无掩模光刻机-CN202210851595.6在审
发明人：蒋竞超;尚小兵;廖平强;陈鹏 -专利权人：中山新诺微电子装备制造有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种多模组光引擎，包括：多组第一子引擎，每组第一子引擎皆包括第一光源系统和第一镜头且水平设置，每组第一子引擎相互之间前后错位并具有高度差；多个第一反射镜，与第一子引擎的数量一致且分别设置于每个第一镜头的正前方，多个第一反射镜皆为45°反射镜且其竖向投影位于同一直线上，每个第一反射镜与其对应的第一镜头之间的距离为Ln，每个第一反射镜的与曝光平台的垂直距离为Mn，并满足Ln+Mn等于多模组光引擎的焦距F。通过将传统竖直摆放的光引擎横向放置或倾斜设置，一方面可以减少引擎高度，另一方面可以实现引擎间距减少，从而便于通过增加引擎数量，实现增加产能，尤其当精度实现微米甚至纳米时，提高产能的效果更加显著。
一种模组引擎及其应用无掩模光刻

[发明专利]一种多场景模块化LDI风冷DMD相变散热机构-CN202210527690.0在审
发明人：邹继光;骆凯;廖平强 -专利权人：杭州新诺微电子有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种多场景模块化LDI风冷DMD相变散热机构，包括自下而上依次设置的基座、散热转接板和热管散热器；所述热管散热器包括散热底板和竖直设置于散热底板上的若干散热翅片，若干散热翅片等距排布于散热底板上；所述散热底板内卡接有热管，热管沿散热翅片的排布方向插接于散热翅片上；所述散热翅片顶部设有水平设置的连接扣合片，相邻散热翅片顶部设有与连接扣合片卡接的顶部扣合凸起；与现有技术相比，顶部扣合凸起用于将相邻散热翅片连接的同时，使得相邻散热翅片顶部之间形成开槽，便于散热，而底部扣合凸起用于将相邻散热翅片连接的同时，尽可能的增大散热翅片底部与散热转接板之间的接触面积，从而增加传热效。
一种场景模块化 ldi 风冷 dmd 相变散热机构

[发明专利]一种PCB板曝光设备-CN202210448989.7在审
发明人： 廖平强;张华 -专利权人：杭州新诺微电子有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种PCB板曝光设备，属于PCB板曝光技术领域，解决了现有技术曝光效果不佳的问题。本发明包括机座，机座上设有底板、可驱动底板沿Y轴运动的Y轴驱动装置、可用于曝光PCB板正面的第一曝光装置和可用于曝光PCB板反面的第二曝光装置，底板上分别设有用于放置PCB板的支撑结构、可夹紧或松开PCB板的夹紧装置、可驱动支撑结构在X轴方向移动以避免投射光斑被挡的X轴驱动装置，支撑结构上设有可供投射光斑通过的投射过道。本发明通过在支撑结构上开设投射过道，便于第二曝光装置对PCB板曝光，通过X轴驱动装置驱动支撑结构沿X轴方向移动来实现投射过道相对PCB板移动，可完成对PCB板反面的全面曝光，并依靠夹紧装置的夹紧定位，显著提升曝光效果。
一种 pcb 曝光设备

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