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[发明专利]应用于薄膜沉积装置的托盘-CN201911292324.6有效
发明人：马迎功;董博宇;郭冰亮;武学伟;武树波;赵晨光;翟洪涛;杨依龙;杨健;甄梓杨;宋玲彦;孙鲁阳;李新颖;刘玉杰;许文学;张璐;崔亚欣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种应用于薄膜沉积装置的托盘，包括：第一盘体、第二盘体以及连接组件。第一盘体包括用于承载晶圆的多个通孔，且第一盘体下表面设置有多个第一槽位。第二盘体的尺寸与第一盘体的尺寸相对应，且第二盘体上表面设置有多个第二槽位。第二槽位的形状及位置与第一槽位的形状及位置相对应。连接组件位于一一对应的第一槽位及第二槽位之间，用于实现第一盘体和第二盘体的固定连接。第一盘体采用第一材质制备，第二盘体采用第二材质制备,且第一材质的热膨胀系数与待沉积薄膜的热膨胀系数的相对偏差值小于20％，以减少对所述晶圆沉积薄膜时的应力影响；第一材质的体积电阻率大于第二材质的体积电阻率，以使在对晶圆沉积薄膜时第一盘体形成绝缘体。
应用于薄膜沉积装置托盘

[发明专利]金属氮化物薄膜沉积方法-CN202011469751.X有效
发明人：马迎功;郭冰亮;武树波;师帅涛;赵晨光;杨健;宋玲彦;甄梓扬;翟洪涛;许文学;张璐;崔亚欣;段俊雄;孙鲁阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种金属氮化物薄膜沉积方法，应用于半导体设备的工艺腔室，包括以下步骤：S1、对衬底进行加热，以去除衬底上的杂质；S2、向工艺腔室中通入氮气，并开启偏压电源，激发氮气形成等离子体，以通过使等离子体轰击衬底的表面来去除残留的杂质，并与衬底表面上的金属原子反应形成金属氮化物缓冲层；S3、进行溅射工艺，以在金属氮化物缓冲层上沉积形成金属氮化物薄膜。本发明实施例提供的金属氮化物薄膜沉积方法，其不仅可以完全去除衬底的水汽和与衬底表面结合较紧固的杂质，而且还可以减少金属氮化物薄膜的应力，从而可以提高金属氮化物薄膜性能。
金属氮化物薄膜沉积方法

[实用新型]一种用于精酿啤酒的高效发酵装置-CN202220380435.3有效
发明人：张秀丽;刘振超;李丽杰;王延明;李璐;张晓迪;高梦萍;孙鲁阳 -专利权人：青岛工程职业学院
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C12C11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及啤酒酿制技术领域，尤其涉及一种用于精酿啤酒的高效发酵装置。其技术方案包括：罐体和水箱，所述罐体一侧中间安装有水箱，所述罐体内表面安装有加热室，所述罐体顶部中间安装有电机，所述电机输出轴位于罐体内部安装有旋转管，所述旋转管外表面靠近顶部两侧与靠近底部两侧均安装有搅拌杆，两侧所述搅拌杆相邻一侧均安装有搅拌轴，所述罐体内部两侧中间均通过轴承安装有转轴。本实用新型解决了现有装置搅拌机构简单，无法对原料进行混合搅拌，原料受热均匀度差，原料发酵均匀度不佳，且无法对原料进行快速升温，原料升温效率低，原料发酵效率不佳的问题，提高了原料的升温效率，从而提高了原料的发酵效率。
一种用于啤酒高效发酵装置

[实用新型]一种轨道平车运输长大钢轨安全监测预警装置-CN202123108459.8有效
发明人：陈琨;申红文;高宏利;孙鲁阳;江浩;魏冬 -专利权人：中铁电气化铁路运营管理有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01B21/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种轨道平车运输长大钢轨安全监测预警装置，包括轨道平车测量端和司机端；所述轨道平车测量端包括测距模块、无线传输模块和控制器，所述测距模块和无线传输模块均与控制器连接；所述司机端包括无线接收模块、显示模块和控制装置，无线接收模块和显示模块分别连接控制装置，所述无线传输模块和无线接收模块无线通讯连接；所述轨道平车测量端设置在轨道平车上，测距模块用于测量自身与轨道平车上转向架之间的距离。利用本实用新型，可以实时监测转向架的工作状态，识别出异常状况，有利于保证25m钢轨运输安全，减少事故发生概率。
一种轨道平车运输长大钢轨安全监测预警装置

[实用新型]减振结构、丝杠升降机构及半导体加工设备-CN201922052849.4有效
发明人：杨依龙;武学伟;董博宇;李新颖;武树波;郭冰亮;宋玲彦;杨建;赵晨光;马迎功;刘玉杰;张家昊;陈玉静;张璐;翟洪涛;甄梓杨;孙鲁阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： F16H25/24 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种减振结构、丝杠升降机构及半导体加工设备。该减振结构设置于丝杠升降机构的丝杠螺母及升降套筒组件之间，用于对升降套筒组件减振。减振结构包括：第一连接件、第二连接件及减振组件；第一连接件及第二连接件平行且间隔设置，第一连接件与丝杠螺母连接，第二连接件与升降套筒连接；第一连接件及第二连接件左右两侧均设置有减振组件，并且减振组件的两端分别第一连接件及第二连接件的侧面连接，第二连接件能相对于第一连接件沿前后方向移动。本申请实施例可以有效提高丝杠升降组件的安全性及稳定性，进而有效提高了工艺的安全性，可以有效提高经济效益。
结构升降机构半导体加工设备

[发明专利]薄膜制备方法-CN202010047837.7在审
发明人：杨健;郭冰亮;董博宇;宋玲彦;孙鲁阳;颜晓威;马迎功;赵晨光;武学伟;武树波;杨依龙;李新颖;张璐;刘玉杰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜制备方法，其包括：第一沉积步，向工艺腔室中通入工艺气体，并向靶材加载射频功率，以在衬底上沉积薄膜阻挡层，其中，第一沉积步包括至少两个阻挡层沉积时段，每一阻挡层沉积时段采用的射频功率均大于上一阻挡层沉积时段采用的射频功率；第二沉积步，继续向工艺腔室中通入所述工艺气体，并向靶材加载直流功率，以在薄膜阻挡层上沉积薄膜主体层，其中，第二沉积步包括至少两个主体层沉积时段，每一主体层沉积时段采用的直流功率均大于上一主体层沉积时段采用的直流功率。本发明提供的薄膜制备方法，其可以在减少对底部衬底材料或者阻挡层造成的损伤的基础上，提高产能。
薄膜制备方法

[实用新型]电解抛光——X射线应力分析测试平台-CN201720561530.2有效
发明人：李晓延;孙鲁阳;申博文;吴奇 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：电解抛光——X射线应力分析测试平台，属于材料焊接残余应力无损测试领域。测试平台主要包含支撑结构、测试台结构和夹持结构三个部分，各个结构可以进行调节从而能够适应不同尺寸的待测结构。另外针对焊接残余应力分布不均匀的特点，加入旋转轴的设计来满足测量沿不同方向的应力，该实验平台结构设计简单灵活，便于制作和组装。该平台同时能够装置电解抛光设备以及X射线应力测试设备，将两者的功能合而为一，在满足X射线应力测试标准的前提下，测量精确度和效率都相比用分别操作电解抛光和X射线应力测试有明显提高，具有重要的实际意义。
电解抛光射线应力分析测试平台

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