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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]投影物镜支撑装置以及光刻机设备-CN201610777156.X有效
发明人：赵灿武;孙见奇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种投影物镜支撑装置以及使用这种投影物镜支撑装置的光刻机设备，这种投影物镜支撑装置包含有筒壁具有若干层镂空的柔性支座的支座本体，每一层镂空具有若干个网格，相邻两层镂空的网格相互错位，这样使得该支撑装置具有比较合适的刚度，相互错位的网格将所受的载荷分散，即提高了承载能力，同时相互错位的网格又能够吸收振动，减少了振动对物镜的干扰。而使用这种投影物镜支撑装置的光刻机设备，除了具有上述减振的支撑装置，还在主基板与基础框架之间配备减振器，给予光刻机设备双重减振，更好地保障了投影物镜的工作环境。
投影物镜支撑装置以及光刻设备

[发明专利]芯片键合装置及其键合方法-CN201610470114.1有效
发明人：郭耸;孙见奇;陈飞彪;朱岳彬;王天明;夏海 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片键合装置及其键合方法，芯片键合装置包括：至少一个用于对芯片进行分离的分离模块；至少一个用于对所述芯片和一基底进行键合的键合模块；一传输装置，所述传输装置将所述芯片在所述分离模块以及所述键合模块之间传输，所述传输装置包括至少一条导轨以及至少一个用于承载所述芯片的传输载体，每条所述导轨上设置有至少一所述传输载体；以及一控制装置，所述控制装置分别控制所述分离模块、键合模块和传输装置。本发明通过该芯片键合装置进行芯片键合方法，能够实现芯片批量拾取、芯片批量传输、芯片和基底批量键合，可以有效提高芯片键合的产率，并且提高芯片键合的精度。
芯片装置及其方法

[发明专利]吸振装置及吸振方法、光刻机系统-CN201510270064.8有效
发明人：季采云;孙见奇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-05-24 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种吸振装置及吸振方法，包括壳体、铁芯，所述壳体内设置有相互贯通的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设置有磁流变弹性体，位于所述第二腔室的铁芯缠绕有励磁线圈。本发明通过励磁线圈的电流的大小控制所述磁流变弹性体的刚度变强或变弱，以保证吸振装置的振动频率与振动源的振动频率相一致，降低振动敏感位置的振动幅值。本发明还公开了一种光刻机系统，依次包括地基、基础框架、一级减振器、主基板、法兰，二级减振器、光刻投影物镜以及设置于光刻投影物镜的模态节点位置的吸振装置，该光刻机系统能够对光刻投影物镜产生的振动进行吸振，特别是对绕水平方向的吸振效果较佳。
装置方法光刻系统

[发明专利]一种自动键合装置及方法-CN201610614596.3在审
发明人： 孙见奇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及一种自动键合装置及方法，该装置包括蓝膜片台、传输单元、载板运动台以及键合运动台，其中，所述蓝膜片台用于承载并夹紧蓝膜片，所述蓝膜片上设置芯片；所述传输单元包括两传动轮以及缠绕固定于所述传动轮上的传输带，所述传输带上均匀排布有若干真空吸头；所述载板运动台上设有带有吸附功能的转移块，可吸附多个芯片；所述键合运动台用于承载硅片，所述转移块在所述真空吸头与所述硅片之间移动送料。本发明提出一种芯片到转移块，转移块到硅片的方式来实现C2W，这种方式的好处是可以通过多个转移块的方式来提高产率，从而比一般的C2W产率更高；同时，本发明提出采用传输带上固定真空吸头的方式进一步提高产率。
一种自动装置方法

[发明专利]减振装置及减振方法-CN201410855718.9在审
发明人： 孙见奇 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： F16F6/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种减振装置及减振方法，其减振装置包括：多个励磁线圈；位于每个所述励磁线圈内部的铁芯；包围每个所述励磁线圈的磁流变弹性材料；与每个所述励磁线圈相对应的振动传感器，用于检测与所述减振装置相连接的设备的振动信号；以及控制器，接收所述振动传感器检测到的振动信号，并根据振动信号改变所述励磁线圈的电流；通过改变励磁线圈中电流的大小调节磁流变弹性材料的阻尼，从而获得最优的减振效果。
装置方法

[发明专利]玻璃封装体的密封装置-CN201410149111.9在审
发明人： 孙见奇;朱树存;赵灿武 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-04-15 - 公布日： 2015-11-04 - 主分类号： H01L23/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃封装体的密封装置，包括：光源，用于提供装置所需的光束；振镜，实现光束的扫描运动；远心场镜，用于将振镜中的倾斜入射光转为垂直光束入射到玻璃封装体上；龙门架，具有第一方向和第二方向运动自由度，用于带动振镜和远心场镜在第一方向和第二方向运动；工件台，具有第二方向运动自由度，用于装卸和承载玻璃封装体；底座，带有减震模块，用于承载所述龙门架及工件台；以及控制系统，用于控制所述光源、振镜、远心场镜、龙门架以及工件台动作。本发明可以很好地完成对玻璃封装体的激光封装，同时解决了现有技术中激光倾斜入射时的垂向串扰问题，提升了定位精度，同时便于对激光功率的控制。
玻璃封装密封装置

[实用新型]口腔第三颗磨牙后侧的食物残渣清洁刷-CN201220259928.8有效
发明人：韩跃生;孙见奇;罗玉珊 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2012-06-04 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： A46B13/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于清洁口腔第三颗磨牙后侧食物残渣的清洁刷，包括一个中空结构的刷柄，驱动装置，带有刷毛的刷头，其中驱动装置具有转柄、转动轴、传动轴、锥形主动齿轮、锥形从动齿轮，转柄的一端设有盲孔，该盲孔与所述转动轴的一端相固定，转动轴穿过所述刷柄，锥形主动齿轮固定于转动轴的另一端使得锥形主动齿轮与转动轴形成一体，锥形从动齿轮与锥形主动齿轮相啮合，锥形从动齿轮固定于传动轴的一端，刷头固定于转动轴的另一端使得转动转柄即能带动刷头旋转。
口腔第三磨牙食物残渣清洁

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