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[发明专利]一种磁控溅射镀膜装置-CN202310569177.2在审
发明人： 周其刚;叶庭;侯金明;陈玉芝;黄家荣;王舒宇 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控溅射镀膜装置，包括镀膜仓、第一驱动机构、第二驱动机构以及设于镀膜仓内的基框架和挂样框架；所述基框架包括转动板以及与转动板贯穿连接的基杆；所述挂样框架包括限位框和多根转动杆，所述转动杆的底部与转动板可拆卸式转动连接，所述转动杆的顶部与限位框转动连接，所述限位框与基杆可拆卸式连接，所述转动杆上安装有挂样组件；所述第一驱动机构用于驱动基框架带动挂样框架旋转，所述第二驱动机构用于驱动转动杆自转。本发明提供的磁控溅射镀膜装置，样品取放操作方便，有助于提高生产效率，同时，能够提高样品表面磁控溅射镀薄的均匀性。
一种磁控溅射镀膜装置

[发明专利]建立及切换SD-WAN隧道的方法、系统、设备及存储介质-CN202110790295.7有效
发明人：张届新;张宏丙;陈乐贤;周其刚;徐海峰 -专利权人：中国电信股份有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H04L12/46 文献下载
摘要：本发明提供了建立及切换SD‑WAN隧道的方法、系统、设备及存储介质，该方法包括：接收客户前置设备在主用接入链路上发送的第一隧道建立/切换申请信息，第一隧道建立/切换申请信息包括隧道标识以及申请时间戳；根据隧道标识获取隧道信息；将第二隧道建立/切换申请信息发送至主用接入链路对应的IP‑SDN控制器，第二隧道建立/切换申请信息包括隧道信息以及申请时间戳，以供IP‑SDN控制器选择满足隧道带宽的可用路由表，并确定可用隧道；将可用隧道的可用路由表发送至客户前置设备，以供客户前置设备依据可用隧道的可用路由表执行隧道建立/切换。本发明能够缓解SD‑WAN网内大量隧道因同时建立/切换而导致IP网络资源瞬间耗尽带来的主备用接入链路之间的隧道链路震荡。
建立切换 sd wan 隧道方法系统设备存储介质

[实用新型]一种制作蒸发靶材的自动精密切割机-CN202123427302.1有效
发明人： 周其刚;周心立;陈玉芝;陈玲玲 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制作蒸发靶材的自动精密切割机，包括切割机主体，所述切割机主体的上端外表面固定连接有滑轨，所述滑轨的前端内表面活动连接有放置板，所述放置板的前端内表面设置有第一夹板，所述第一夹板的外壁弹性连接有第一压紧弹簧，所述放置板的上端外表面安装有转板。该制作蒸发靶材的自动精密切割机，通过放置板、第一夹板与第二夹板之间的配合使用，使得对靶材的外壁进行全方位的固定限位，提高切割机切割的精度以及效果，通过清洁毛刷不断的来回清理，使得清洁毛刷可以清理残留在放置板上靶材碎屑残渣，让其掉落到碎屑收集盒中进行集中收集，定期拆卸碎屑收集盒统一回收。
一种制作蒸发自动精密切割机

[实用新型]一种绑定旋转靶材的解绑定装置-CN202123429940.7有效
发明人： 周其刚;王舒宇;李宪民;张宇行 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绑定旋转靶材的解绑定装置，涉及靶材技术领域，具体为一种绑定旋转靶材的解绑定装置，包括箱体，所述箱体的顶部固定安装有储油罐，所述储油罐的底部固定连接有输送管一，所述输送管一的左侧固定连接有输送泵一，所述输送泵一的左侧固定连接有加热管，所述加热管的底部固定连接有输送管二。该绑定旋转靶材的解绑定装置，通过设置加热管，利用加热管内部的高功加热管对导热油进行集中加热，能够使导热油快速的加热到合适的温度，通过使用导热油对旋转靶材进行加热，将旋转靶材套在中心管上，导热油能够从旋转靶材的内部和外部同时对旋转靶材进行加热，导热油温度恒定加热更加的均匀，避免旋转靶材碎裂。
一种绑定旋转装置

[实用新型]一种磁控溅射镀膜磁性靶材-CN202023303473.9有效
发明人： 周其刚;李宪民;戴慧敏 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜磁性靶材，其特征在于所述磁性靶材是通过若干块同材质的磁性材料拼接而成，其拼接线的形状与磁场布局的形状一致。本实用新型所述靶材设计为多块靶材拼接而成，且拼接线按磁场布局设计，使磁力线可以沿拼接线轻松穿透，能够吸引离子轰击靶材表面，使磁性材料也能应用于各种磁控溅射镀膜中，丰富了靶材的多样性，便于生产更多样的镀膜材料。
一种磁控溅射镀膜磁性

[实用新型]一种拼接型陶瓷靶材-CN202023303456.5有效
发明人： 周其刚;李宪民;侯金明 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拼接型陶瓷靶材，包括多个固定在背板上的陶瓷靶材片，两片相邻的陶瓷靶材片的接触面上设有形状相吻合从而能将两片相邻的陶瓷靶材片拼接在一起的拼接边；两个相邻陶瓷靶材片中的其中一个陶瓷靶材片的拼接边倒置，另一陶瓷靶材片的拼接边向上设置在向下设置的拼接边的下方，从而使所述两个相邻的陶瓷靶材片贴合在一起；所述拼接边包括第一拼接边，所述第一拼接边的形状为中心对称的倒S形，所述第一拼接边上设有相适应的凹槽和凸起。本实用新型的陶瓷靶材片采用拼接边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，有利于提高产品质量。
一种拼接陶瓷

[发明专利]一种含微量元素的大管径Ni-V旋转靶材及其制备方法-CN201910869200.3有效
发明人：吴宇宁;卿海标;周其刚 -专利权人：南京达迈科技实业有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种含微量元素的大管径Ni‑V旋转靶材及其制备方法，旋转靶材包括按质量百分比计的如下组分：C 0.01～0.05％，B 0.01～0.08％，Ti 0.001～0.006％，Mg 0.01～0.05％，V 6～8％以及余量Ni和不可避免的杂质。制备步骤依次采用真空熔炼、热锻、机加工、热挤压、酸洗处理、固溶处理、冷轧或镗孔、退火处理、机加工或绑定。本发明在Ni‑V的基础上，添加微量的元素C、B、Ti、Mg进行成分优化，降低氧、硫等含量，且能抑制裂纹的萌生，提高靶材的晶界结合力、强度，并细化晶粒，从而提高成材率；通过优选热加工工艺参数，降低了废品率。
一种微量元素大管径 ni 旋转及其制备方法

[实用新型]一种用于管筒状靶材绑定的芯轴定位式挤压裁切治具-CN201922431231.9有效
发明人： 周其刚;侯金明 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于管筒状靶材绑定的芯轴定位式挤压裁切治具，包括绑定治具体、位于所述绑定治具体上方的裁切体，所述裁切体的底端通过铰接座与所述绑定治具体铰接连接；所述绑定治具体的中心固定设置有对称布设的仿形架，所述仿形架的内部配合设置有向外延伸的绑定护箍，所述绑定护箍的内部设置有管筒状靶材，所述管筒状靶材的内部配合嵌套设置有辅助定位用的芯轴；所述裁切体的内部设置有挤压座、位于所述挤压座下方的裁切座，所述裁切座的底端固定设置有左右呈对称分布的裁切刀，所述裁切刀配合设置于所述绑定护箍的侧部上方。本实用新型设计用于管筒状靶材绑定的芯轴定位式挤压裁切治具，解决了管筒状靶材的裁切与绑定于一体的技术需求。
一种用于管筒状靶材绑定定位挤压裁切治具

[实用新型]一种用于管状靶材的对称渐进式绑定治具-CN201922433551.8有效
发明人： 周其刚;李宪民 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B65B13/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于管状靶材的对称渐进式绑定治具，包括平行布设的外载体架、内载体架，所述外载体架的顶端通过装配叉接件与所述内载体架的顶端固定连接，所述外载体架的底端通过连接架与所述内载体架的底端固定连接，所述外载体架与所述内载体架的内部设置有导引组件，所述导引组件的内部容纳设置有管状靶材，所述管状靶材的外周面设置有绑定套。本实用新型从整体上解决了现有的管状靶材在加工成型以后，需要进行包装绑定成产品后进行运输，防止在管状靶材未使用之前被损坏或者刮伤，设计一种用于管状靶材的对称渐进式绑定治具，以解决对管状靶材的绑定辅助包装的技术问题。
一种用于管状对称渐进绑定

[实用新型]一种异形靶材的加工夹具-CN201922377463.0有效
发明人： 周其刚 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种异形靶材的加工夹具，包括伺服电机、旋转杆、夹持装置和旋转座，所述旋转杆转动连接在两侧的所述旋转座之间，且旋转杆的一端贯穿其中一个所述旋转座并和所述伺服电机的输出轴相连接；两侧的所述旋转座之间的所述旋转杆的外周通过螺钉连接有套管，所述夹持装置和所述套管相连接，所述伺服电机工作带动所述夹持装置旋转，所述夹持装置用于夹持靶材；本实用新型的加工夹具具有夹持装置和旋转杆以及和旋转杆连接的伺服电机，使用时将异形靶材安装在夹持装置上，通过伺服电机控制夹持装置转动，使异形靶材转动，将异形靶材旋转至需要加工的角度，便于异形靶材的加工，提高了生产效率。
一种异形加工夹具

[实用新型]一种陶瓷靶材的铸造模具-CN201922398763.7有效
发明人： 周其刚;侯金明 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B28B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种陶瓷靶材的铸造模具，底座上设有下模、上模，下模固定于底座的顶端中间位置，下模的内部开设有下模腔，下模和下模腔之间设有顶出机构，上模密封连接于下模的上表面，上模的内部开设有上模腔，上模的顶端对称设有次浇筑管，次浇筑管的底端与上模腔连通，次浇筑管的顶端通过分流管与主浇注管连通，上模顶端的两侧位置设有液压缸，下模和上模的一侧分别设有进液口和出液口，进液口和出液口之间通过冷却液管连通，冷却液管分别设于下模的上模的内部。本实用新型通过将传统的单一浇筑道改为两个次浇注管并向该模具内部浇筑原料，缩短了浇注缩孔深度，提高了铸锭成材率，调节螺栓驱动滑杆位移，便于操作人员在靶材铸造成型后取件。
一种陶瓷铸造模具

[实用新型]一种旋转靶材矫直用辅助装置-CN201922365617.4有效
发明人： 周其刚 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B21D3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转靶材矫直用辅助装置，包括工作平台，工作平台上设置有两个平行设置的轨道，轨道上滑动设置有支撑架，支撑架上开设有用于支撑旋转靶材的凹槽，支撑架的左右两侧分别设置有位于两个轨道上的一对滑座，滑座上连有导向杆的下端，两个导向杆下部穿过连板的两端，两个导向杆上部穿过轴承座的两端，导向杆上位于轴承座和连板之间套设有弹簧，导向杆的上端设置有止滑部，轴承座上部内设置有两个在同一水平线的两个滚动轴承，两个滚动轴承与旋转靶材的下面接触。本实用新型提供的一种旋转靶材矫直用辅助装置，结构简单、操作方便，能够方便地对旋转靶材位置调节，方便冲压矫直。
一种旋转矫直辅助装置

[实用新型]一种用于线切割机床的夹具-CN201922380753.0有效
发明人： 周其刚;侯金明;陈玲玲 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于线切割机床的夹具，包括防转装置、旋转杆、夹持装置和旋转座，所述旋转杆转动连接在两侧的所述旋转座之间，且旋转杆的一端贯穿其中一个所述旋转座并和所述防转装置相连接；所述夹持装置连接在两侧的所述旋转杆之间，所述夹持装置包括夹持底板、第一夹持装置和第二夹持装置，所述第一夹持装置和所述第二夹持装置均可拆卸连接在所述夹持底板的顶面，所述第一夹持装置和所述第二夹持装置用于夹持工件；本实用新型提供的夹具，保证了对异形靶材的夹持效果，且第二夹持装置的设计便于金属丝电极对异形靶的切割。
一种用于切割机床夹具

[实用新型]一种用于固定薄板靶材的夹具-CN201922398762.2有效
发明人： 周其刚;黄家荣;侯金明 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于固定薄板靶材的夹具，涉及夹具技术领域，包括夹具台、手动批士、废屑盒、X轴位移驱动机构、Y轴位移驱动机构，手动批士通过固定支架设于夹具台上，用于夹持固定薄板靶材，废屑盒设于固定支架上，并位于手动批士的下方，X轴位移驱动机构设于夹具台上，用于驱动固定支架进行水平方向的运动，Y轴位移驱动机构设于夹具台上，用于驱动固定支架进行竖直方向的运动，本实用新型通过将薄板靶材固定在手动批士上，通过手动批士可以根据不同规格的薄板靶材调节夹持空间，同时X轴位移驱动机构、Y轴位移驱动机构可以根据薄板靶材需要切割的不同部位带动手动批士进行水平方向以及竖直方向的移动，以配合切割刀进行切割。
一种用于固定薄板夹具

[实用新型]一种拼接型金属靶材-CN201922398725.1有效
发明人： 周其刚;戴慧敏;李宪民 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拼接型金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个相同的L型边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的L型边正放，另一金属靶材片的L型边倒扣在正放的金属靶材片的L型边上。优点：本实用新型的金属靶材采用L型拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过凹槽和凸起的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。
一种拼接金属

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