[发明专利]一种含微量元素的大管径Ni-V旋转靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910869200.3 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110468382B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 吴宇宁;卿海标;周其刚 | 申请（专利权）人： | 南京达迈科技实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C1/02;C22C19/03;C22F1/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211102 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含微量元素的大管径Ni‑V旋转靶材及其制备方法，旋转靶材包括按质量百分比计的如下组分：C 0.01～0.05％，B 0.01～0.08％，Ti 0.001～0.006％，Mg 0.01～0.05％，V 6～8％以及余量Ni和不可避免的杂质。制备步骤依次采用真空熔炼、热锻、机加工、热挤压、酸洗处理、固溶处理、冷轧或镗孔、退火处理、机加工或绑定。本发明在Ni‑V的基础上，添加微量的元素C、B、Ti、Mg进行成分优化，降低氧、硫等含量，且能抑制裂纹的萌生，提高靶材的晶界结合力、强度，并细化晶粒，从而提高成材率；通过优选热加工工艺参数，降低了废品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微量元素 大管径 ni 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种含微量元素的大管径Ni-V旋转靶材，其特征在于包括按质量百分比计的如下组分：C 0.01～0.05％，B 0.01～0.08％，Ti 0.001～0.006％，Mg 0.01～0.05％，V 6～8％以及余量Ni和不可避免的杂质。/n
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