专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]静电卡盘装置-CN201580055847.2有效
  • 伊藤智海;三浦幸夫 - 住友大阪水泥股份有限公司
  • 2015-10-15 - 2020-07-14 - H01L21/683
  • 本发明的静电卡盘装置(80)依次具备以一个主面作为载置板状试样的载置面并且内置有静电吸附用内部电极的静电卡盘部(2)、第一胶粘层(4)、片材(6)、第二胶粘层(8)和将静电卡盘部(2)调节至期望的温度的温度调节用基部(10),第一胶粘层(4)包含层厚为1nm~500nm的接合层(14)和厚度为2μm~30μm的有机硅胶粘剂层(24),第二胶粘层(8)包含层厚为1nm~500nm的接合层(18)和厚度为2μm~30μm的有机硅胶粘剂层(28)。
  • 静电卡盘装置

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