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[实用新型]一种高压容器热偶引线的穿墙密封装置-CN202123360910.5有效
发明人： 乔印彬;陈政委;赵德刚 -专利权人：北京铭镓半导体有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： F16J15/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种高压容器热偶引线的穿墙密封装置，其属于热电偶引线密封技术领域，该穿墙密封装置用于安装在高压容器的炉壁上开设的沉头孔内，沉头孔包括朝向高压容器内部的测量口、朝向高压容器外部的安装口以及抵接面，测量口向安装口所在炉壁表面上的投影完全落入安装口内，其包括密封件和固定件；密封件与抵接面抵接，密封件与沉头孔的内壁贴合，密封件上开设有通孔，引线通过通孔贯穿密封件且与通孔的内壁贴合；固定件与密封件朝向安装口的侧壁抵接，固定件与沉头孔的内壁可拆卸连接。本申请具有便于更换热电偶的引线的效果。
一种高压容器引线穿墙密封装置

[实用新型]一种带有隔热圈的单晶生长用石英管-CN202122949091.1有效
发明人： 乔印彬;柯尊斌;王卿伟 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有隔热圈的单晶生长用石英管，包括隔热圈、石英管本体、石英帽、抽气接口和O型圈；隔热圈包括支撑圈和防护筒；防护筒设在支撑圈一侧，支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔，支撑圈和防护筒均由陶瓷纤维材料制备；石英管一端为敞口结构，石英帽位于石英管敞口一端内侧；隔热圈的支撑圈活动套在石英管敞口一端外侧，防护筒指向石英管敞口一端；抽气接口包括连接盖和设在连接盖上的抽气管，连接盖活动盖设在石英管敞口一端端部，O型圈密封在连接盖的侧壁与石英管侧壁之间，连接盖的侧壁位于隔热圈的防护筒与石英管侧壁之间。上述装置有效避免了O型密封圈的烧损；提高了安全性；隔热圈可以反复使用，节省了成本。
一种带有隔热生长石英管

[实用新型]一种磷化铟单晶生长的恒压恒流保护气装置-CN202120619380.2有效
发明人：柯尊斌;乔印彬;罗福敏;王卿伟 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷化铟单晶生长的恒压恒流保护气装置，包括VGF生长炉、气体储罐、高压气泵和气体加热套；VGF生长炉包括高压腔，高压腔的顶部设有上盖、底部设有下盖，高压腔内侧设有筒状的加热器，上盖上设有与加热器相通的出气管路，下盖上设有与加热器相通的进气管路；上盖上的出气管路通过第一管路与气体储罐的进气口连通，气体储罐的出气口通过第二管路与高压气泵的进气口连通，高压气泵的出气口通过第三管路与气体加热套的进气口连通，气体加热套的出气口通过第四管路与下盖上的进气管路连通。上述装置，可实现氮气热气流的稳定单向流动，避免了炉内气体对流，大大提高了成晶率，达到45.3％以上。
一种磷化铟单晶生长恒压恒流保护装置

[实用新型]一种VGF单晶生长中石英管进出炉装置-CN202120513552.8有效
发明人： 乔印彬;王卿伟 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种VGF单晶生长中石英管进出炉装置，包括气缸、推拉杆、橡胶活塞和橡胶吸盘；气缸为直筒结构，气缸内侧壁为光滑结构，橡胶活塞位于气缸内侧、并将气缸内的横截面完全封堵，推拉杆一端与气缸内侧的橡胶活塞连接、另一端从气缸顶部伸出，在推拉杆的带动下、橡胶活塞可在气缸内侧上下移动；橡胶吸盘为开口向下的喇叭口状，橡胶吸盘顶部对接在气缸底部、且橡胶吸盘内侧与气缸内侧相通。上述装置，采用真空吸附的原理，实现了石英管轻松稳定的移动，且使橡胶吸盘吸紧石英管圆头端，不仅能确保吸附的稳定性，且避开了对石英管口的直接提拉；安全性高，稳定性好；装置结构简单、操作简便，节省了劳动力，提高了工作效率。
一种 vgf 生长石英管进出装置

[实用新型]一种石英管进出炉装置-CN202022621215.9有效
发明人： 乔印彬;王卿伟 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英管进出炉装置，包括第一夹持件和第二夹持件；第一夹持件和第二夹持件结构相同、大小相等、且相互对称；第一夹持件从上到下包括依次相接的第一握持部、第一转动连接部和第一夹持部；第二夹持件从上到下包括依次相接的第二握持部、第二转动连接部和第二夹持部；第一转动连接部和第二转动连接部交叉、并通过转轴转动连接在一起；第一夹持部和第二夹持部均为弧形板结构，第一夹持部和第二夹持部相向设置，第一夹持部的轴向和第二夹持部的轴向相互平行，第一夹持部和第二夹持部的横截面均为圆弧形；第一夹持部和第二夹持部的外侧均设有第一弹性层。上述装置操作方便，大大提高了工作效率和安全性。
一种石英管进出装置

[实用新型]一种半导体原料的腐蚀清洗装置-CN202022129504.7有效
发明人：陆海凤;柯尊斌;王卿伟;乔印彬 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体原料的腐蚀清洗装置，包括清洗槽、溶剂储槽、腐蚀液储槽、干燥气储罐、去离子水储槽和收集槽；清洗槽的顶部设有排气口；溶剂储槽的底部通过第一管路与清洗槽侧壁顶部连通；腐蚀液储槽侧壁底部通过第二管路与清洗槽侧壁底部连通，第二管路上设有四氟管道泵；腐蚀液储槽的顶部通过第三管路与清洗槽侧壁的顶部连通；清洗槽的底部设有第四管路；干燥气储罐通过第五管路与第四管路连通；第四管路分支为第六管路和第七管路，第六管路与去离子水储槽连通；第七管路通向收集槽；清洗槽侧壁的顶部通过第八管路通向收集槽；各管路上根据需要设置电磁阀。上述装置避免了物料在清洗过程中的运转，降低了成本，提高了效率，提高了清洁度。
一种半导体原料腐蚀清洗装置

[发明专利]一种磷化铟单晶生长的恒压恒流保护气装置及磷化铟单晶生长的方法-CN202110327313.8在审
发明人：柯尊斌;乔印彬;罗福敏;王卿伟 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷化铟单晶生长的恒压恒流保护气装置及磷化铟单晶生长的方法，恒压恒流保护气装置，包括VGF生长炉、气体储罐、高压气泵和气体加热套；VGF生长炉包括高压腔，高压腔的顶部设有上盖、底部设有下盖，高压腔内侧设有筒状的加热器，上盖上设有与加热器相通的出气管路，下盖上设有与加热器相通的进气管路；上盖上的出气管路通过第一管路与气体储罐的进气口连通，气体储罐的出气口通过第二管路与高压气泵的进气口连通，高压气泵的出气口通过第三管路与气体加热套的进气口连通，气体加热套的出气口通过第四管路与下盖上的进气管路连通。上述装置，可实现氮气热气流的稳定单向流动，避免了炉内气体对流，大大提高了成晶率，达到45.3％以上。
一种磷化铟单晶生长恒压恒流保护装置方法

[实用新型]一种氮化硼坩埚氧化装置及氮化硼坩埚的安装结构-CN202021826800.6有效
发明人： 乔印彬 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氮化硼坩埚氧化装置，包括加热套、加热管、惰性气体进管、管塞、氧气进管、氧气出管和支架；加热套安装在支架上；加热管水平地设置在加热套内；加热管一端为封端结构、另一端为敞口结构，管塞活动设置在加热管敞口一端内侧、且管塞与加热管内侧壁之间留有间隙，加热管内底部设有坩埚支撑座；惰性气体进管的进气端位于加热管外、出气端从加热管的封端一端伸入加热管内，氧气进管的进气端位于加热管外、出气端穿过管塞伸入加热管内，氧气出管的出气端位于加热管外、进气端从加热管的封端一端伸入加热管内。上述装置可以有效氧化氮化硼坩埚内壁，同时有效防止氮化硼坩埚外壁被氧化，延长了坩埚的使用寿命，节省了成本，方便了脱模。
一种氮化坩埚氧化装置安装结构

[实用新型]一种石英管自动封管装置-CN202021503137.6有效
发明人： 乔印彬 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： C03B23/207 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英管自动封管装置，包括依次相接的真空抽取段、焊接段和支撑段；焊接段包括焊枪、环形轨道、安装底座、轨道滑块、定位底板、固定卡套和驱动装置；安装底座包括安装环和座体，环形轨道安装在安装环的正侧；轨道滑块滑动连接在环形轨道上，驱动装置驱动轨道滑块在环形轨道上滑动；固定卡套通过定位底板安装在轨道滑块上，焊枪安装在固定卡套上、且焊枪的枪头指向环形轨道的圆心；支撑段包括支撑架，支撑架上设有加热套，加热套内侧设有加热腔，加热套靠近焊接段一侧设有插入孔；真空抽取段包括真空泵和连接管，连接管一端与真空泵连通、另一端穿过环形轨道和安装底座与加热套上的插入孔对接连通。上述装置实现了石英管的自动封管。
一种石英管自动装置

[实用新型]一种高温密封石英管内压力检测装置及包含它的磷化铟多晶生产装置-CN202021237470.7有效
发明人： 乔印彬 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高温密封石英管内压力检测装置及包含它的磷化铟多晶生产装置，高温密封石英管内压力检测装置，包括石英管、内螺纹连接管、弹片压力变送器和密封垫片；石英管一端为高温端、另一端为低温端；内螺纹连接管一端与石英管的低温端对接连通、另一端外围设有第一法兰；弹片压力变送器一端为接线端、另一端设有弹片，弹片压力变送器的侧壁上设有第二法兰；弹片压力变送的弹片从螺纹连接管伸入石英管内、且弹片压力变送的侧壁与螺纹连接管之间螺纹连接，密封垫片密封在第一法兰和第二法兰之间。上述装置可根据检测到的管内压力实时调整石英管外压力，保证合成中石英管内外压力平衡，有效避免“炸管”风险；提高了合成率和产量，提高了生产效率。
一种高温密封石英管压力检测装置包含磷化多晶生产

[实用新型]一种磷化铟合成装置的复合热屏蔽结构-CN201721173942.5有效
发明人：范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁 -专利权人：南京金美镓业有限公司
申请日： 2017-09-13 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C01B25/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磷化铟合成装置的复合热屏蔽结构，管式电炉安装于高压炉筒中，真空密封的石英反应管安装于管式电炉的炉腔中，在管式电炉两端与高压炉筒之间填塞隔热材料，管式电炉的多段独立温控的炉芯之间设有绝热阻隔区，管式电炉的炉腔两端填塞隔热材料，石英反应管内设有多重防热辐射屏。解决了石英反应管内高温端对低温端的干扰，使红磷产生的磷蒸汽和压力得到稳定控制，保证了磷化铟顺利合成。
管式电炉石英反应管磷化铟隔热材料合成装置屏蔽结构复合热高压炉炉腔填塞本实用新型防热辐射屏绝热独立温控稳定控制真空密封高温端磷蒸汽多段红磷炉芯阻隔合成保证

[实用新型]一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构-CN201721173897.3有效
发明人： 乔印彬 -专利权人：南京金美镓业有限公司
申请日： 2017-09-13 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多根漆包线穿越高气压电炉盖的密封结构，高气压电炉盖设有通孔，通孔中安装有同轴不锈钢套筒，套筒外壁与通孔内壁紧密配合，多根漆包线从套筒中穿过，套筒内腔及多根漆包线之间使用树脂密封胶密封。漆包线被树脂密封胶包覆的部分为已经去掉漆膜的裸线，避免了在高温高压条件下，漆膜与裸线之间出现微小缝隙导致的漏气。
一种漆包线穿越气压电炉密封结构

[发明专利]一种生产磷化铟的高压炉压力控制方法-CN201710819823.0在审
发明人：范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁 -专利权人：南京金美镓业有限公司
申请日： 2017-09-13 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： C01B25/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产磷化铟的高压炉压力控制方法，在红磷温度被加热至565℃过程中，高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力减少2atm‑4atm；磷化铟合成结束，定向结晶阶段，高压炉压力保持在27.5atm±1atm范围内；在磷化铟全部结晶凝固后，再将红磷温度逐步稳定的降温至400℃过程中，高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力增加13atm‑15atm。本发明从分析压力变化规律入手，调节高压炉压力解决“炸管”问题。
一种生产磷化高压压力控制方法

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