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[发明专利]扫频电源及其输出功率的控制方法、半导体工艺设备-CN202110360248.9有效
发明人：陈虹;李光健;周航;乔世波 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G05F1/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种扫频电源及其输出功率的控制方法、半导体工艺设备，扫频电源用于输出频率可调的射频信号，其中，扫频电源的控制方法包括：获取扫频电源的输出频率的设定值以及扫频电源的控制电压的设定值，控制电压用于控制扫频电源的输出功率；确定与控制电压的设定值所对应的输出功率的设定值；根据输出功率的设定值和输出频率的设定值，以及预先建立的映射关系表，确定出与输出功率的设定值和输出频率的设定值所对应的第一校准系数；根据第一校准系数对控制电压的设定值进行校准，获得控制电压的校准值，以使扫频电源根据控制电压的校准值输出的射频信号的输出功率的实际值达到输出功率的设定值。本发明可以提高扫频电源的精度。
电源及其输出功率控制方法半导体工艺设备

[发明专利]一种射频电源-CN202210498880.4在审
发明人：贾文华;李加波;乔世波 -专利权人：西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H03F1/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种射频电源，应用于半导体装备技术领域，射频电源包括主控模块、信号发生器、检测模块和自动增益控制模块，自动增益控制模块包括反馈控制电路、直流电源电路、功率放大电路。主控模块分别向反馈控制电路和信号发生器输入功率设定值和频率设定值；信号发生器向功率放大电路输入频率控制信号；检测模块向反馈控制电路输入前向功率值；反馈控制电路向直流电源电路输出直流电压控制信号；直流电源电路向功率放大电路输出供电电压；功率放大电路对频率控制信号进行放大，输出射频信号。该射频电源可以调节反馈控制电路的积分时间与设定功率值匹配，解决射频电源工作过程中由于设定功率值与积分时间不匹配导致的过激或响应较慢的问题。
一种射频电源

[发明专利]射频电源的校准装置及方法-CN202210236844.0在审
发明人： 乔世波;陈虹;贾文华 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01R35/04 文献下载
摘要：本申请公开了射频电源的校准装置及方法，用以解决射频电源中功率测量电路的测量精度低的问题。该装置包括射频功率测量电路、控制器、电压补偿器和参数调节器；射频功率测量电路包括依次连接的测量电路、乘法器和运放器；控制器分别与电压补偿器和参数调节器连接，用于控制电压补偿器输出电压补偿值以及控制参数调节器的参数值；电压补偿器与乘法器连接，用于向乘法器提供电压补偿值；参数调节器连接至运放器，用于通过调整参数值校准运放器的输出功率值。该装置减小了测量电路中由乘法器和集成运放器的偏置电压所带来的测量误差，且实现了对射频功率测量电路输出值的实时动态校准效果，提高了射频电源输出功率的精度。
射频电源校准装置方法

[发明专利]一种射频电源的功率采集电路及方法-CN202111556694.3在审
发明人：陈虹;周航;李加波;乔世波;李光健 -专利权人：西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H02M7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法，所述功率采集电路包括：定向耦合器，用于采集射频电源的第一输出电压；DAC转换模块，用于根据输入的数字量，输出相应的第二输出电压；比较器模块，用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向耦合器的所述第一输出电压，并根据比较结果输出比较电压；控制器，用于根据比较器模块的所述比较电压，调整输入至所述DAC转换模块的数字量，以及根据满足预设条件时输出的目标数字量，确定射频电源的输出功率。本发明使用DAC转换模块代替了ADC转换模块和乘法器，降低了射频电源制造成本，降低了测量的系统误差，提高了功率测量的精度。
一种射频电源功率采集电路方法

[发明专利]射频电源及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备-CN202110472890.6在审
发明人： 乔世波;李光健;陈虹 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种射频电源及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域。其中，射频电源包括：输出模块，用于生成射频信号；采集模块，用于采集所述射频信号的反射功率和前向功率；控制模块，用于根据所述射频信号的反射功率与前向功率之间的比值，调整所述输出模块所生成的所述射频信号的输出频率，以使输出频率调整后的射频信号的反射功率小于预设阈值。本发明的射频电源的阻抗匹配的响应速度快、控制精度高，大大提高了阻抗匹配的效率。
射频电源及其阻抗匹配方法半导体工艺设备

[发明专利]一种匹配器电机自动控制电路-CN201810595449.5有效
发明人：高娜娜;李卫泽;薛年喜;乔世波;陈虹 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-06-11 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： H02P27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种匹配器电机自动控制电路，包括命令信号输入端，所述命令信号输入端连接有指令处理电路，所述指令处理电路包括电阻和电容，指令处理电路连接有放大电路，放大电路连接有运算放大器的正输入端；运算放大器的输出端连接有矩形波发生芯片，矩形波发生芯片上包括两个输出口，一个输出口向电机驱动电路输出控制信号，另一个输出口连接有负反馈电路，所述负反馈电路与运算放大器的负输入端连接；运算放大器的正输入端和输出端之间接有电容。
一种配器电机自动控制电路

[发明专利]一种微型大功率陶瓷基板滤波器-CN201711304526.9有效
发明人：周航;赵亮;李光健;乔世波;高娜娜 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H03H9/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型大功率陶瓷基板滤波器，包括信号输入端口IN、信号输出端口OUT、接地端GND，信号输入端口IN连接三阶低通LC滤波电路A、二阶低通LC滤波电路B；三阶低通LC滤波电路A包括螺旋电感L1、电容C1、电容C2，所述二阶低通LC滤波电路B包括螺旋电感L2、电容C3；螺旋电感L1、螺旋电感L2印制在矩形的氧化铝陶瓷基板上，所述氧化铝陶瓷基板外采用聚砜外壳封装。本发明中元器件的布局设计为严格对称设计，可以有效减少元器件之间的干扰；封装尺寸为92mm*78mm*10mm，体积小于传统滤波设备的十分之一，可以安装到射频电源内部，并且可以直接安装到水冷板上。
一种微型大功率陶瓷滤波器

[实用新型]一种SOT-227封装MOS管开启电压辅助测量工具-CN201821903288.3有效
发明人：陈虹;王敬杨;乔世波;周航 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种SOT‑227封装MOS管开启电压辅助测量工具，包括手柄，手柄末端设有盖子，盖子与手柄一体成型，盖子底部设有正方形的凹槽，凹槽底部设有呈田字形分布的第一触点、第二触点、第三触点和第四触点，凹槽侧壁设有第一穿线孔、第二穿线孔和第三穿线孔，第一穿线孔内设有与第一触点连接的第一导线，第二穿线孔内穿有与第二触点连接的第二导线，第三穿线孔内穿有与第三触点连接的第三导线。本实用新型的盖子扣在SOT‑227封装MOS管上端面，且第一触点、第二触点、第三触点、第四触点分别对准第一弹簧片、第二弹簧片、第三弹簧片、第四弹簧片，结合测量仪表，能够实现SOT‑227封装MOS管开启电压的快速准确测量。
触点穿线孔弹簧片盖子触点连接封装本实用新型手柄开启电压辅助测量工具凹槽侧壁结合测量手柄末端一体成型准确测量上端面田字形对准仪表

[实用新型]一种用于测试不同规格芯片的测试装置-CN201822130319.2有效
发明人： 乔世波 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于测试不同规格芯片的测试装置，包括PCB板，PCB板上设有±15V电源插座、±5V电源插座、48针双排插针、红色48针拨码开关、蓝色48针拨码开关、芯片测试座和芯片锁紧座。48针双排插针的各插针、红色48针拨码开关和蓝色48针拨码开关的右侧各针脚、芯片测试座的各管脚、芯片锁紧座的各管脚以顶对齐的方式通过印制线一一并联；红色48针拨码开关和蓝色48针拨码开关的左侧针脚通过印制线全部并联后接到+5V电源管脚。本实用新型提供一种低成本、可测试多种芯片的芯片测试装置，相对于每测一种芯片就搭建一种对应的测试电路，降低了成本，提高装置利用率，提高测试效率。
拨码开关芯片管脚针脚本实用新型芯片测试座测试装置规格芯片双排插针锁紧座印制线并联芯片测试装置测试测试电路测试效率电源插座提高装置对齐低成本可测试插针

[发明专利]一种射频电源的带屏蔽壳的采样装置-CN201711403365.9在审
发明人： 乔世波;周航;陈虹;薛年喜 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G01R31/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频电源的带屏蔽壳的采样装置，用于13.56MHz射频电源，包括PCB板，所述PCB板正面安装有滤波电路、乘法器，所述滤波电路、乘法器外加装金属屏蔽壳，PCB板背面安装有定向耦合器，定向耦合器的耦合输出端与滤波电路对齐。本发明将滤波电路和乘法器安装在PCB板正面，并在其上加装金属屏蔽壳，消除外界信号对乘法器的干扰。将定向耦合器安装在PCB板背面，使定向耦合器的耦合输出线直接穿过PCB板送到滤波电路输入端，缩短采样信号线长度，减小外界干扰。
滤波电路定向耦合器乘法器射频电源金属屏蔽壳采样装置屏蔽壳采样信号线耦合输出端外界干扰外界信号耦合输出对齐输入端加装减小穿过

[发明专利]一种MOS管开启电压测量装置-CN201611158840.6有效
发明人：李光健;周航;耿束建;乔世波 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种MOS管开启电压测量装置，包括被测MOS管回路、测量回路、显示回路，被测MOS管回路包括被测MOS管、第一测试电阻、12V电源、保护二极管；测量回路包括电流感应放大器、第一和第二测试电阻、可调测试电阻、仪表放大器、第四测试电阻；显示回路包括5V电源、发光二极管、测试电阻、三极管、D触发器、按键开关、模拟开关、显示屏。本发明在测量MOS管开启电压时测量精度高，速度快，能够有效减少大批量MOS管检测的时间，提高效率，并且制作成本低，体积小，可以满足多种封装MOS管的测量，市场前景广阔。
一种 mos 开启电压测量装置

[实用新型]一种射频电源的带屏蔽壳的采样装置-CN201721825757.X有效
发明人： 乔世波;周航;陈虹;薛年喜 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： G01R31/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种射频电源的带屏蔽壳的采样装置，用于13.56MHz射频电源，包括PCB板，所述PCB板正面安装有滤波电路、乘法器，所述滤波电路、乘法器外加装金属屏蔽壳，PCB板背面安装有定向耦合器，定向耦合器的耦合输出端与滤波电路对齐。本实用新型将滤波电路和乘法器安装在PCB板正面，并在其上加装金属屏蔽壳，消除外界信号对乘法器的干扰。将定向耦合器安装在PCB板背面，使定向耦合器的耦合输出线直接穿过PCB板送到滤波电路输入端，缩短采样信号线长度，减小外界干扰。
滤波电路定向耦合器乘法器射频电源本实用新型金属屏蔽壳采样装置屏蔽壳采样信号线耦合输出端外界干扰外界信号耦合输出对齐输入端加装减小穿过

[发明专利]一种射频电源动态检测系统及工作方法-CN201611064177.3在审
发明人：陈虹;李光健;王国庆;乔世波 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： G01R31/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频电源动态检测系统，包括检测装置，所述检测装置包括用于数据分析、存储的微处理器，用于连接射频电源的RS232标准接口，用于执行串口中断程序的中断器，用于执行定时发送程序的定时器，DA转换器；所述RS232标准接口通过RS232串口线与射频电源连接；所述检测装置外接电源；所述检测装置与总控系统连接。本发明提供的系统实时监测、管理和分析电源的动态数据，提早发现电源的内在故障和不良苗头，改变维护方式为主动干预，及时更换即将损坏的设备，提高维护的工作效率，降低产品的废品率。
一种射频电源动态检测系统工作方法

[实用新型]一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器-CN201520948040.9有效
发明人：李光健;乔世波 -专利权人：北京北广科技股份有限公司
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： H03H7/09 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器，包括信号输入端口,信号输入端口依次串联有3阶高通LC滤波电路，3阶低通LC滤波电路，2阶低通LC滤波电路和信号输出端；信号输入端口的一端和信号输出端的一端均接地。本实用新型体积小、功率大、选频性能优异、带外抑制强、插入损耗和回波损耗小、可用于专用场合。
一种用于半导体刻蚀带通滤波器

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