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[发明专利]衬底处理方法-CN202110980176.8在审
发明人：堀越章;上野美佳;竹市弥生;柳田隆明;中西健二;高辻茂;木村贵弘 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理方法。本发明的课题在于有效率地去除衬底上表面的抗蚀剂。本发明的衬底处理方法具备如下工序：对衬底的上表面供给处理液；使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第1厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；及使形成在衬底上表面的至少一部分上的处理液的液膜厚度为第2厚度，并且在大气压下对液膜进行等离子体处理；且第1厚度小于第2厚度。
衬底处理方法

[发明专利]剥离装置和剥离方法-CN201710573757.3有效
发明人：梶野一树;上野美佳;增市干雄;上野博之;正司和大 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。
剥离装置方法

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201610539389.6有效
发明人：川越理史;增市干雄;上野博之;正司和大;芝藤弥生;上野美佳 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： B29C59/02 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成装置及图案形成方法。图案形成装置具有：第一保持单元(61)，对在一面担载有图案形成材料(PT)的橡皮布(BL)以使图案形成材料的担载面朝上的水平姿势进行支撑；第二保持单元(41)，将对图案形成材料进行图案成形的版(PP)或要被转印图案的基板(SB)作为处理对象物，以使处理对象物与第一保持单元(61)保持的橡皮布(BL)的上表面接近相向的方式，保持处理对象物；托起单元(641)，从橡皮布(BL)的下表面侧局部托起橡皮布(BL)中央部的有效区域，使有效区域与被第二保持单元(41)保持的处理对象物抵接，托起单元(641)沿着橡皮布(BL)的下表面移动使橡皮布(BL)的托起位置变化。
图案形成装置方法

[发明专利]剥离装置-CN201610197377.X有效
发明人： 上野美佳;芝藤弥生;柳田隆明;正司和大 -专利权人：株式会社思可林集团
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： B32B38/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种使相互贴合的两片板状体剥离的剥离装置。在保持器件(30)的保持面(310)设置有开口部(314)，相对于开口部(314)配设有支撑第1板状体的支撑部件。在轴向上隔开而设置有多个限制剥离的推进的辊组件(40)。各个辊组件(40)所形成的抵接夹持部在轴向上相互隔开，抵接夹持部的剥离方向上的后端部的位置在剥离方向上相同，保持面(310)的开口部(314)设置在与在轴向上相邻的两个抵接夹持部间的间隙部对应的位置。
剥离装置

[发明专利]剥离装置-CN201610261205.4有效
发明人：川越理史;正司和大;芝藤弥生;增市干雄;上野博之;上野美佳;谷口和隆 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： B32B38/10 文献下载
摘要：本发明的剥离装置，具有：第一保持单元(310)，其用于保持第一板状体(BL)；剥离开始单元(321)，其通过使第一板状体(BL)的一端部向与第二板状体(SB)相反的方向弯曲成柱面状，将第二板状体(SB)中的与第一板状体(BL)紧贴的紧贴区域的局部转变为第一板状体(BL)被剥离的剥离区域，在紧贴区域和剥离区域之间的边界处形成一条且直线状边界线；第二保持单元(122)，其用于保持形成有剥离区域的第二板状体(SB)；分离单元，其使第一保持单元(310)和第二保持单元(122)之间的间隔增大，来使第一板状体(BL)和第二板状体(SB)分离。
剥离装置

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201410060525.4有效
发明人：川越理史;増市干雄;上野博之;上野美佳;谷口和隆;正司和大;芝藤弥生;田中哲夫;陶山武史 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成装置及图案形成方法、以及对准装置及对准方法。该图案形成装置中，使承载图案的承载体(BL)与被转印图案的被转印体(SB)对向配置。基于拍摄承载体(BL)的外缘的至少一部分而得的结果，使第一保持设备(61)移动而将承载体(BL)定位在第一目标位置。基于拍摄被转印体(SB)的外缘中的至少一部分而得的结果，使第二保持设备(41)移动而将被转印体(SB)定位在规定的第二目标位置。拍摄形成在承载体(BL)的第一对准标记及形成在被转印体的第二对准标记，基于其拍摄结果使第一保持设备(61)及第二保持设备(41)中的至少一者移动，对承载体(BL)与被转印体(SB)进行位置对准。
图案形成装置方法以及对准

[发明专利]对准装置及对准方法-CN201710804517.X在审
发明人：川越理史;増市干雄;上野博之;上野美佳;谷口和隆;正司和大;芝藤弥生;田中哲夫;陶山武史 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置及对准方法。该对准装置中，使承载图案的承载体(BL)与被转印图案的被转印体(SB)对向配置。基于拍摄承载体(BL)的外缘的至少一部分而得的结果，使第一保持设备(61)移动而将承载体(BL)定位在第一目标位置。基于拍摄被转印体(SB)的外缘中的至少一部分而得的结果，使第二保持设备(41)移动而将被转印体(SB)定位在规定的第二目标位置。拍摄形成在承载体(BL)的第一对准标记及形成在被转印体的第二对准标记，基于其拍摄结果使第一保持设备(61)及第二保持设备(41)中的至少一者移动，对承载体(BL)与被转印体(SB)进行位置对准。
对准装置方法

[发明专利]剥离装置-CN201410108244.1有效
发明人： 上野美佳;川越理史;增市干雄;上野博之 -专利权人：斯克林集团公司
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本发明涉及剥离装置。使升降销（361）向平面状的水平载物台部（31）的上表面突出来接受从外部搬入的工件（WK）。在由基板（SB）和橡皮布（BL）隔着图案紧贴而成的工件（WK）中的基板（SB）与橡皮布（BL）重叠且形成有有效的图案的有效区域（AR）的外侧的可抵接区域（TR）内，升降销（361）与橡皮布（BL）的下表面相抵接。通过支撑基板（SB）和橡皮布（BL）重叠的区域来抑制工件（WK）弯曲，另外，防止应力集中于有效区域（AR）内的图案的情况。
剥离装置

[发明专利]剥离方法及剥离装置-CN201510974880.7在审
发明人： 上野美佳 -专利权人：株式会社思可林集团
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： B32B38/10 文献下载
摘要：本发明关于一种剥离方法及剥离装置。本发明的保持机构通过保持第一板状体而保持密接体，且使抵接部件抵接在第二板状体。与抵接部件沿剥离方向移动连动，沿与密接体的主面平行的剥离方向排列的多个剥离机构通过依次保持第二板状体且使第二板状体向自第一板状体离开的方向移动而使两者剥离。关于各剥离机构的移动开始时序，通过事前执行抵接部件的移动，并实际测定表示该移动中的抵接部件的位置的位置资讯、与抵接部件通过与剥离机构的对向位置的时序而规定。
剥离方法装置

[发明专利]转印装置以及转印方法-CN201410119632.X有效
发明人：芝藤弥生;川越理史;增市干雄;上野博之;正司和大;上野美佳 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的转印装置以及转印方法。通过能够彼此独立升降的多个手对支撑用于担载图案的橡皮布。要被转印图案的基板吸附保持在上载物台的下表面上。一边通过转印辊推起橡皮布来使其与基板抵接，一边使转印辊在Y方向移动。在转印辊的前方侧（移动方向上的下游侧），随着转印辊的接近，手对依次下降，从而避免与转印辊发生干涉。在转印辊的后方侧（移动方向上的上游侧），手对在再次抵接于橡皮布之后，一边吸附保持橡皮布一边下降，从而使橡皮布与基板剥离。
装置以及方法

[发明专利]剥离装置以及剥离方法-CN201410108252.6有效
发明人： 上野美佳;川越理史;增市干雄;上野博之 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本发明涉及剥离装置以及剥离方法。沿着剥离进行方向即+Y方向配置多个吸附单元（51～54）。由最上游侧的第一吸附单元（51）吸附保持基板（SB）的端部来提起，并且通过使剥离辊（340）一边与基板（SB）抵接一边向剥离进行方向移动，来控制剥离的进行。在剥离辊（340）通过第二吸附单元（52）至第四吸附单元（54）的正下方位置时，使各吸附单元（52～54）下降来捕捉并提起剥离之后的基板，从而使发挥剥离主体的功能的吸附单元依次向下游侧转移。
剥离装置以及方法

[发明专利]板状被搬送物的传送方法、传送装置及图案形成装置-CN201410058248.3有效
发明人：上野博之;増市干雄;川越理史;芝藤弥生;正司和大;上野美佳 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-02-20 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： B65H5/22 文献下载
摘要：本发明提供一种板状被搬送物的传送方法、传送装置及图案形成装置。板状被搬送物的传送方法是将由第一保持器件支撑下表面周缘部而保持的板状被搬送物良好地传送至第二保持器件，第二保持器件在第一保持器件上方吸附保持板状被搬送物上表面。该方法包括：使第一吸附构件自设置在第二保持器件的第一贯穿孔下降，吸附保持板状被搬送物上表面；使第二吸附构件从与第一贯穿孔不同位置处的第二贯穿孔下降，吸附保持板状被搬送物上表面中不同的位置；使第一及第二吸附构件升起，后退至第一及第二贯穿孔内，使板状被搬送物自第一保持器件移动至第二保持器件。
板状被搬送物传送方法装置图案形成

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201410058971.1无效
发明人：正司和大;川越理史;上野博之;芝藤弥生;增市干雄;上野美佳 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本发明提供图案形成装置及图案形成方法。通过框缘状下载物台（61）吸附保持橡皮布，并且通过能够分别单独地升降的多个手部（625）支撑橡皮布的中央部的局部。使转印辊单元（64）沿着橡皮布的下表面移动来托起橡皮布的局部，从而使橡皮布抵接于橡皮布的上方所配置的版或者基板上。随着转印辊单元（64）移动，使手部（625）依次下降来向下方退避，从而避免该手部（625）与转印辊单元（64）发生干涉。
图案形成装置方法

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201410043945.1有效
发明人：川越理史;增市干雄;上野博之;正司和大;芝藤弥生;上野美佳 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： B41F7/02 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成装置及图案形成方法。图案形成装置具有：第一保持单元（61），对在一面担载有图案形成材料（PT）的橡皮布（BL）以使图案形成材料的担载面朝上的水平姿势进行支撑；第二保持单元（41），将对图案形成材料进行图案成形的版（PP）或要被转印图案的基板（SB）作为处理对象物，以使处理对象物与第一保持单元（61）保持的橡皮布（BL）的上表面接近相向的方式，保持处理对象物；托起单元（641），从橡皮布（BL）的下表面侧局部托起橡皮布（BL）中央部的有效区域，使有效区域与被第二保持单元（41）保持的处理对象物抵接，托起单元（641）沿着橡皮布（BL）的下表面移动使橡皮布（BL）的托起位置变化。
图案形成装置方法

[发明专利]剥离装置以及剥离方法-CN201410043949.X有效
发明人：川越理史;正司和大;芝藤弥生;增市干雄;上野博之;上野美佳;谷口和隆 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： B32B38/10 文献下载
摘要：本发明的剥离装置，具有：第一保持单元（310），其用于保持第一板状体（BL）；剥离开始单元（321），其通过使第一板状体（BL）的一端部向与第二板状体（SB）相反的方向弯曲成柱面状，将第二板状体（SB）中的与第一板状体（BL）紧贴的紧贴区域的局部转变为第一板状体（BL）被剥离的剥离区域，在紧贴区域和剥离区域之间的边界处形成一条且直线状边界线；第二保持单元（122），其用于保持形成有剥离区域的第二板状体（SB）；分离单元，其使第一保持单元（310）和第二保持单元（122）之间的间隔增大，来使第一板状体（BL）和第二板状体（SB）分离。
剥离装置以及方法

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