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- [发明专利]基板处理装置-CN202310285570.9在审
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根本脩平;正司和大
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株式会社斯库林集团
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2023-03-22
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2023-09-26
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H01L21/67
- 本发明在向旋转的基板供给处理液来处理基板的基板处理技术中，抑制跳回液滴，良好地处理基板。本发明具有设置为能够形成捕集从基板飞散的处理液的液滴的捕集空间，并且绕旋转轴旋转的旋转杯部。该上述旋转杯部具有：下杯，其接受从旋转机构施加的杯驱动力而绕旋转轴旋转；以及上杯，其一边通过连结于下杯而与下杯一体地绕旋转轴旋转，一边捕集在捕集空间飞散的液滴，并且，上杯具有：第一连结部位，其通过位于下杯的上方并在与下杯之间形成间隙，从而使捕集空间和排出空间连通；以及倾斜部位，其从第一连结部位朝向基板的周缘部的上方倾斜地设置，且利用与捕集空间对置的倾斜面捕集液滴。
- 处理装置
- [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN202310285810.5在审
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根本脩平;正司和大;村元僚
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株式会社斯库林集团
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2023-03-22
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2023-09-26
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H01L21/67
- 本发明提供在密闭空间中利用处理液处理基板的基板处理装置，缩短其生产节拍时间。该发明具备气氛分离机构，其具有固定在处理腔室的顶棚壁附近的上密闭部件和在上密闭部件的下方侧能够沿铅垂方向移动地设置的下密闭部件，且构成为在处理腔室内能够由下密闭部件及上密闭部件包围从被飞散防止机构包围的空间朝向处理腔室的顶棚壁的空间而形成密闭空间。而且，在铅垂方向通过使下密闭部件下降至下密闭部件的上端部与上密闭部件的下端部一致或局部地重叠的下限位置来形成密闭空间。另一方面，通过使下密闭部件上升到比下限位置靠上方的退避位置来形成用于相对于基板保持部搬入搬出基板的搬送空间。
- 处理装置方法
- [发明专利]基板处理装置-CN202310288031.0在审
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根本脩平;正司和大;村元僚
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株式会社斯库林集团
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2023-03-22
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2023-09-26
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H01L21/67
- 本发明提供向旋转的基板供给处理液来处理基板的基板处理装置，其成本低，且抑制跳回液滴，稳定地处理基板。本发明具备：基板保持部，其设置为能够一边吸附并保持基板的下表面中央部，一边绕沿铅垂方向延伸的旋转轴旋转；旋转机构，其输出用于使基板保持部旋转的旋转驱动力；处理机构，其向保持于基板保持部的基板供给处理液来处理基板；以及旋转杯部，其设置为能够包围旋转的基板的外周，并且绕旋转轴旋转，且捕集从基板飞散的处理液的液滴。旋转机构还具有将旋转驱动力的一部分作为杯驱动力传递至旋转杯部的动力传递部，通过旋转驱动力使基板保持部及旋转杯部同时进行旋转。
- 处理装置
- [发明专利]剥离装置和剥离方法-CN201710573757.3有效
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梶野一树;上野美佳;增市干雄;上野博之;正司和大
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株式会社斯库林集团
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2017-07-14
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2019-03-22
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B41F17/00
- 本发明涉及从第一板状体剥离第二板状体的剥离装置和方法。剥离装置具备：保持第一板状体的保持部；沿剥离前进方向排列的多个吸附部，吸附第二板状体的另一侧主面；剥离控制部，按照多个吸附部的排列顺序进行部分剥离使第二板状体的剥离前进，部分剥离指，通过使各吸附部向与保持部分离的分离方向移动，使第二板状体的吸附部所吸附的被吸附部位从第一板状体剥离，剥离控制部具有：能沿分离方向移动的第一可动体；使第一可动体沿分离方向移动的第一移动部；多个第一卡合构件，设置于各吸附部，通过与沿分离方向移动的第一可动体卡合，使吸附部伴随第一可动体的移动沿分离方向移动，多个第一卡合构件分别与第一可动体卡合的时机与排列顺序相同。
- 剥离装置方法
- [发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201610539389.6有效
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川越理史;增市干雄;上野博之;正司和大;芝藤弥生;上野美佳
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斯克林集团公司
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2014-01-29
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2019-01-08
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B29C59/02
- 本发明涉及图案形成装置及图案形成方法。图案形成装置具有：第一保持单元(61)，对在一面担载有图案形成材料(PT)的橡皮布(BL)以使图案形成材料的担载面朝上的水平姿势进行支撑；第二保持单元(41)，将对图案形成材料进行图案成形的版(PP)或要被转印图案的基板(SB)作为处理对象物，以使处理对象物与第一保持单元(61)保持的橡皮布(BL)的上表面接近相向的方式，保持处理对象物；托起单元(641)，从橡皮布(BL)的下表面侧局部托起橡皮布(BL)中央部的有效区域，使有效区域与被第二保持单元(41)保持的处理对象物抵接，托起单元(641)沿着橡皮布(BL)的下表面移动使橡皮布(BL)的托起位置变化。
- 图案形成装置方法
- [发明专利]转印装置及转印方法-CN201610045117.0有效
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正司和大;芝藤弥生
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株式会社思可林集团
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2016-01-22
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2018-09-14
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B41F16/00
- 本发明涉及一种转印装置及转印方法。使第1板状体(SB)与第2板状体(BL)抵接。使支撑部件(441)的上端抵接于第2板状体(BL)的下表面中比辊部件(431)最初抵接的部分靠第2板状体(BL)的中心侧的部分，而从下方支撑第2板状体(BL)，所述支撑部件(441)构成为能够相对于第2板状体(BL)的下表面分离抵接。在支撑部件(441)支撑第2板状体(BL)的状态下，辊部件(431)抵接于第2板状体(BL)而将第2板状体(BL)压抵于第1板状体(SB)，辊部件(431)一边将第2板状体(BL)压抵于第1板状体(SB)一边沿着第2板状体(BL)的下表面移动。
- 装置方法
- [发明专利]剥离装置-CN201610261205.4有效
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川越理史;正司和大;芝藤弥生;增市干雄;上野博之;上野美佳;谷口和隆
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斯克林集团公司
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2014-01-29
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2018-08-07
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B32B38/10
- 本发明的剥离装置，具有：第一保持单元(310)，其用于保持第一板状体(BL)；剥离开始单元(321)，其通过使第一板状体(BL)的一端部向与第二板状体(SB)相反的方向弯曲成柱面状，将第二板状体(SB)中的与第一板状体(BL)紧贴的紧贴区域的局部转变为第一板状体(BL)被剥离的剥离区域，在紧贴区域和剥离区域之间的边界处形成一条且直线状边界线；第二保持单元(122)，其用于保持形成有剥离区域的第二板状体(SB)；分离单元，其使第一保持单元(310)和第二保持单元(122)之间的间隔增大，来使第一板状体(BL)和第二板状体(SB)分离。
- 剥离装置
- [发明专利]转印装置及转印方法-CN201611168237.6在审
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正司和大;梶野一树;增市干雄
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株式会社斯库林集团
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2016-12-16
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2017-07-28
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B41F16/00
- 本发明提供一种转印装置及转印方法。该转印装置用辊构件进行按压来使两个板状体抵接，从而能够抑制使事先已对位的两个板状体相抵接时所产生的错位的影响。对准机构(71)安装于主机架(10)，对准载物台(36)安装在对准机构(71)上。在对准载物台(36)上经由装卸载物台(37)载置有下载物台部(3)、转印辊部(4)、辊移动驱动部(5)。保持于下载物台(31)的橡皮布(BL)和顶起橡皮布(BL)的转印辊(431)之间的位置关系不因对准调整而发生变动。因此，能够抑制随着橡皮布(BL)的弯曲量而大小发生变化的错位的影响。
- 装置方法
- [发明专利]剥离装置及剥离方法-CN201510042355.1有效
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上野博之;川越理史;柳田隆明;正司和大;增市干雄
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斯克林集团公司
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2015-01-28
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2017-01-11
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B32B38/10
- 本发明提供使相互紧贴的两片板状体良好且稳定地剥离分离的剥离装置及方法。剥离方法包括如下步骤：由上游侧吸附部将第2板状体的被吸附部位从第1板状体剥离，向剥离进展方向剥离第2板状体；在剥离进展方向的被吸附部位的下游侧，使下游侧吸附部向第2板状体中的被上游侧剥离装置剥离的剥离部位处的反紧贴面移动；在向剥离部位处的反紧贴面移动的过程中监控下游侧吸附部与第2板状体的反紧贴面的相对位置；基于与相对位置相关的位置信息调整下游侧吸附部开始吸附第2板状体的时机；在与下游侧吸附部开始吸附第2板状体同时或之后，在下游侧吸附部保持剥离部位的反紧贴面的状态，使下游侧吸附部与保持装置分离来向剥离进展方向剥离第2板状体。
- 剥离装置方法
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