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[发明专利]一种准分子激光器的温度控制系统-CN201310149256.4有效
发明人：冯泽斌;贺跃坡;王魁波;刘斌;沙鹏飞;韩晓泉;丁金滨;周翊 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-04-26 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于准分子激光器的温控系统，温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器；温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度，并把温度数据传送给所述控制器，控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器，流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节，完成对所述放电腔内气体温度的控制。本发明能自动、精确的控制激光器各部件的温度，提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。
一种准分子激光温度控制系统

[发明专利]气体激光器的种子光注入锁定放大系统和功率放大腔-CN201310054865.1无效
发明人：沙鹏飞;丁金滨;赵江山;彭卓君;宋兴亮;李慧;鲍洋;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体激光器的种子光注入锁定放大系统和功率放大腔，功率放大腔(3)包括入射端和出射端，入射端用于入射由主谐振腔(2)出射的种子光，出射端用于出射由功率放大腔(3)对种子光进行功率放大后的激光，功率放大腔(3)的入射端和出射端分别设置有第一平面镜(4)和第二平面镜(5)，该第一平面镜(4)、第二平面镜(5)与功率放大腔(3)的腔体构成谐振腔，种子光在该谐振腔内多次振荡获得增益，通过第二平面镜(5)输出功率放大的激光。本发明能够降低光路调节的技术难度，同时降低成本。
气体激光器种子注入锁定放大系统功率

[发明专利]具有微流道结构的单腔双电极放电腔-CN201310098330.4无效
发明人： 丁金滨;刘斌;王宇;周翊;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有微流道结构的单腔双电极放电腔，其包括腔体、风机和两套主放电电极，腔体包括左右两室，形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。风机驱动放电腔内的气体经过放电电极进行流动，形成一个主气流，在主气流的流道两侧设置有微流道。本发明通过一个单腔结构实现MOPA、MOPO、MOPRA结构的双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性；并且，微流道结构能防止涡旋气流的产生，减少了放电电极侧面产生的位弧现象，增加了放电稳定性，提高了激光能量，延长了预电离电极寿命。
具有微流道结构单腔双电极放电

[实用新型]变外径环形肋椭圆管热交换器-CN201220493134.8有效
发明人：王魁波;丁金滨;刘斌;王宇;周翊;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2012-09-25 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热交换器，适用于气体激光器，尤其适用于准分子激光器，所述热交换器的冷却管道采用椭圆管，且所述热交换器的环形肋外径沿所述热交换器的主轴方向变化，两端外径较小，中间区域外径较大。本实用新型提供的变外径环形肋椭圆管热交换器能有效提高其换热性能，降低气体循环阻力，提高放电区气体流速及均匀性。
外径环形椭圆热交换器

[发明专利]基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔-CN201310054167.1有效
发明人： 丁金滨;刘斌;沙鹏飞;王宇;周翊;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器，其包括腔体和两套主放电电极，所述腔体包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。所述腔体内设置两套风机叶轮来驱动气体，以保证每次经过放电区的气体为新鲜气体；并且，所述风机叶轮为贯流风机叶轮。本发明通过一个单腔结构实现双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性。同时，在放电腔中采用的叶轮中风叶的布局方式，可以提高风机轴向的均匀性，并降低风机系统的噪声。
基于改进流风叶轮单腔双电极放电

[实用新型]双腔气体激光器的温度控制装置-CN201220590576.4有效
发明人：王魁波;丁金滨;刘斌;周翊;王宇;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2012-11-09 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双腔气体激光器的温度控制装置，所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块，第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关，所述温控系统包括用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统、用于对所述两个放电腔进行温度控制的腔体温控系统和用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统。本实用新型能够自动、准确的控制放电腔内气体温度，从而确保激光器具有较高的能量转换效率和能量稳定性，并且能大幅度降低热机时间，提高激光器使用寿命。
气体激光器温度控制装置

[发明专利]激光器温度稳定控制系统-CN201310018462.1有效
发明人：张立佳;吴晓斌;赵江山;丁金滨;李慧;刘斌;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-01-18 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光器温度稳定控制系统，包括位于激光器的放电腔腔体内部的放电区出气口处的第一温度传感器、位于放电腔腔体内部的放电区进气口处的第二温度传感器、位于腔体内壁的第三温度传感器、位于热交换系统和腔体冷却系统的出水管道内的第四温度传感器和第五温度传感器。第一至第五传感器分别用于检测放电腔内放电区出气口、放电腔内放电区进气口、放电腔腔体、各出水管道内的冷却水的温度，且均通过线路与ADRC连接，以将温度传感器检测的温度信号传送给ADRC。ADRC根据各温度信号来控制热交换系统、腔体冷却系统的进水管道上的流量调节阀，以及控制所述电加热器，从而实现对激光器的温度控制。本发明可以提高准分子气体激光器系统的温度稳定性。
激光器温度稳定控制系统

[发明专利]一种准分子激光器的温度控制方法和系统-CN201310019613.5无效
发明人：张立佳;吴晓斌;赵江山;丁金滨;陈进新;李慧;刘斌;崔惠绒;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2013-01-18 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器的温度控制方法和系统，其中该准分子激光器包括放电腔、多个温度检测器和多个温度控制装置，所述放电腔在工作时会产生热量，所述多个温度检测器用于检测与放电腔的温度有关的多个位置的温度，多个温度控制装置用于冷却或加热放电腔。本发明的方法和系统提供一个神经网络PID控制器，使所述神经网络PID控制器接收所述多个温度传感器检测的温度信号，并根据该多个温度信号分别调节所述温度控制装置，使所述放电腔的温度达到所需的温度。本发明可以快速准确的测量准分子激光器放电腔的温度，提高系统的温度稳定性，保障激光器具有较高的能量转换效率和能量稳定性。
一种准分子激光温度控制方法系统

[发明专利]一种预电离陶瓷管-CN201110319525.8无效
发明人： 丁金滨;刘斌;陈进新;王宇;周翊;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2011-10-20 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： H01S3/038 文献下载
摘要：一种预电离电极陶瓷管，由多段较短的陶瓷管组合而成，既能起到形成辉光放电绝缘介质的作用，又能降低陶瓷管的烧制难度和生产成本，同时保证了陶瓷管的烧制质量和成品率，减少陶瓷管中的缺陷，从而提高准分子激光器的可靠性。
一种电离陶瓷

[实用新型]气体激光器及其放电腔-CN201220209759.7有效
发明人：刘斌;丁金滨;张立佳;赵江山;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2012-05-10 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器，该放电腔内具有放电电极和风机，所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板，所述微流道设置有所述导流板上，并且所述微流道的出口朝向所述导流板与所述放电电极之间的间隙。放电腔内还包括有一个预电离装置，其支撑于所述导流板与所述放电电极之间。本实用新型通过在准分子激光器的放电腔中构造微流道结构，从而防止了涡旋气流的产生，减少了放电电极侧面产生的位弧现象，增加了放电稳定性，提高了激光能量，延长了预电离电极寿命。
气体激光器及其放电

[发明专利]双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器-CN201210476797.3有效
发明人：刘斌;丁金滨;王魁波;王宇;周翊;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2012-11-21 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种放电腔的导流装置，所述放电腔具有对称的结构，且包括两对电极，该导流装置包括两个叶轮，该两个叶轮分别对应所述两对电极中的一对，其安装位置关于所述放电腔的对称面对称，且位于所述电极的下方，其转动轴平行于电极的轴向，所述电极的轴向平行于所述放电腔的底平面，并且该两个叶轮的转动方向相反，转速相同。所述电流装置还包括阻流片和导流板，以使放电气流以通过放电区域的方式在放电腔内高速、均匀地循环流动，以保证放电质量，从而提高激光能量及其稳定性。
电极放电导流装置应用准分子激光

[发明专利]准分子激光器的自动温控系统-CN201210442930.3有效
发明人：王魁波;丁金滨;刘斌;周翊;王宇;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2012-11-08 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器的温控系统，所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块，第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关，所述温控系统包括用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统、用于对所述两个放电腔进行温度控制的腔体温控系统和用于对所述两个固体开关进行冷却的冷却系统。本发明能够自动、准确的控制放电腔内气体温度，从而确保激光器具有较高的能量转换效率和能量稳定性，并且能大幅度降低热机时间，提高激光器使用寿命。
准分子激光自动温控系统

[发明专利]具有微流道结构的放电腔及气体激光器-CN201210144445.8有效
发明人：刘斌;丁金滨;张立佳;赵江山;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2012-05-10 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器，该放电腔内具有放电电极和风机，所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板，所述微流道设置有所述导流板上，并且所述微流道的出口朝向所述导流板与所述放电电极之间的间隙。放电腔内还包括有一个预电离装置，其支撑于所述导流板与所述放电电极之间。本发明通过在准分子激光器的放电腔中构造微流道结构，从而防止了涡旋气流的产生，减少了放电电极侧面产生的位弧现象，增加了放电稳定性，提高了激光能量，延长了预电离电极寿命。
具有微流道结构放电气体激光器

[发明专利]单腔双电极放电腔及准分子激光器-CN201210053057.9无效
发明人：王宇;周翊;丁金滨;刘斌;张立佳;赵江山;沙鹏飞 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2012-03-02 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器，其包括腔体和两套主放电电极，所述腔体包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。本发明通过一个单腔结构实现MOPA、MOPO、MOPRA结构的双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性。
单腔双电极放电准分子激光

[发明专利]一种放电腔内的气动结构-CN201110321947.9有效
发明人：刘斌;丁金滨;陈进新;王宇;周翊;赵江山 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2011-10-20 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H01J7/24 文献下载
摘要：一种放电腔内的气动结构，包括：放电腔内的腔体和电极基座上分别设有放电电极；贯流风机置于放电腔内，换热器对应地设置在贯流风机一侧；其中：放电腔内的贯流风机进风口处设有一突起的导流体，所述导流体的顶端指向贯流风机叶轮。与公知技术相比，本发明不仅减少了腔内气流的能量损失，提高放电区流速，从而改善系统高压放电的稳定性，同时结构简单，便于加工，安装方便。
一种放电气动结构