本发明公开了一种应用于引信安保的微机电组合逻辑器件及其制备方法。本发明采用将防恒流干扰单元和静电能量疏导单元封装在半球形的封装壳内,具有防静电和防恒流干扰功能;本发明结构更具有广泛的实用性,适应不同的外部环境;其次,本发明结构的体积小、功耗低、成本低;本发明结构采用引信用芯片集成技术(FUZE ON CHIP)集成加工工艺思想,通过结构加工与布局设计确保引信安保系统的微机电安全保障系统稳定工作;本发明采用半球形的封装壳,在冲击环境下具备比相同材料其他形式结构更高的抗过载能力;同时加工成本低,易于实现产量化。