专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种台面结构铝硼扩散工艺的可控硅芯片-CN202020816530.4有效
  • 宋锐;黄传传;吴宗杰;李运鹏;李小丽;骆建辉 - 江西萨瑞微电子技术有限公司
  • 2020-05-17 - 2020-10-27 - H01L29/74
  • 本实用新型属于硅芯片技术领域,尤其为一种台面结构铝硼扩散工艺的可控硅芯片,包括长基区,所述长基区的上表面设置有正面短基区,所述长基区的下表面设置有背面P型区,所述正面短基区的上表面设置有正面发射区,所述正面短基区的上表面设置有保护膜,所述保护膜、正面短基区和长基区设置有正面沟槽,所述正面沟槽两侧表面设置有正面钝化区,所述保护膜靠近正面发射区的表面设置有正面阴极铝电极;结合铝扩工艺与硼扩工艺的优点,利用铝扩散系数比硼扩散系数大的特点,采取铝硼扩散工艺,对通隔离区与短基区可同步形成,合二为一,扩散时间为30h,极大地提高了生产效率,又可降低表面缺陷,获得良好的Veb特性。
  • 一种台面结构扩散工艺可控硅芯片

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