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- [发明专利]孔层的OPC处理方法-CN202310634526.4在审
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张瑛;金晓亮;冯佳计
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2023-05-31
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2023-09-12
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G03F1/36
- 本发明公开了一种孔层的OPC处理方法,包括:步骤一、根据孔的宽度在孔层中选中目标孔,将目标孔的各边分割成多线段。步骤二、给出间距限定值,根据间距限定值选出边对边的第一种线段以及角对角的第二种线段。步骤三、对选择的各线段做位置偏移,第一种线段采用第一偏移值做位置偏移,第二种线段采用第二偏移值做位置偏移。步骤四、计算各经过位置偏移设置后的各目标孔的面积,利用各目标孔的面积和各目标孔的交叠孔的个数相关的特征,根据面积在各目标孔中选择需要的第二目标孔,对选择的所述第二目标孔作OPC处理。本发明能对周围环境复杂的孔也能很好的实现OPC修正。
- opc处理方法
- [发明专利]OPC图形生成方法-CN202010159531.0有效
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王聪玉;金晓亮
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2020-03-09
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2023-07-07
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G03F1/36
- 本申请公开了一种OPC图形生成方法,涉及半导体光刻技术领域。该方法包括生成基础图形生成库,基础图形生成库用于生成基础图形,基础图形的形状包括线型和孔型;调用基础图形生成库,根据预定设计图形生成基础图形,并组合基础图形生成初始OPC图形;利用加权函数和初始OPC图形中的线端位置确定待添加的头部图形的尺寸,加权函数用于计算线端的权重;根据待添加的头部图形的尺寸,对初始OPC图形中的线端添加对应的头部图形,得到目标OPC图形;解决了目前大量生成OPC图形效率低、容易出错的问题;达到了自动生成OPC图形,优化对OPC图形的仿真结果,提高OPC图形的生成速度和准确率的效果。
- opc图形生成方法
- [发明专利]一种并联变流器容错控制方法-CN202210672692.9有效
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冯婧;金晓亮;刘盛福
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安徽理工大学
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2022-06-15
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2023-02-03
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H02M1/32
- 本发明涉及变流器并联和容错领域,公开了一种并联变流器容错控制方法,包括的步骤如下:步骤1:建立两并联功率变流器的数学模型;步骤2:对于不同开关管故障,根据两并联功率变流器数学模型得到不同的空间电压矢量平面;步骤3:根据步骤2得到的故障矢量平面,对故障后的矢量区域归类;步骤4,根据步骤3的区域划分制定相应的调制策略保证系统容错运行。本发明针对变流器开关管故障的问题,采用了容错控制方式,在不降额运行的前提下有效避免了系统二次故障,且本发明根据参考电压矢量位置和故障类型,能够实时自主地选择最优的调制策略,进一步优化了容错效果。
- 一种并联变流器容错控制方法
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