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[发明专利]柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机-CN202011615570.3在审
发明人： 赵康梅;方洁;李志龙;陈建明;丛国栋;奚敏杰 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机，属于光刻设备领域。该柔性解耦结构包括；至少两个分段式弹性件，其刚度能够调整，其包括依次连接的第一簧片、连接板和第二簧片，分段式弹性件被配置为能对运动组件进行解耦或行程补偿；平行设置的第一连接端和第二连接端，分段式弹性件连接于第一连接端和第二连接端之间，第一连接端和第二连接端中的一个运动、另一个固定；柔性解耦结构能够进行X、Y、Rx、Ry和Rz向解耦。该柔性解耦结构能够实现目标刚度的同时具备良好的塑韧性，减少解耦的滞后时间，可以实现五自由度解耦，补偿机械制造和伺服偏差造成的行程偏差，提高光刻机的运动可靠性，延长光刻机的使用寿命。
柔性结构补偿组件控制方法运动模块光刻

[发明专利]防撞装置及光刻设备-CN202011632415.2在审
发明人： 赵康梅;郑清泉;丛国栋;杨存攀 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供的一种防撞装置和光刻设备，其中防撞装置包括防撞组件和控制组件，当外力撞击防撞组件中的缓冲组件时，缓冲组件推动防撞组件中的活塞组件朝向位于防撞组件的壳体内的压力腔运动以压缩压力腔，压力腔产生一反作用力，进而对该外力进行缓冲。同时，缓冲组件推动活塞朝向压力腔运动时，安装在缓冲组件上的感触器和安装在壳体上的传感器相互脱离或相互靠近至预定距离时，控制组件发出指令。如此一来，防撞装置用于对运动台进行防撞时，不仅可以对外力撞击时产生的力进行缓冲，同时可以通过控制组件发出指令来控制运动台的运动，进而避免出现运动台继续运动带来的二次或多次撞击而导致的运动台损坏的问题。
装置光刻设备

[发明专利]一种柔性支撑平台系统-CN202011528727.9在审
发明人： 赵康梅;王昱;郑清泉;丛国栋;徐慎 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性支撑平台系统，其属于光刻技术领域，包括基体、承载台、气浮支撑件和柔性解耦件，承载台用于承载掩模板或者硅片，承载台能够相对于基体沿设定方向移动；气浮支撑件设置于基体与承载台之间；柔性解耦件设置于所述气浮支撑件与所述承载台之间，所述柔性解耦件上开设有间隙，所述间隙将所述柔性解耦件分割为刚性支撑部和柔性解耦部，所述柔性解耦部能够在外部的力和热的作用下变形以实现解耦。由于间隙的存在，柔性解耦部能够在外部的力和热的作用下变形以实现解耦，当柔性解耦部发生变形时，间隙为形变提供空间，使得外部的力和热不会作用于承载台，即变形不会传递至承载台，进而保证承载台沿设定方向的移动精度。
一种柔性支撑平台系统

[实用新型]一种掩模台电机更换装置-CN202121763059.8有效
发明人： 赵康梅;王昱;郑清泉;丛国栋 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于光刻机设备技术领域，公开了一种掩模台电机更换装置，该掩模台电机更换装置包括：支撑组件，其设有连接部；升降组件，其连接于所述支撑组件；运动组件，其分别与所述升降组件和掩模台电机连接，所述运动组件被配置为能够沿水平方向与所述支撑组件滑动连接，所述运动组件还被配置为能够在所述升降组件的驱动作用下带动所述掩模台电机沿竖直方向上下移动。该更换装置实现了掩模台电机的快速装配集成和维修维护，操作高效、便捷；实现了掩模台电机的维护、掩模台电机和掩模台电机更换装置的整体吊装及远程输送，进一步提高电机的装配集成和维修维护效率，适应性强、可操作性强。
一种掩模台电机更换装置

[发明专利]一种空蚀累积加工方法及其装置-CN201610589350.5有效
发明人：王匀;王建杰;曾亚维;赵康梅;陈哲;许桢英;杨夏明 -专利权人：江苏大学
申请日： 2016-07-26 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B23K31/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种空蚀累积加工方法及装置，涉及去材制造加工技术领域。本发明利用高压水射流制造空化效应来对工件进行剥蚀加工，累积形成所需要的形状。本发明的装置，包括射流发生系统、高压淹没系统、水池（1）、高压软管（13）和过滤器（2）。本发明高压水射流空泡群运动至工件表面时，因工件阻滞产生的滞止压力促使空泡群溃灭，产生约5000±200 K的热点进行材料熔融弱化，降低了材料的疲劳阀值，在高频次高压冲击波复合作用下，引起材料的疲劳断裂，形成圆块状剥蚀，实现去材制造。本发明结构简单，易维护，成本较低，环境影响小。本发明能够对各种难成形材料及微型制件的加工。
一种累积加工方法及其装置

[发明专利]一种可控摩擦片数量和油膜厚度的液粘传动试验装置-CN201610798556.9有效
发明人：王匀;陈哲;陈立宇;杨夏明;崔佳森;谢方伟;赵康梅 -专利权人：江苏大学
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G01M13/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种可控摩擦片数量和油膜厚度的液粘传动试验装置，包括上箱体、下箱体、被动盘、主动盘、主动摩擦片和被动摩擦片，其特点是在主动盘和主动摩擦片和被动摩擦片之间加了一个支承盘，支承盘周向上等距焊有四个螺栓，并由四个锁紧螺母锁紧，同时，在支承盘和主动盘之间可以添加不同厚度的垫片，以改变离合器内部安装摩擦片的空间，实现摩擦片组数的可控，并且控制四个螺栓水平移动，通过变化离合器内部空间，来控制油膜大小。本发明适用于液粘传动技术的试验研究，结构简单，密封性能好。
一种可控摩擦数量油膜厚度传动试验装置

[发明专利]一种收纳式电脑桌面-CN201610167427.X有效
发明人：王匀;赵康梅;陈立宇;陈哲;许桢英 -专利权人：江苏大学
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： A47B21/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种收纳式电脑桌面，包括防尘盖、桌面、桌面凹槽、槽4、散热装置5、电源适配器放置凹槽6、鼠标放置凹槽7、连线通孔8、支肘板10和支撑杆11；根据使用者需要，防尘盖1打开后设置有支撑杆11支撑，电源适配器放置凹槽6、鼠标放置凹槽7采用内嵌式，散热装置5；鼠标与笔记本连接用的鼠标凹槽9，电源适配器与电脑连接用的连接通孔8，散热装置5前端是具有支撑作用的支肘板10。
电源适配器散热装置电脑桌面放置凹槽鼠标放置防尘盖收纳式支撑杆支肘板鼠标使用者需要电脑连接连接通孔支撑作用桌面凹槽内嵌式连线通孔桌面笔记本支撑

[发明专利]一种增压式多通道管材分流模组合模芯-CN201510612954.2有效
发明人：王匀;杨夏明;杜金星;赵康梅;许桢英;柏云;任乃飞;陆海建;王存堂;任旭东 -专利权人：江苏大学
申请日： 2015-09-23 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： B21C25/02 文献下载
摘要：本发明属于微孔径多通道管材制备领域，提供了一种增压式多通道管材分流模组合模芯，包括模芯、下模和下模支撑板；下模的中心处开有下模通孔；下模支撑板的外轮廓与下模通孔的形状和尺寸相同，厚度小于下模的厚度，位于下模通孔内部；模芯底部安装有多个上模芯针，下模支撑板的顶部安装有多个与上模芯针配合的下模芯针；下模的内壁对称开有两个横向的滑动槽；滑动槽内横向固定有弹簧和与弹簧连接的凸台滑块；凸台滑块包括凸台和基座；下模支撑板上开有与凸台前端相配合的支撑槽，下模支撑板通过凸台支撑在下模通孔内部；凸台的前端缩至滑动槽内则可固定在滑动槽中。本发明提高了挤压成型时的挤压力、充型效率和充型能力，进而提高了产品成型质量。
一种增压通道管材分流模组合模芯

[发明专利]一种复合沟槽管制造方法-CN201710188034.1在审
发明人：涂文斌;崔佳森;陈立宇;赵康梅 -专利权人：江苏大学
申请日： 2017-03-27 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： B23P15/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种复合沟槽管制造方法，首先制作内沟槽压制成形模具，然后利用内沟槽压制成形模具压制薄壁板材获得沟槽插管，将沟槽插管插入基管内，然后将沟槽插管和基管一并放入烧结模具中，接着将棒芯插入沟槽插管内，并在棒芯与沟槽插管之间填充粉末颗粒，最后进行保温烧结，保温烧结完成后，随炉冷却至室温，获得复合沟槽管；本发明完全摒弃了传统沟槽塑性成形工艺，采用薄壁板材模压成形的方式制造沟槽，具有生产效率高，沟槽高宽比、沟槽形状可方便地有模具控制，突破了传统工艺的限制。
一种复合沟槽制造方法

[发明专利]一种高结合强度的毛囊型微织构及其加工方法-CN201710392785.5在审
发明人： 赵康梅;王匀;於伟杰;许桢英;姜同竹;陈满 -专利权人：江苏大学
申请日： 2017-05-27 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：本发明提供一种高结合强度的毛囊型微织构及其加工方法，基体材料表面上加工出上窄下宽的毛囊型复合微形貌，所述毛囊型复合微形貌为沿着垂直于基体材料边的方向进行的上下复合的微形貌，包括上部呈柱状体的毛根，下部呈球状体的毛球，所述毛球内部包括若干个毛凸，所述毛根的直径小于所述毛球的直径。本发明的毛囊型微织构，其特点与优点是当增强体嵌入微凹坑后，毛囊型结构将成型后的部分增强体锁紧，增强基体与增强体的有效接触面面积的同时形成了结构上的互锁，从而提高复合材料的界面结合强度和复合材料的使用寿命。毛囊型微织构的参数可根据不同材料的结合进行调整，有效增加了毛囊型微织构的适用场合。
一种结合强度毛囊型微织构及其加工方法

[发明专利]一种角度可调船用甲板焊接试验用夹具及其操作方法-CN201610170493.2有效
发明人：王匀;曾亚维;许桢英;陈立宇;赵康梅;张帆;陈英箭 -专利权人：江苏大学
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：一种角度可调船用甲板焊接试验用夹具及其操作方法，包括工作台、支座、支撑板、支架、旋钮、导向滑块、导向轴、导向板、压杆、压紧滑块、销钉、螺钉；其中支架、导向滑块、导向轴构成导向装置；导向轴、导向板、压紧滑块构成定位装置；导向板、压杆、压紧滑块构成夹紧装置；支撑板、支架、旋钮、导向滑块、导向轴构成角度调节装置；通过定位装置可以实施甲板在不同位置定位下的焊接性能；通过夹紧装置可以实施甲板在不同压紧力下的焊接性能；通过角度调节装置可以实施甲板在不同角度下的焊接性能。本发明结构简单、操作方便、定位牢固、可以应用于不同位置、不同压紧力和不同角度下的船用甲板焊接性能对比试验。
一种角度可调甲板焊接试验夹具及其操作方法

[发明专利]圆柱滚筒外表面擦拭装置-CN201510438019.9有效
发明人：王匀;李超;胡伟;杨夏明;王建杰;许桢英;邹荣;赵康梅 -专利权人：江苏大学
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种圆柱滚筒外表面擦拭装置，其特征在于，包括底座、安装于底座上的运动系统和擦拭系统，所述运动系统包括顶起装置、铰接于底座上的杠杆，杠杆阻力臂的端部设有与顶起装置配合的顶针；所述擦拭系统包括焊接在所述顶起装置上的擦拭台、两个分别位于擦拭台两端的第一圆弧擦拭机构、一个位于两个第一圆弧擦拭机构之间的第二圆弧擦拭机构，第一圆弧擦拭机构、第二圆弧擦拭机构上均固定有擦拭布、且均由两对互成一定角度的圆柱杆支撑，所述圆柱杆的下端与支架球铰接，第一圆弧擦拭机构的支架固定在擦拭台上，第二圆弧擦拭机构的支架与固定在擦拭台上的滑轨配合。本发明能够代替人工擦拭，具有操作简单，造价便宜，易于推广的优点。
圆柱滚筒外表擦拭装置

[发明专利]太阳能背板膜辊筒擦拭装置-CN201510369789.2有效
发明人：王匀;胡伟;李超;王建杰;赵康梅;杨夏明;许桢英;邹荣 -专利权人：江苏大学
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种太阳能背板膜辊筒擦拭装置，包括底座、Y向机械传动机构、Z向微动机械传动机构、擦拭机构，通过Y向机械传动机构中的驱动电机带动Y向机械传动机构与Z向微动机械传动机构带动与生产设备滚筒外圆表面相配合的擦拭机构运动。整个擦拭装置在Y向运动部分可自动控制，在Z向运动可由人为操作，以实现微动，以便调节擦拭时所需要的力与高度。可实现长期无人管理，可代替人工擦拭，保证人的安全，保证太阳能背板膜生产设备能发挥最大效能，具有结构简单，造价低廉易于推广的优点。
太阳能背板膜辊筒擦拭装置

[发明专利]一种基于高压水射流空化效应的加工方法及装置-CN201610589376.X在审
发明人：王匀;王建杰;曾亚维;赵康梅;陈哲;许桢英;杨夏明 -专利权人：江苏大学
申请日： 2016-07-26 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于高压水射流空化效应的加工方法及装置，涉及去材制造加工技术领域。本发明利用高压水射流制造空化效应来对工件进行剥蚀加工，累积形成所需要的形状。本发明的装置，包括射流发生系统、高压淹没系统、水池、高压软管和过滤器。本发明高压水射流空泡群运动至工件表面时，因工件阻滞产生的滞止压力促使空泡群溃灭，产生约5000±200 K的热点进行材料熔融弱化，降低了材料的疲劳阀值，在高频次高压冲击波复合作用下，引起材料的疲劳断裂，形成圆块状剥蚀，实现去材制造。本发明结构简单，易维护，成本较低，环境影响小。本发明能够对各种难成形材料及微型制件的加工。
一种基于高压水射流效应加工方法装置

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