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[发明专利]辅助曝光装置、曝光方法和存储介质-CN202211695442.3在审
发明人：藤原慎;西山淳 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供使被处理基片的各产品区域周边的曝光分辨率提高的辅助曝光装置、曝光方法和存储介质。辅助曝光装置包括输送部、光源单元和聚光透镜。输送部在第一方向上输送包含多个产品区域和位于各产品区域的周边的周边区域的被处理基片。光源单元在与第一方向交叉的第二方向上排列地形成有多个光源，向在第一方向上被输送的被处理基片照射光。聚光透镜配置在光源单元与被处理基片之间，将利用光源单元向被处理基片的在第二方向上延伸的周边区域照射的光沿着第一方向聚光。
辅助曝光装置方法存储介质

[发明专利]基板处理系统和基板处理系统的控制方法-CN201910830977.9有效
发明人：佐田彻也;佐竹顺;植田稔彦;西山淳 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理系统和基板处理系统的控制方法，能够在早期检测基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。一种实施方式的基板处理系统包括拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄。干燥状态检测部基于由拍摄部所拍摄的涂敷区域的色浓度来检测涂敷区域的干燥状态。
处理系统控制方法

[发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN202011346508.9在审
发明人： 西山淳;池田文彦;野田隆广;井本直树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供能够提高基片的电路图案的精度的基片处理装置和基片处理方法。实施方式的基片处理装置包括输送机构、改性装置和显影装置。输送机构平流地输送抗蚀剂膜的一部分被曝光了的基片。改性装置对由输送机构输送的基片进行抗蚀剂膜的改性处理。显影装置对进行了改性处理且由输送机构输送的基片进行显影处理。改性装置包括供给处理部、改性清洗处理部和改性干燥处理部。供给处理部将改性液供给到基片。改性清洗处理部对被供给了改性液的基片供给冲洗液，对基片进行清洗。改性干燥处理部从基片除去冲洗液，使基片干燥。
处理装置方法

[发明专利]吹塑成形装置-CN201680063262.X有效
发明人： 西山淳;山口雅树;汤本晴仁 -专利权人：日精ASB机械株式会社
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： B29C49/64 文献下载
摘要：一种吹塑成形装置，其具有：连续输送部(150)，其具有连续输送预成形件(200)的环状的输送通路(151)；间歇输送部，其间歇地将预成形件(200)向吹塑成形部(140)输送；交接部(170)，其保持在输送通路(151)中被输送的预成形件(200)并向间歇输送部(160)交接，交接部(170)具有冷却装置(300)，该冷却装置(300)从第1喷嘴部件(301)向预成形件(200)的外表面喷射冷却流体从而对预成形件(200)进行局部冷却。
塑成装置

[发明专利]自动装置以及通信系统-CN201880077652.1在审
发明人： 西山淳 -专利权人：日本电产株式会社
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种易于同步多个电动机的动作的自动装置。自动装置具有：支承体；第1电动机，其安装在支承体；第2电动机，其安装在支承体；第1电动机驱动部，其驱动第1电动机；第2电动机驱动部，其驱动第2电动机；第1控制部，其控制第1电动机驱动部；以及第2控制部，其控制第2电动机驱动部。第1控制部具有用于与外部的控制装置进行无线通信的第1无线通信电路。第1控制部与第2控制部以能够相互通信的方式有线连接。
自动装置以及通信系统

[发明专利]自动装置以及通信系统-CN201880077886.6在审
发明人： 西山淳 -专利权人：日本电产株式会社
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G05D1/02 文献下载
摘要：本发明提供容易使多个马达的动作同步的自动装置。自动装置具备：支承体、安装于支承体的第1马达、安装于支承体的第2马达、驱动第1马达的第1马达驱动部、驱动第2马达的第2马达驱动部、控制第1马达驱动部的第1控制部、控制第2马达驱动部的第2控制部。第1控制部与第2控制部能够相互通信地被有线连接。第1控制部通过有线通信将与第2马达有关的指示信息发送至第2控制部，第2控制部通过有线通信从第1控制部接收与第2马达有关的指示信息，根据与第2马达有关的指示信息，进行与第2马达有关的动作。
自动装置以及通信系统

[发明专利]带把手容器的成形装置及用于该装置的成形用模具和成形用模具单元-CN201710954298.3有效
发明人：荻原修一;宇佐美畅之;西山淳 -专利权人：日精ASB机械株式会社
申请日： 2014-06-26 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： B29C49/06 文献下载
摘要：本发明提供一种带把手容器的成形装置，前述带把手容器的成形装置构成为，把持机构部（160a）具备第1把持部件（161）及第2把持部件（162），前述第1把持部件（161）具有把持预制件（200）的一对第1夹头部件（163），前述第2把持部件（162）具有与联动于第1把持部件（161）的动作来把持容器用把手（20）的一对第2夹头部件（167），前述带把手容器的成形装置能够将多个预制件（200）及容器用把手（163）同时把持，切实地搬运至吹塑成形部。
把手容器成形装置用于模具单元

[发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN201910530951.2在审
发明人：永田广;西山淳;藤原慎;藤原真树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够缩短基片处理装置在基片输送方向的长度的技术。实施方式的基片处理装置包括可动工作台和工作台移动机构。可动工作台具有能够输送用处理液浸湿了的基片的输送机构。工作台移动机构能够使可动工作台至少在上下方向移动。
工作台可动工作台移动机构基片处理装置基片输送方向上下方向移动浸湿输送机构处理液

[发明专利]检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法-CN201610881393.0有效
发明人：佐田彻也;佐竹顺;植田稔彦;西山淳 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法，能够在早期检测基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。一种实施方式的检查装置包括拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄。干燥状态检测部基于由拍摄部所拍摄的涂敷区域的色浓度来检测涂敷区域的干燥状态。
检查装置减压干燥控制方法

[发明专利]干燥装置及干燥处理方法-CN201410097639.6有效
发明人：岛村明典;林辉幸;今田雄;佐田彻也;西山淳;斋藤广美;大田司;田边诚一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、与支承在载置台（3）上的基板（S）相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部（5）、以及控制部（6）。溶剂收集部（5）还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置（7）。溶剂收集部（5）包括与载置在载置台（3）上的基板（S）相对且与该基板（S）的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多个贯通开口（50a）。
干燥装置处理方法

[发明专利]干燥装置及干燥处理方法-CN201410096586.6有效
发明人：岛村明典;林辉幸;今田雄;佐田彻也;西山淳;斋藤广美;大田司;田边诚一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： B05D3/04 文献下载
摘要：本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。
干燥装置处理方法

[发明专利]带把手容器的成形装置及用于该装置的成形用模具和成形用模具单元-CN201480037035.0有效
发明人：荻原修一;宇佐美畅之;西山淳 -专利权人：日精ＡＳＢ机械株式会社
申请日： 2014-06-26 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： B29C49/42 文献下载
摘要：本发明提供一种带把手容器的成形装置，前述带把手容器的成形装置构成为，把持机构部（160a）具备第1把持部件（161）及第2把持部件（162），前述第1把持部件（161）具有把持预制件（200）的一对第1夹头部件（163），前述第2把持部件（162）具有与联动于第1把持部件（161）的动作来把持容器用把手（20）的一对第2夹头部件（167），前述带把手容器的成形装置能够将多个预制件（200）及容器用把手（163）同时把持，切实地搬运至吹塑成形部。
把手容器成形装置用于模具单元

[发明专利]带把手的容器的成形装置、运送夹具以及容器用把手-CN201480031186.5有效
发明人：宇佐美畅之;西山淳 -专利权人：日精ＡＳＢ机械株式会社
申请日： 2014-05-29 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： B29C49/20 文献下载
摘要：本发明的带把手的容器的成形装置具备运送部（150）和供给部（160），所述运送部（150）具备保持预塑形坯的第1运送夹具（152）和保持容器用把手（20）的第2运送夹具（153）被交替地运送的运送线（151），将预塑形坯（200）和容器用把手（20）沿着运送线（151）向吹塑成形部（140）运送，所述供给部（160）使容器用把手（20）保持倒立状态地下降，向第2运送夹具（153）供给，第2运送夹具（153）至少支承容器用把手（20）的相对置的一对两侧面部。
把手容器成形装置运送夹具以及

[发明专利]三维图像处理装置及其控制方法-CN201310516451.6有效
发明人：北岛修孝;山名章文;西山淳;桥本勉;平井诚 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2010-08-05 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： H04N19/597 文献下载
摘要：三维图像处理装置（100）具备：L图形解码器（112L）及R图形解码器（112R），将编码的流数据解码为左眼用图像数据及右眼用图像数据；图像输出控制部（122），将解码后的左眼用图像数据及右眼用图像数据输出；控制部（116），在左眼用图像数据及右眼用图像数据中的某一方的图像数据的解码中发生解码错误、并且另一方的图像数据的解码成功的情况下，通过将另一方的图像数据的像素位置错移预先设定的偏移量，模拟地生成一方的图像数据，将模拟地生成的一方的图像数据向图像输出控制部输出；图像输出控制部（122）在一方的图像数据的解码中发生解码错误、并且另一方的图像数据的解码成功的情况下，将另一方的图像数据和模拟地生成的一方的图像数据输出。
三维图像处理装置及其控制方法

[发明专利]三维图像处理装置及其控制方法-CN201080009971.2有效
发明人：北岛修孝;山名章文;西山淳;桥本勉;平井诚 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2010-08-05 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： H04N13/04 文献下载
摘要：三维图像处理装置(100)具备：L图形解码器(112L)及R图形解码器(112R)，将编码的流数据解码为左眼用图像数据及右眼用图像数据；图像输出控制部(122)，将解码后的左眼用图像数据及右眼用图像数据输出；控制部(116)，在左眼用图像数据及右眼用图像数据中的某一方的图像数据的解码中发生解码错误、并且另一方的图像数据的解码成功的情况下，通过将另一方的图像数据的像素位置错移预先设定的偏移量，模拟地生成一方的图像数据，将模拟地生成的一方的图像数据向图像输出控制部输出；图像输出控制部(122)在一方的图像数据的解码中发生解码错误、并且另一方的图像数据的解码成功的情况下，将另一方的图像数据和模拟地生成的一方的图像数据输出。
三维图像处理装置及其控制方法

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