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[发明专利]一种硅片的清洗方法-CN202310897804.5在审
发明人：王玥;于亚迪;孙艳美;王正阳;于兴瑞;蒙德强;王明霞 -专利权人：山东有研艾斯半导体材料有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体硅片技术领域，具体讲，涉及一种硅片的清洗方法。包括以下步骤：在碱性清洗液喷淋条件下，使用洁净刷头和边缘刷头进行两次刷洗；在纯水喷淋条件下，使用边缘刷头进行刷洗；使用酸性清洗液清洗、干燥后包装。本发明的硅片清洗方法可以有效地改善硅片近边缘区域洁净度，提升硅片整体品质水平，为后道工序加工良率打好基础，且不会恶化硅片表面粗糙度。
一种硅片清洗方法

[发明专利]一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置-CN201711243172.1有效
发明人：王铁钢;林伟;刘源;侯翔;唐宽瑜;蒙德强 -专利权人：天津职业技术师范大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，包括主杆、内推杆、顶紧螺钉、引弧针、缓冲弹簧、滑动销和引弧针安装螺栓，所述内推杆滑动安装在该第一直孔中；在内推杆的前端沿其轴向开设有第二直孔，通过端帽将缓冲弹簧和滑动销安装进第二直孔中，在内推杆的第二直孔段的杆壁上沿内推杆轴向开设有第一通槽，在主杆的第一直孔段的杆壁上沿主杆的轴向开设有第二通槽，引弧针安装螺栓透过第一通槽和第二通槽竖直安装在滑动销上，引弧针的顶部固定安装在引弧针安装螺栓上。通过推动内推杆带动引弧针沿第二通槽移动，以实现引弧针的位置调节；所述顶紧螺钉安装在主杆的第一直孔段的杆壁上，通过调节顶紧螺钉实现内推杆的的位置锁定。
一种具有缓冲功能电弧离子镀引弧针调节装置

[实用新型]一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置-CN202222664704.1有效
发明人：刘义;赵晶;蒙德强;孙超;何新平;赵勇;张西标;姜振虎 -专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置，包括翻转支座总成和真空吸盘总成；该翻转支座总成包括一个连接板，该连接板设有头座及尾座；该头座设有第一通孔和第二通孔，第一通孔内固定设有线性轴承，各线性轴承内设有滑杆；滑杆顶端固定在固定板的边缘，该固定板套设于限位螺杆上；各第二通孔内设有限位螺栓；该真空吸盘总成包括圆形的底板，该底板边缘向上延伸设有侧板，该侧板顶部内侧设有顶板，该底板设有若干气孔；该顶板设有气管，该气管末端设有螺纹快插接头；滑杆底端与该顶板顶面固定连接；该头座底面中部设有向上凹陷的第一凹孔，该顶板顶面中部设有向下凹陷的第二凹孔，该第一凹孔和该第二凹孔之间设有压缩弹簧。
一种用于硅片贴片机翻转吸盘装置

[实用新型]一种用于拆卸多种轴承锁紧螺母的装置-CN202222664871.6有效
发明人：赵晶;赵勇;蒙德强;孙超;刘义;张西标;姜振虎 -专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：一种用于拆卸多种轴承锁紧螺母的装置，包括圆形卡盘，该圆形卡盘底面设有若干沿该圆形卡盘径向延伸的滑道，相邻的滑道之间的角度均相同；各滑道截面呈T型，包括大径段和位于该大径段下方的小径段，该小径段的宽度小于该大径段的宽度，且该小径段与外部连通；该大径段内部设有长方体型的滑块，该滑块的宽度小于该大径段且大于该小径段；该滑块底面设有向下延伸的卡柱，该卡柱底端穿过该小径段且位于该圆形卡盘外部；该圆形卡盘顶面中部向上延伸设有旋转柱，该旋转柱顶部穿设有水平的操作杆。本实用新型结构简单，操作方便，通用性较高，能够提高设备轴承的更换效率，减少零件表面的机械损伤，缩短设备的维修周期。
一种用于拆卸多种轴承螺母装置

[发明专利]一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法-CN202010999545.3有效
发明人：王铁钢;蒙德强;刘艳梅;阎兵;许人仁;尹照星 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法，属于薄膜及其制备技术领域。所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是将Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中制备而成，Mo元素的掺杂量为0.3～6.3at.％，该薄膜采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上制备而成。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减摩特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
一种 mo 掺杂 alcrsin 润滑薄膜及其制备方法

[发明专利]具有高耐磨性的AlCrSiN/Mo热处理型涂层及其制备工艺-CN202010293381.2有效
发明人：王铁钢;蒙德强;朱强;刘艳梅;阎兵;曹凤婷 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有高耐磨性的AlCrSiN/Mo热处理型涂层及其制备工艺，属于涂层技术领域。该热处理型涂层是由Mo元素掺杂于AlCrSiN涂层中形成；按原子百分比计，该热处理型涂层的化学成分为：Al 14.75～16.71at.％，Cr 29.49～33.19at.％，N 42.22～48.42at.％，Si 1.91～7.96at.％，Mo 5.0～6.33at.％。该热处理型涂层是对AlCrSiN/Mo复合涂层进行加热处理后获得，其磨损率低于4.2×10‑4μm3/N·μm。本发明制备的AlCrSiN/Mo热处理型涂层具有良好的韧性及润滑性能，可以显著增强基体的抗磨损能力，具有较好的化学稳定性。
具有耐磨性 alcrsin mo 热处理涂层及其制备工艺

[发明专利]一种提高AlCrSiN/Mo纳米复合涂层韧性与耐磨性的热处理工艺-CN202010293373.8有效
发明人：王铁钢;朱强;蒙德强;刘艳梅;阎兵;范其香 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高AlCrSiN/Mo纳米复合涂层韧性与耐磨性的热处理工艺，属于涂层技术领域。该工艺采用真空管式炉对由高功率脉冲磁控溅射结合脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术沉积的AlCrSiN/Mo复合涂层进行加热处理。加热之前，将真空度抽至3×10‑3Pa以下，按照预先的温度设定，对涂层进行相应的加热处理并获得所述热处理后的AlCrSiN/Mo纳米复合涂层。本发明涉及的复合涂层处理工艺简单，并且容易工业化生产。本发明制备的AlCrSiN/Mo复合涂层具有良好的韧性及润滑性能，可以显著增强基体的抗磨损能力，具有较好的化学稳定性。
一种提高 alcrsin mo 纳米复合涂层韧性耐磨性热处理工艺

[发明专利]一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法-CN201910897051.1有效
发明人：王铁钢;蒙德强;刘艳梅;阎兵;尹照星;许人仁 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法，属于薄膜制备技术领域。该AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是采用高功率脉冲磁控溅射技术和脉冲直流磁控镀膜技术在基体上制备而成，制备过程为：降低偏压至‑50～‑150V，N2流量50～150sccm，Ar流量50～250sccm，N2和Ar总流量300sccm，沉积压强1.0～2.5Pa，CrMo靶溅射功率0.1～0.9kW，AlCrSi靶功率0.2～1.5kW。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减磨特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
一种 alcrsin mo 润滑薄膜复合磁控溅射制备方法

[发明专利]具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS-CN201911093858.6在审
发明人：王铁钢;蒙德强;许人仁;刘艳梅;阎兵;尹照星 -专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS
纳米复合薄膜制备沉积薄膜技术领域高功率脉冲化学稳定性抗磨损能力刀具基体复合薄膜复合镀膜工作气压功率保持混合气体脉冲直流摩擦界面耐磨性能润滑性能润滑膜自润滑磁控磨屑

[发明专利]一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法-CN201910897038.6在审
发明人：王铁钢;蒙德强;刘艳梅;阎兵;许人仁;尹照星 -专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法，属于薄膜及其制备技术领域。所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是由Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中形成，Mo元素的掺杂量为0.3～6.3at.％，该薄膜采用高功率脉冲磁控溅射技术和脉冲直流磁控镀膜技术在基体上制备而成。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减磨特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
自润滑薄膜制备薄膜磁控溅射技术制备技术领域高功率脉冲化学稳定性磁控镀膜脉冲直流润滑特性元素掺杂剪切掺杂量掺杂型减磨摩擦

[发明专利]具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS₂纳米复合薄膜及其制备方法-CN201910052656.0在审
发明人：王铁钢;蒙德强;许人仁;刘艳梅;阎兵;尹照星 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
申请日： 2019-01-21 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS₂纳米复合薄膜及其制备方法，属于薄膜技术领域。采用高功率脉冲与脉冲直流复合磁控镀膜技术在刀具基体上制备了AlCrN/MoS₂纳米复合薄膜，沉积过程中，调整偏压至‑50～‑150V，然后通入N₂和Ar的混合气体；工作气压保持在0.5～1.0Pa，AlCr靶功率保持为0.5～1.0kW，MoS₂靶功率为0.05～0.3kW，沉积后获得所述AlCrN/MoS₂纳米复合薄膜。所制备的AlCrN/MoS₂复合薄膜具有优良的润滑性能，可以显著降低基体材料的磨损，具有较好的化学稳定性且剥层易转移等特性。
纳米复合薄膜制备耐磨性能自润滑沉积薄膜技术领域高功率脉冲化学稳定性磁控镀膜刀具基体复合薄膜工作气压功率保持混合气体基体材料脉冲直流润滑性能剥层磨损复合

[实用新型]用于电弧离子镀的可调式引弧针装置-CN201721643588.8有效
发明人：王铁钢;林伟;刘源;侯翔;唐宽瑜;蒙德强 -专利权人：天津职业技术师范大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，该装置包括主杆、棘牙推杆、棘爪锁定机构和引弧针，所述主杆的一侧为内螺纹盲孔结构，主杆的另一侧沿主杆轴向设置有异形孔，所述棘牙推杆滑动安装在主杆的异形孔中；所述棘爪锁定机构安装在主杆上，棘爪锁定机构与棘牙推杆相配合，实现棘牙推杆的定向锁定；在主杆的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在棘牙推杆上；通过棘牙推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节。
推杆引弧针棘牙主杆棘爪锁定机构异形孔通槽电弧离子镀可调式本实用新型内螺纹盲孔滑动安装位置调节主杆轴杆段下杆锁定移动配合

[实用新型]具有位置调节功能的引弧针结构-CN201721646288.5有效
发明人：王铁钢;林伟;刘源;侯翔;唐宽瑜;蒙德强 -专利权人：天津职业技术师范大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有位置调节功能的引弧针结构，包括主杆、内推杆、顶紧螺钉和引弧针，主杆的一侧为用于连接气缸动作端的内螺纹盲孔结构，在主杆的另一侧沿主杆轴向设置有直孔，所述内推杆滑动安装在该直孔中；在主杆的直孔段的杆壁上沿主杆的轴向开设有通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在内推杆上；通过推动内推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节；所述顶紧螺钉安装在主杆的直孔段的杆壁上，通过调节顶紧螺钉实现内推杆位置锁定。
引弧针主杆内推杆顶紧螺钉通槽位置调节功能直孔段杆壁直孔推杆本实用新型内螺纹盲孔滑动安装气缸动作位置调节位置锁定主杆轴轴向移动

[实用新型]具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置-CN201721649630.7有效
发明人：王铁钢;林伟;刘源;侯翔;唐宽瑜;蒙德强 -专利权人：天津职业技术师范大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有缓冲功能的电弧离子镀引弧针调节装置，包括主杆、内推杆、顶紧螺钉、引弧针、缓冲弹簧、滑动销和引弧针安装螺栓，所述内推杆滑动安装在该第一直孔中；在内推杆的前端沿其轴向开设有第二直孔，通过端帽将缓冲弹簧和滑动销安装进第二直孔中，在内推杆的第二直孔段的杆壁上沿内推杆轴向开设有第一通槽，在主杆的第一直孔段的杆壁上沿主杆的轴向开设有第二通槽，引弧针安装螺栓透过第一通槽和第二通槽竖直安装在滑动销上，引弧针的顶部固定安装在引弧针安装螺栓上。通过推动内推杆带动引弧针沿第二通槽移动，以实现引弧针的位置调节；所述顶紧螺钉安装在主杆的第一直孔段的杆壁上，通过调节顶紧螺钉实现内推杆的位置锁定。
引弧针内推杆通槽主杆安装螺栓顶紧螺钉滑动销杆壁轴向推杆电弧离子镀调节装置缓冲弹簧缓冲功能孔段直孔本实用新型滑动安装竖直安装位置调节位置锁定直孔段端帽移动

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