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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法-CN201910052762.9有效
发明人：青木保夫;菊池孝幸;白数广 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法，放电灯，具有：将包括沿规定方向相对设置的第1电极及第2电极的发光部覆盖的玻璃部件；和相对于发光部而分别设在玻璃部件的第1电极侧及第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，在该放电灯中，第1灯座部件具有：被连结部，其供将来自曝光装置的电力向发光部传递的部件连结；和被保持部，其能够由搬送部保持。
电灯及其更换方法点亮制造

[发明专利]物体处理装置、曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法-CN201610282679.7有效
发明人：青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
物体处理装置曝光方法以及元件制造

[发明专利]物体处理装置、曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法-CN201610282687.1有效
发明人：青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
物体处理装置曝光方法以及元件制造

[发明专利]光源装置、放电灯及其制造方法、以及曝光装置-CN201580027187.7有效
发明人：青木保夫;菊池孝幸;白数广 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。
光源装置电灯及其制造方法以及曝光

[发明专利]物体处理装置、曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法-CN201610282686.7有效
发明人：青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： G03F7/22 文献下载
摘要：于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
基板非接触方式曝光部位对基板物体处理装置基板载台空气悬浮曝光装置元件制造曝光面位置喷出载台支承配置

[发明专利]物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法-CN201510574172.4在审
发明人：青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法。其中，基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
物体移动装置处理曝光检查元件制造方法

[发明专利]放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法-CN201110306079.7有效
发明人： 白数广;青木保夫;小山元夫;菊池孝幸 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2007-08-30 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。
电灯光源装置曝光制造方法

[发明专利]物体处理装置、曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法-CN201080036901.6有效
发明人：青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
物体处理装置曝光方法以及元件制造

[发明专利]物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法-CN201080036924.7有效
发明人：青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
物体移动装置处理曝光检查元件制造方法

[发明专利]放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法-CN200780032265.8有效
发明人： 白数广;青木保夫;小山元夫;菊池孝幸 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2007-08-30 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： H01J5/50 文献下载
摘要：本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。
电灯光源装置曝光制造方法

[发明专利]曝光装置及曝光方法-CN03121815.6有效
发明人：白户章仁;白数广;加藤正纪 -专利权人：尼康株式会社
申请日： 2003-04-10 - 公布日： 2003-10-29 - 主分类号： G03F7/22 文献下载
摘要：本发明提供可将投影光学系统的成像位置及像面高精度且连续地变更调整、精度良好地曝光处理的曝光装置及曝光方法。曝光装置(EX)是一种一面将由曝光光照明的光罩(M)和感光基板(P)同步移动一面将光罩M的图案像通过投影光学系统(PL1～PL5)投影曝光于感光基板(P)的扫描型曝光装置，在曝光光的光路上具备有使图案的像面的位置在(Z)轴方向调整，同时调整图案像的像面倾斜的像面调整装置(10)。
曝光装置方法

[发明专利]曝光装置-CN02108207.3无效
发明人： 白数广;木内徹 -专利权人：尼康株式会社
申请日： 2002-03-27 - 公布日： 2002-11-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种曝光装置可高精确度地维持光罩与感光基板之间的平行度,并将光罩上的图案正确地投影曝光于感光基板上。由照明光学投影系统(30)照明光罩(10)上所形成的图案再经由投影光学系统(40)投影于感光基板(20)上且光罩(10)与感光基板(20)相对于投影光学系统(40)朝所定的扫描方向进行同步扫描而使图案曝光于感光基板(20)上的曝光装置(1)具有位于光罩(10)上方且可由负压将前述光罩朝上方吸引的吸引装置(50)。吸引装置(50)配置于照明光学系统(30)的附近,且具有与光罩对向的多个吸引垫(51A～51E)。
曝光装置

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