专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果57个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [实用新型]防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置-CN201520826715.2有效
  • 由龙;黄振革 - 山东金鼎电子材料有限公司
  • 2015-10-23 - 2016-03-09 - C23C14/08
  • 本实用新型公开一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置包括密封腔体,以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材,所述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧,所述溅射主辊处于放料辊与卷取辊之间的下方。本实用新型在现有技术的基础上通过对溅射主辊内部设水循环系统,使溅射主辊和第一收料导辊与地线相连接,在卷取辊旁设一除静电装置,增加张力摆辊和展平辊等技术改良,有效地减少热损伤、变形、电击人体等现象的发生,使ITO薄膜的生产过程更加安全、高效,其产品更加美观,提高优品率。
  • 防止成膜热损伤卷取ito装置
  • [实用新型]一种改善靶材结瘤的ITO薄膜生产装置-CN201520480160.0有效
  • 耿国凌;由龙;陈帅;王洪浜;邹威 - 山东金鼎电子材料有限公司
  • 2015-07-06 - 2016-03-02 - C23C14/56
  • 一种改善靶材结瘤的ITO薄膜生产装置,包括密封腔体,以及设置于密封腔体内的放卷辊、收卷辊、镀膜主辊与靶材,放卷辊与收卷辊分别位于密封腔体内两侧,镀膜主辊处于收卷辊与放卷辊之间的下方,所述靶材包括有第一靶材与第二靶材,分别设于镀膜主辊左右两边的密封腔体壁面上。本实用新型通过将靶材都设于密封腔体壁面上,利用氧化物自身的重量和密封腔体内气流的流动,使得氧化物溅落在无效溅射区,减少了溅射结瘤,提高ITO薄膜透过率,降低雾度和表面电阻,使产品性能更稳定,并且提高了靶材的利用率,降低了工人对靶材的清洁次数,节约了生产成本和生产时间。
  • 一种改善靶材结瘤ito薄膜生产装置
  • [发明专利]防止热损伤的ITO薄膜制造方法及其制造装置-CN201510696014.6在审
  • 由龙;黄振革 - 山东金鼎电子材料有限公司
  • 2015-10-23 - 2016-01-27 - C23C14/08
  • 本发明公开一种防止热损伤的ITO薄膜制造方法及其制造装置,包括基材,所述基材在真空腔室内从放料辊出发,绕过溅射主辊,在溅射主辊处经靶材溅射形成ITO薄膜,最后到达收卷辊收卷。本发明在现有技术的基础上通过增加张力摆辊和展平辊展平基材,使基材与溅射主辊完全接触,对溅射主辊内部设水循环系统带走溅射中产生的热量,使溅射主辊和第二收料导辊与地线相连接带走部分电荷,在卷取辊旁设一除静电装置除去静电等技术改良,有效地减少热损伤、变形、电击人体等现象的发生,使ITO薄膜的生产过程更加安全、高效,其产品更加美观,提高优品率。
  • 防止损伤ito薄膜制造方法及其装置
  • [发明专利]ITO薄膜溅射靶材的清洁方法-CN201510391872.X在审
  • 耿国凌;由龙;陈帅;王洪浜;邹威 - 山东金鼎电子材料有限公司
  • 2015-07-06 - 2015-11-18 - B08B1/00
  • 本发明公开一种ITO薄膜溅射靶材的清洁方法,包括如下步骤:(1)先采用吸尘器将大颗粒物吸除干净;(2)采用相应目数的砂纸对靶材溅射面进行打磨,打磨方向顺应靶材溅射面形成有的跑道的方向,去除溅射面的氧化物和杂质;(3)采用吸尘器将靶材的溅射面上由于砂纸打磨而产生的颗粒物和灰尘吸除干净;(4)采用无尘布蘸取少量酒精对靶材的溅射面进行擦拭清洁,除去没有完全吸除的灰尘;(5)重复步骤(4),直至无尘布表面只有轻微变色。通过采用以上步骤可有效清除溅射靶材表面氧化物、杂质和粉尘,进而可减少ITO薄膜生产中靶材表面结瘤,减少对靶材的清洁次数,提高生产效率,也提高靶材的利用率,降低生产成本。
  • ito薄膜溅射清洁方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top