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- [实用新型]化学清洗新型自动供酸系统-CN202220998185.X有效
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方廷宇;游礼仲;王永震;宋汝明;苏方召
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山东强茂电子科技有限公司
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2022-04-27
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2022-10-11
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B08B3/08
- 本实用新型提供了一种化学清洗新型自动供酸系统。该技术方案摒弃了常规的人工加酸模式，采用机械推送方式将酸液加注至清洗水中，并在输出端增设了酸液分布装置。具体来看，本实用新型在内套筒的侧壁上固定设置电热套，在内套筒的外周固定连接有隔热层，隔热层笼罩在电热套外部，在内套筒的前端具有变径管，在变径管的前端具有输出口，在输出口上固定连接有分布器；所述分布器包括主体，圆孔，连接管，环形台，条形孔，其中，在主体的底面上具有圆孔，连接管的一端连接在圆孔上，连接管的另一端连接在输出口上，在主体的外侧具有环形台，在环形台的侧壁上开设有若干条形孔。基于以上构造，不仅提高了加酸效率，而且分布更加均匀，技术优势明显。
- 化学清洗新型自动系统
- [实用新型]新型热氧化炉-CN202121309834.2有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;李庆申;杨士林
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-06-11
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2021-11-26
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B01L7/00
- 本实用新型提供了一种新型热氧化炉，包括圆管体，连接板，其中，圆管体有2个，2个圆管体的轴线相互平行，在2个圆管体之间固定连接有连接板，2个圆管体的轴线均位于连接板所在的平面上，圆管体和连接板均为石英材质。同时，还包括加热套，所述加热套完全包覆在待加热的三口烧瓶外周。本实用新型在炉内增设了类似眼镜结构的适应材料，有效增进了ROD结构的稳定性。同时，采用了全包围结构的加热套，近封闭式加热，保温效果好，且不用以较大功率就可以获得较好的水蒸气生发量，水蒸气供给充足、稳定。
- 新型氧化
- [实用新型]新型环保晶圆清洗机-CN202121309841.2有效
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方廷宇;游礼仲;张峰
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-06-11
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2021-11-26
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B08B3/12
- 本实用新型提供了一种新型环保晶圆清洗机。该技术方案在超声波清洗机既有结构的基础上进行了创新性改进。具体来看，本实用新型在其侧壁上设置轴承，利用轴承承载带有桨叶的转轴，转轴在电机驱动下旋转，使桨叶不断搅动超声波清洗槽的水分，进而使水流持续流经晶圆表面，促进二者的接触。与此同时，本实用新型在底部设置了充气口，可在清洗过程中持续鼓入气泡，利用气水混合物与晶圆接触，具有更好的湍流性，有助于改善清洗效果。此外，本实用新型采用带有网孔部的夹片与托持网共同夹持晶圆，既便于上下料又不影响气体和水流通过。与常规晶圆清洗机相比，本实用新型更加省水，而清洗效果优于普通的超声清洗机，具有突出的技术优势。
- 新型环保清洗
- [实用新型]省水型晶圆清洗机-CN202121309843.1有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;张峰;李东冉
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-06-11
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2021-11-26
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B08B3/12
- 本实用新型提供了一种省水型晶圆清洗机。该技术方案摒弃了常规的冲洗模式，采用超声波进行静态清洗，在此基础上，围绕超声波清洗槽设计了自动化的上下料机构。具体来看，本实用新型将超声波清洗槽固定于基台上，两侧分别设置置物架和沥水架，二者可在升降机构驱动下升降，从而实现半自动化的上下料功能；在超声波清洗槽后侧，采用滑台、电动推杆、转盘构建了三自由度的运动机构，该运动机构末端设置吸盘式机械手，用于吸取晶圆；依托于三自由度的复合运动，使吸盘式机械手上的晶圆可沿弧线经过超声波清洗槽，并停留一定时间，从而达到清洗目的。与常规晶圆清洗机相比，本实用新型更加省水，且清洗速度较快，具有良好的使用效果。
- 省水型晶圆清洗
- [实用新型]新型晶圆晶舟-CN202121600509.1有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;张峰;李东冉;唐守庄
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-07-15
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2021-11-26
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H01L21/673
- 本实用新型提供了一种新型晶圆晶舟。其构造为：在承载平面的上端边缘固定连接有若干长方体立柱，在相对的长方体立柱之间固定连接有连接杆，在长方体立柱的内侧具有倒角，承载平面、长方体立柱、连接杆均为石英材质。本实用新型将垂直立柱由原来的圆柱体，改为长方体立柱，可能接触到晶片的位置做了倒圆角处理，增了垂直立柱的强度，防止1200℃高温下发生变形；为了防止在转运过程中晶片侧滑，在加工时表面做了磨砂处理。在使用寿命方面：在无外力撞击及人为磕碰，1200℃高温制程状况下，碳化硅材质明显要优于石英材质；在维护费用方面：一旦发生破损，需要委外维修的维护费用，石英材质明显要优于碳化硅材质。
- 新型晶圆晶舟
- [实用新型]薄型TVS晶圆-CN202121601401.4有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;李庆申;杨士林
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-07-15
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2021-11-26
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H01L23/31
- 本实用新型提供了一种薄型TVS晶圆。其构造为：在底层的上端具有次底层，在次底层的上端具有若干凸出部，在次底层的上端具有若干单元体，在单元体的下端具有若干凹陷部，若干凹陷部与若干凸出部相互嵌合，在单元体的一端具有嵌合头，在单元体的另一端具有嵌合槽，相邻单元体的嵌合头与嵌合槽相互嵌合，在若干单元体的上端具有顶层。本实用新型对晶圆的内部构造进行了优化改良，在顶层和次底层之间增设了相互叠装的单元体，相邻单元体利用嵌合头和嵌合槽相互嵌合，同时单元体与次底层之间利用凸出部和凹陷部相互嵌合，从而在不影响结构强度的前提下适当缩减了晶圆厚度。本实用新型结构合理，成本较低，具有突出的技术优势。
- 薄型tvs晶圆
- [实用新型]单片大电流TVS晶圆结构-CN202121601404.8有效
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方廷宇;游礼仲;张峰
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-07-15
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2021-11-26
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H01L23/31
- 本实用新型提供了一种单片大电流TVS晶圆结构。包括基础层，次顶层，凹陷部，填充体，顶层，第一晶粒，承托层，第二晶粒，其中，在基础层的上端具有次顶层，在次顶层的中部具有朝向基础层的凹陷部，在次顶层的上端具有顶层，在次顶层与顶层之间、位于凹陷部上方的位置具有填充体，在顶层的上端中部间隔具有若干第一晶粒，在第一晶粒的外周具有承托层，在承托层上具有若干第二晶粒。本实用新型对晶圆的内部结构进行了创新性改进，使其能够满足单片大电流TVS的技术要求，同时改善了晶圆的结构性能。本实用新型结构合理，加工工艺简单，成本较低，具有良好的使用效果和突出的技术优势。
- 单片电流tvs结构
- [实用新型]新型低耗显影机-CN202121601410.3有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;王永震;唐守庄
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-07-15
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2021-11-26
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G03F7/30
- 本实用新型提供了一种新型低耗显影机。该技术方案对显影机的容纳机构进行了集中改进。具体来看，本实用新型在不改变显影原理的前提下，将仓体设计为圆柱形结构，在仓体侧壁设置若干门体，可分别进料；仓体内部设置转盘机构，利用转盘上的多个托盘可同时承载多个晶圆，位于上方的电机可驱动支架在转盘上方旋转，从而将罩体定位至多个托盘上方，进而笼罩在晶圆外部。此外，本实用新型在仓体上增设了真空泵，可在显影过程中构建负压环境，以减少外部环境因素对显影工艺的影响。应用本实用新型，可显著提高显影工艺效率，并降低能耗水平，从而提高整体工艺水平。
- 新型低耗显影
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