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- [实用新型]一种晶圆生产软烤烤箱-CN202320395525.4有效
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方廷宇;李东冉;袁斌;路姗姗;韦鑫
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山东强茂电子科技有限公司
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2023-03-06
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2023-08-15
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H01L21/67
- 本实用新型涉及晶圆烘烤技术领域，具体为一种晶圆生产软烤烤箱包括：烤箱主体内设置有加工台，烤箱主体内设左右液压机，液压机一端设置有导向杆，导向杆表面套设有移动板，移动板侧面设置有支撑板，支撑板侧面设置有销轴，销轴侧面设置有第二立板，第二立板底部设置有按压板；有益效果为：本实用提出的一种晶圆生产软烤烤箱，使用时启动液压机使按压板按压在晶圆本体的边缘处，然后启动烤箱主体内的加热装置利用散热管散发的热量对晶圆本体进行烘烤，这样避免了目前在晶圆烘烤的过程中，容易在升温的过程中造成晶圆边缘处上翘情况的发生，极大的影响了晶圆的加工品质，而且现有的晶圆烘烤装置普遍造成加成较高的问题。
- 一种生产烤箱
- [实用新型]化学清洗新型自动供酸系统-CN202220998185.X有效
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方廷宇;游礼仲;王永震;宋汝明;苏方召
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山东强茂电子科技有限公司
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2022-04-27
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2022-10-11
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B08B3/08
- 本实用新型提供了一种化学清洗新型自动供酸系统。该技术方案摒弃了常规的人工加酸模式，采用机械推送方式将酸液加注至清洗水中，并在输出端增设了酸液分布装置。具体来看，本实用新型在内套筒的侧壁上固定设置电热套，在内套筒的外周固定连接有隔热层，隔热层笼罩在电热套外部，在内套筒的前端具有变径管，在变径管的前端具有输出口，在输出口上固定连接有分布器；所述分布器包括主体，圆孔，连接管，环形台，条形孔，其中，在主体的底面上具有圆孔，连接管的一端连接在圆孔上，连接管的另一端连接在输出口上，在主体的外侧具有环形台，在环形台的侧壁上开设有若干条形孔。基于以上构造，不仅提高了加酸效率，而且分布更加均匀，技术优势明显。
- 化学清洗新型自动系统
- [实用新型]一种新型低消耗镀金机-CN202221001236.3有效
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方廷宇;李东冉;张峰;袁斌;路姗姗
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山东强茂电子科技有限公司
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2022-04-27
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2022-09-20
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C25D17/02
- 本实用新型提供了一种新型低消耗镀金机。该技术方案摒弃了常规的单片式电镀模式，创新性的以叠装方式进行作业，同时对镀金机的内部构造进行了创新性改进。具体来看，本实用新型在镀槽的两个相对的内壁上分别开设若干相互平行的第一槽体，在镀槽的另外两个相对的内壁上分别开设有若干相互平行第二槽体；在支撑板的侧端具有凸出体，支撑板通过其凸出体插接在第二槽体中，在支撑板的一侧开设有若干相互平行的第三槽体，在支撑板的另一侧固定连接有把手，所述第三槽体与第一槽体相互平行，镀槽的底面由一个水平面和两个倾斜面组成。基于以上构造，不仅有助于节省镀液，而且镀件的装卸更加方便，具有良好的运行表现。
- 一种新型低消耗镀金
- [实用新型]上胶机用光刻胶回收装置-CN202221001179.9有效
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方廷宇;许忠信;李庆申;杨士林;张辉
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山东强茂电子科技有限公司
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2022-04-27
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2022-07-29
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G03F7/26
- 本实用新型提供了一种上胶机用光刻胶回收装置。该技术方案采用套管结构对回收路径上的光刻胶进行隔壁换热，从而在回收过程中使光刻胶温度降至常温，避免了因余热而影响胶料稳定性的问题。具体来看，本实用新型在内套管的上端设置广口，广口的上端与外套管的内壁焊接固定，在内套管的外壁上具有若干沿螺旋线分布的突出片，在相邻的突出片之间具有缝隙，内套管的下端由球形封头封闭，在内套管的内壁上具有内丝扣，芯管从外套管的顶端纵向伸入至内套管中，芯管与外套管焊接固定，内套管与外套管之间的空间为螺旋腔体，突出片位于螺旋腔体中。基于以上构造，可有效降低光刻胶的回收温度，确保了胶料的稳定性，具有突出的技术优势。
- 上胶机用光回收装置
- [实用新型]一种新型节水型分离机台-CN202221001003.3有效
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方廷宇;李东冉;张峰;袁斌;路姗姗
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山东强茂电子科技有限公司
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2022-04-27
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2022-07-22
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B65G17/38
- 本实用新型提供了一种新型节水型分离机台。该技术方案摒弃了常规的水浸式分离模式，创新性的采用下压动作使硅胶贴合至晶圆表面，进而达到吸取、分离目的。具体来看，本实用新型将第一直线电机竖直的固定连接于滑台上，第一直线电机的下端固定连接有安装板，在安装板的上端固定连接有导向杆，在滑台上固定连接有滑套，所述导向杆向上贯穿滑套；在安装板的下端固定连接有固定座，在固定座上下两端分别固定连接有第二直线电机和固定杆，在固定杆的下端固定连接有硅胶盘，在固定杆的内部具有纵向贯穿的管状通道，第二直线电机的下部位于所述管状通道中。基于以上构造，不仅能高效实现晶圆分离，而且能对其进行移动，同时节省了水分，技术优势明显。
- 一种新型节水分离机台
- [实用新型]新型热氧化炉-CN202121309834.2有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;李庆申;杨士林
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-06-11
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2021-11-26
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B01L7/00
- 本实用新型提供了一种新型热氧化炉，包括圆管体，连接板，其中，圆管体有2个，2个圆管体的轴线相互平行，在2个圆管体之间固定连接有连接板，2个圆管体的轴线均位于连接板所在的平面上，圆管体和连接板均为石英材质。同时，还包括加热套，所述加热套完全包覆在待加热的三口烧瓶外周。本实用新型在炉内增设了类似眼镜结构的适应材料，有效增进了ROD结构的稳定性。同时，采用了全包围结构的加热套，近封闭式加热，保温效果好，且不用以较大功率就可以获得较好的水蒸气生发量，水蒸气供给充足、稳定。
- 新型氧化
- [实用新型]新型环保晶圆清洗机-CN202121309841.2有效
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方廷宇;游礼仲;张峰
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-06-11
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2021-11-26
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B08B3/12
- 本实用新型提供了一种新型环保晶圆清洗机。该技术方案在超声波清洗机既有结构的基础上进行了创新性改进。具体来看，本实用新型在其侧壁上设置轴承，利用轴承承载带有桨叶的转轴，转轴在电机驱动下旋转，使桨叶不断搅动超声波清洗槽的水分，进而使水流持续流经晶圆表面，促进二者的接触。与此同时，本实用新型在底部设置了充气口，可在清洗过程中持续鼓入气泡，利用气水混合物与晶圆接触，具有更好的湍流性，有助于改善清洗效果。此外，本实用新型采用带有网孔部的夹片与托持网共同夹持晶圆，既便于上下料又不影响气体和水流通过。与常规晶圆清洗机相比，本实用新型更加省水，而清洗效果优于普通的超声清洗机，具有突出的技术优势。
- 新型环保清洗
- [实用新型]省水型晶圆清洗机-CN202121309843.1有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;张峰;李东冉
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-06-11
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2021-11-26
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B08B3/12
- 本实用新型提供了一种省水型晶圆清洗机。该技术方案摒弃了常规的冲洗模式，采用超声波进行静态清洗，在此基础上，围绕超声波清洗槽设计了自动化的上下料机构。具体来看，本实用新型将超声波清洗槽固定于基台上，两侧分别设置置物架和沥水架，二者可在升降机构驱动下升降，从而实现半自动化的上下料功能；在超声波清洗槽后侧，采用滑台、电动推杆、转盘构建了三自由度的运动机构，该运动机构末端设置吸盘式机械手，用于吸取晶圆；依托于三自由度的复合运动，使吸盘式机械手上的晶圆可沿弧线经过超声波清洗槽，并停留一定时间，从而达到清洗目的。与常规晶圆清洗机相比，本实用新型更加省水，且清洗速度较快，具有良好的使用效果。
- 省水型晶圆清洗
- [实用新型]新型晶圆晶舟-CN202121600509.1有效
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方廷宇;游礼仲;许忠信;张峰;李东冉;唐守庄
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山东强茂电子科技有限公司
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2021-07-15
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2021-11-26
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H01L21/673
- 本实用新型提供了一种新型晶圆晶舟。其构造为：在承载平面的上端边缘固定连接有若干长方体立柱，在相对的长方体立柱之间固定连接有连接杆，在长方体立柱的内侧具有倒角，承载平面、长方体立柱、连接杆均为石英材质。本实用新型将垂直立柱由原来的圆柱体，改为长方体立柱，可能接触到晶片的位置做了倒圆角处理，增了垂直立柱的强度，防止1200℃高温下发生变形；为了防止在转运过程中晶片侧滑，在加工时表面做了磨砂处理。在使用寿命方面：在无外力撞击及人为磕碰，1200℃高温制程状况下，碳化硅材质明显要优于石英材质；在维护费用方面：一旦发生破损，需要委外维修的维护费用，石英材质明显要优于碳化硅材质。
- 新型晶圆晶舟
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