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[实用新型]量测机-CN201320429802.5有效
发明人：张旨光;袁忠奎;李均华;金余;张辉 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2013-07-19 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种量测机，其包括一机体和一罩设于该机体外周的保护罩，该机体包括一控制箱以及一工件承载板。本实用新型的量测机通过在机体的外周设置一保护罩，可有效起到防尘以及防止机体发出的光线外漏的作用。
量测机

[外观设计]光学量测机-CN202030720575.7有效
发明人：郭文峰 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： 10-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光学量测机。2.本外观设计产品的用途：用于显示面板或集成电路的自动光学检测与修复。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
光学量测机

[外观设计]光学量测机-CN202130403567.4有效
发明人：郁俊 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光学量测机。2.本外观设计产品的用途：用于进行面板或集成电路的自动光学缺陷检测和修复。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
光学量测机

[发明专利]量测装置及量测方法-CN202010545961.6有效
发明人：孙正一;陈昶升;杨勇;曹伟涛;谢松臻 -专利权人：深圳市裕展精密科技有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B23Q17/00 文献下载
摘要：一种量测装置，用于校正第一量测机的量测误差，量测装置包括通信器和处理器。通信器用于接收来自第一量测机检测工件形成的第一检测集，还用于接收来自第二量测机检测工件形成的第二检测集。第二量测机的精度高于所述第一量测机的精度，由此可通过第二量测机的量测值校正第一量测机的量测误差。通信器还用于将校正值反馈至所述第一量测机，以校正形成所述第一检测集时的误差。本发明同时提出一种量测方法。
装置方法

[发明专利]量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法-CN202110769250.1在审
发明人：李想 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法，量测装置包括治具晶圆，治具晶圆包括：晶圆；测距传感器，设置于晶圆的正面，用于在治具晶圆置于反应腔室的晶圆吸盘上后量测治具晶圆与位于反应腔室顶部的上电极之间的距离；水平传感器，设置于晶圆的正面，水平传感器用于在治具晶圆置于晶圆吸盘上后量测晶圆吸盘的水平状况；数据传送装置，与测距传感器及水平传感器相连接，用于传送测距传感器量测的数据及水平传感器量测的数据。本申请中的量测装置避免了人工测量产生的误差，准确性较高；无需打开反应腔室即可实时地获取晶圆吸盘的水平状况，能够提升反应腔室工作的安全性和可靠性。
装置补偿系统方法

[发明专利]一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的方法及系统-CN201310501656.7有效
发明人：黄文德;史凯;张书翰 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的系统，包括量测机、通信接口模块网络与曝光机，其中：量测机用于自动对曝光后的玻璃基板进行量测，并将量测获得的各个量测点的曝光偏移量数据通过所述通信接口模块网络上传给所述曝光机的预定存放区域中；曝光机用于根据所述各个量测点的曝光偏移量数据获得所述各个量测点相应的补值量，并对玻璃基板上与所述各个量测点对应的曝光点进行补值处理。根据本发明的实施例，可以提高曝光机的补值效率以及补值准确性，并可节省人力。
一种玻璃曝光制程中实现自动方法系统

[发明专利]一种线宽量测方法和线宽量测机-CN201911206960.2有效
发明人：徐登基 -专利权人：苏州精濑光电有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种线宽量测方法和线宽量测机。该方法包括：摄像组件采集被量测产品的视野图像；截取视野图像，得到被量测产品的第一量测图像；根据第一量测图像内标记物的偏差进行对位，截取第二量测图像；根据第二量测图像和预设图像，计算图像偏差；根据图像偏差，截取第三量测图像；其中，第三量测图像包括被量测产品的量测部；根据量测部的图像，量测计算量测部的线宽。本发明实施例解决了线宽量测机在自动量测过程中，被量测产品的线宽量测失败的问题，提高了被量测产品的线宽量测的成功率，保证了被检测产品的生产效率。
一种线宽量测方法线宽量测机

[外观设计]光学量测机(2)-CN202030790893.0有效
发明人：郁俊 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光学量测机(2)。2.本外观设计产品的用途：用于进行面板或集成电路的自动光学缺陷检测和/或修复。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
光学量测机

[外观设计]光学量测机(1)-CN202030790894.5有效
发明人：郁俊 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光学量测机(1)。2.本外观设计产品的用途：用于进行面板或集成电路的自动光学缺陷检测和/或修复。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
光学量测机

[发明专利]制鞋机异常通知方法-CN202010609030.8在审
发明人：曾厚忠;曾信铭 -专利权人：裕铭机械有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G08B25/01 文献下载
摘要：一种制鞋机异常通知方法，应用于信息伺服器、鞋机伺服器、至少一个行动装置，及制鞋机，该制鞋机包括鞋机模组、设置并用于控制该鞋机模组运作的控制模组，及电连接该控制模组的量测模组，该制鞋机异常通知方法先由该量测模组对该鞋机模组进行量测，并输出对应该鞋机模组的运作状况的量测信号至该控制模组，该控制模组将该量测信号通过网络输出至该鞋机伺服器，接着该鞋机伺服器根据该量测信号进行判断，并于该量测信号所对应的量测参数超出临界范围时，通过网络发送警告信息至该信息伺服器
制鞋异常通知方法

[发明专利]光学量测系统、光学量测装置及其量测方法-CN201710598582.1有效
发明人：吴世傑;林典瑩;林辰泰;庄世昌 -专利权人：镱钛科技股份有限公司
申请日： 2017-07-21 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种放大位移倍率的光学量测系统、光学量测装置及其量测方法。光学量测装置包含架座、移动抵靠件、多个静态光学感测件及动态光学感测件，架座包含定位槽。移动抵靠件枢接于架座上且对应定位槽，待测物夹抵于移动抵靠件与定位槽之间。静态光学感测件设于架座上。动态光学感测件设于移动抵靠件上，动态光学感测件与静态光学感测件相隔光学感测间距。动态光学感测件受移动抵靠件连动而沿弧形轨迹位移，致使光学感测间距改变，且光学感测间距的改变程度大于径长的改变程度。借此，利用弧形位移的特殊结构使不同待测物的径长差异得以放大，进而大幅提高量测的准确度。
光学系统装置及其方法

[发明专利]一种对线宽量测机进行校准的方法-CN201810435468.1在审
发明人：邹雨佑 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G01B15/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种对线宽量测机进行校准的方法，包括如下步骤：步骤S10，提供一测量样本，在测量样本上设置一用于指示出测量区域的指示标志；步骤S11，采用线宽量测机对测量样本的测量区域的图案中的关键尺寸进行测量，获得第一量测数据；步骤S12，将测量样本制作成扫描电子显微镜切片，其至少包括所述测量区域；步骤S13，采用扫描电子显微镜对扫描电子显微镜切片中的测量区域的图案中相应的关键尺寸进行测量，获得第二量测数据；步骤S14，以第二量测数据为基础，将第一量测数据与第二量测数据进行比较；步骤S15，根据比较结果，确定是否需要对线宽量测机进行校正，在确定需要对线宽量测机进行校正时，对线宽量测机进行校正。实施本发明实施例，可以提高对线宽量测机进行校准的准确性。
对线宽量量测数据测量测量样本扫描电子显微镜校准校正切片图案指示标志量测机线宽制作

[发明专利]量测手套及量测系统-CN201410448861.6在审
发明人：张家齐;萧子健 -专利权人：华邦电子股份有限公司
申请日： 2014-09-04 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： A61B5/0205 文献下载
摘要：本发明提供一种量测手套及量测系统，该量测手套包括一第一感测单元以及一第二感测单元。第一感测单元用以测量一第一生理信号。第二感测单元用以测量一第二生理信号。当第一感测单元动作时，第二感测单元停止动作。当第二感测单元动作时，第一感测单元停止动作。本发明的量测手套能够实现对多个不同生理参数进行检测。
手套系统

[发明专利]量测系统与量测方法-CN201711187635.7在审
发明人：张钰林;童凯炀;林茂青 -专利权人：英业达科技有限公司;英业达股份有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明公开一种量测方法，包括以一控制器于一第一批次时间提供一第一控制指令给一第一量测装置；以该控制器于一第二批次时间提供一第二控制指令给一第二量测装置，该第一批次时间不同于该第二批次时间；以该第一量测装置依据该第一控制指令取得一待测电子装置的一第一量测数据；以及以该第二量测装置依据该第二控制指令取得该待测电子装置的一第二量测数据。本发明还公开一种量测系统。
系统方法

[发明专利]量测装置及量测方法-CN201911297503.9在审
发明人：詹森雄;江家谊 -专利权人：亚智科技股份有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G01P5/165 文献下载
摘要：本发明有关于一种量测装置及量测方法，是一种用以量测风刀结构的出风风速，以及硬体变形量或平整度的量测装置与量测方法；本发明包括有一量测平台、一风速量测单元、一形变量测单元，以及一驱动装置；本发明主要藉由自动化的驱动装置的设计，有效驱动并乘载风速量测单元与形变量测单元的线性滑座进行长度达4000mm的风刀结构的出风风速与硬体形变量的量测动作，确实达到利用自动化量测方式完成风刀结构的风速与形变量均一性的量测等主要优势。
装置方法

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