专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件以及用于制造半导体器件的方法-CN201811031091.X有效
  • 李宜静;游明华 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2018-09-05 - 2023-06-20 - H01L29/78
  • 本公开涉及半导体器件以及用于制造半导体器件的方法。一种方法包括凹陷半导体鳍以形成凹陷,其中,半导体鳍突出高于半导体鳍的相对侧上的隔离区域,并且执行第一外延以生长延伸到凹陷中的第一外延层。第一外延使用包括含硅气体、硅烷和含磷气体的第一工艺气体来执行。第一外延层具有第一磷原子百分比。该方法还包括执行第二外延以生长延伸到凹陷中并且在第一外延层上方的第二外延层。第二外延使用包括含硅气体、硅烷和含磷气体的第二工艺气体来执行。第二外延层具有高于第一磷原子百分比的第二磷原子百分比。
  • 半导体器件以及用于制造方法
  • [发明专利]半导体器件和制造半导体器件的方法-CN201811168857.9有效
  • 李宜静;杨宗熺;游明华 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2018-10-08 - 2022-11-29 - H01L29/78
  • 本公开涉及半导体器件和制造半导体器件的方法。实施例是一种包括下列项的器件,包括:第一鳍,从衬底延伸;第一栅极堆叠,在第一鳍上方并且沿着第一鳍的侧壁;第一栅极间隔件,沿第一栅极堆叠的侧壁被布置;以及第一外延源极/漏极区域,在第一鳍中并且与第一栅极间隔件相邻。第一外延源极/漏极区域包括:第一外延层,在第一鳍上,第一外延层包括硅和碳;第二外延层,在第一外延层上,第二外延层具有与第一外延层不同的材料成分,第一外延层将第二外延层和第一鳍分离;以及第三外延层,在第二外延层上,并且第三外延层具有与第一外延层不同的材料成分。
  • 半导体器件制造方法
  • [发明专利]半导体制造设备-CN202210818135.3在审
  • 王立廷;陈俊仁;游明华;杨育佳 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-07-12 - 2022-11-22 - H01L21/67
  • 半导体制造设备包括第一高温计和第二高温计,分别配置为监测来自基座上的晶圆背侧上的第一点和第二点的热辐射。半导体制造设备包括位于外延成长腔室的第一区域中的第一加热源以及位于外延成长腔室的第二区域中的第二加热源,其中第一控制器配置为基于监测到的来自第一点和第二点的热辐射来调整第一加热源和第二加热源的输出。导体制造设备包括第三高温计和第四高温计,配置为监测来自晶圆前侧上的第三点和第四点的热辐射,其中第二控制器配置为基于监测到的来自晶圆第一点、第二点、第三点和第四点的热辐射来调整注入到外延成长腔室中的一或多种前驱物的流率。
  • 半导体制造设备
  • [发明专利]半导体器件及其形成方法-CN202110577722.3在审
  • 张宏台;唐瀚楀;游明华;杨育佳 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2021-05-26 - 2022-02-25 - H01L27/092
  • 本申请公开了半导体器件及其形成方法。在一个实施例中,一种器件包括从衬底延伸的第一鳍。该器件还包括位于第一鳍的侧壁之上并沿着第一鳍的侧壁的第一栅极堆叠。该器件还包括沿着第一栅极堆叠的侧壁设置的第一栅极间隔件。该器件还包括位于第一鳍中并与第一栅极间隔件相邻的第一源极/漏极区域,第一源极/漏极区域包括位于第一鳍上的第一外延层,第一外延层包括具有第一掺杂剂浓度的硼。该器件还包括位于第一外延层上的第二外延层,第二外延层包括具有第二掺杂剂浓度的硼,第二掺杂剂浓度大于第一掺杂剂浓度。
  • 半导体器件及其形成方法
  • [实用新型]一种配备多通道检测器的流动注射分析装置-CN202120158160.4有效
  • 游明华 - 谱育(厦门)科技有限公司
  • 2021-01-21 - 2022-01-21 - G01N21/31
  • 本实用新型公开了一种配备多通道检测器的流动注射分析装置,包括蠕动泵,蠕动泵连接样品罐、载流罐和试剂罐,样品罐中的样品、载流罐中的载流和试剂罐中的试剂一起进入流路,载流和试剂的混合溶液连续流经流通池一、流通池二和流通池三,流通池二串联流通池一和流通池三,流通池一配套设置反应盘管一、检测器一和光源一,流通池三配套设置反应盘管三、检测器三和光源三,样品注入并充满定量环,本实用新型根据朗伯‑比尔定律,采用串联多个不同光程的流通池,安装在流路中的不同位置,实现一次进样即可实现多次不同量程的检测,无需稀释或富集即可使流动分析仪的检测范围达到3~6个数量级。
  • 一种配备通道检测器流动注射分析装置

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