“河野绅一”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果9个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法-CN202180087260.5在审
发明人：平山文武;平野智之;吉田裕三;河野绅一;中川裕介 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种抗蚀剂组合物，包含：树脂成分(A1)，具有包含酚性羟基的结构单元(a10)；化合物(B0)，以通式(b0‑1)表示，所述树脂成分(A1)中的所述结构单元(a10)的比例相对于构成所述树脂成分(A1)的全部结构单元的合计(100摩尔％)为超过5摩尔％～小于45摩尔％，式中，Rb1为碳原子数为1以上30以下的烃基，n、m为0～3的整数，Ra1及Ra2为氢原子或有机基团，Q1及Q2为氟原子或碳原子数为1以上6以下的全氟烷基，L为酯键。
抗蚀剂组合图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法-CN202011423839.8在审
发明人：平野智之;平山文武;野村架奈;河野绅一;中川裕介 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种抗蚀剂组合物，含有树脂成分(A1)与增塑剂成分(Z)，树脂成分(A1)具有包含酸分解性基团的结构单元(a1)、以式(a10‑1)表示的结构单元(a10)，增塑剂成分(Z)具有以式(z1‑1)表示的结构单元(z1)且不含酸解离性基团，增塑剂成分(Z)的含量相对于树脂成分(A1)100质量份为50质量份以下，固体成分浓度为25质量％以上。式中，Wax1是芳香族烃基。Vz0是单键或不含酸解离性基团的2价烃基。Rz0是氢原子或不含酸解离性基团的烃基。[化1]
抗蚀剂组合图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法-CN202011348383.3在审
发明人：平山文武;平野智之;吉田裕三;河野绅一;中川裕介 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与离子液体(Z)，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。
抗蚀剂组合以及图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂图案形成方法-CN201880083399.0在审
发明人：白木雄哲;河野绅一;大野庆晃;砂道智成;齐藤彩 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明涉及一种抗蚀剂图案形成方案，具有在支承体上使用抗蚀剂组合物形成膜厚7μm以上的抗蚀剂膜的工序、对抗蚀剂膜进行曝光的工序以及对曝光后的抗蚀剂膜进行显影而形成抗蚀剂图案的工序，所述抗蚀剂组合物含有具有以通式(a10‑1)表示的结构单元、包含酸非解离性的脂肪族环式基的结构单元、包含通过酸的作用而极性增大的酸分解性基团的结构单元的树脂成分，式(a10‑1)中，R为氢原子、烷基或卤代烷基，Yax1为单键或2价的连接基团，Wax1为(nax1+1)价的芳香族烃基，nax1为1～3的整数。[化1]
抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂图案形成方法-CN201880083529.0在审
发明人： 河野绅一;白木雄哲;大野庆晃;齐藤彩;砂道智成 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种抗蚀剂图案形成方法，具有：在支承体上使用抗蚀剂组合物形成膜厚7μm以上的抗蚀剂膜的工序、对所述抗蚀剂膜进行曝光的工序以及对曝光后的抗蚀剂膜进行显影而形成抗蚀剂图案的工序，作为所述抗蚀剂组合物，含有对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分、与由以通式(b1‑1)表示的化合物构成的产酸剂，式(b1‑1)中，Rb1为芳基，Rb2以及Rb3为脂肪族烃基。Rb2与Rb3可以相互键合而形成环结构。Lb1、Lb2以及Lb3为2价的连接基团或单键，X‑是反荷阴离子。[化1]
抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法-CN201911129096.0在审
发明人：斋藤彩;河野绅一;大野庆晃;砂道智成 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种抗蚀剂组合物，含有：基材成分(A)，对显影液的溶解性因酸的作用而变化；抗溶解剂(Z)，抑制对显影液的溶解性，所述抗溶解剂(Z)包含化合物(Z1)与化合物(Z2)，所述化合物(Z1)的质均分子量为3000以下且在分子内具有酚羟基或羧基，所述化合物(Z2)的质均分子量为3000以下且以下述通式(z2)表示，式中，Rz20为酸解离性基团，Rz30为氢原子或有机基团，n1为1～6的整数，n2为0～5的整数，其中，n1+n2＝6。【化1】
抗蚀剂组合以及图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法-CN201910574756.X在审
发明人：砂道智成;河野绅一;大野庆晃;白木雄哲;齐藤彩 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：提供一种抗蚀剂组合物以及提供使用了该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案形成方法，所述抗蚀剂组合物能够形成膜厚5μm以上的厚膜抗蚀剂膜、并且维持较高灵敏度且形成良好形状的图案。该抗蚀剂组合物是通过曝光产生酸且对显影液的溶解性因酸的作用而变化的抗蚀剂组合物，含有：基材成分(A)，对显影液的溶解性因酸的作用而变化；叔单胺化合物(D0)，以下述通式(d0)表示，所述基材成分(A)的浓度为20质量％以上，所述化合物(D0)的含量相对于所述基材成分(A)100质量份为0.01～0.05质量份，Rx
抗蚀剂组合物基材显影液质量份单胺化合物厚膜抗蚀剂抗蚀剂图案高灵敏度环结构地键膜厚烃基图案曝光

[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法-CN201910573761.9在审
发明人：大野庆晃;河野绅一 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种抗蚀剂组合物，特别是在将厚膜的抗蚀剂膜成膜而形成抗蚀剂图案的情况下，光刻特性优异且涂布性良好，能够抑制在高温烘烤时来自抗蚀剂图案的发泡。本发明的抗蚀剂组合物，含有：高分子化合物，具有以式(a10‑1)表示的结构单元以及包含酸分解性基团的结构单元；以式(b1)表示的产酸剂，抗蚀剂组合物中的固体成分浓度为30质量％以上。式(a10‑1)中,R为氢原子、烷基或卤代烷基，Ya
抗蚀剂组合物抗蚀剂图案烷基高分子化合物酸分解性基团反荷阴离子芳香族烃基高温烘烤抗蚀剂膜连接基团卤代烷基产酸剂硫原子氢原子涂布性成膜单键发泡芳基光刻厚膜键合式中

[发明专利]控制基板的表面物性的方法-CN201710606628.X在审
发明人： 河野绅一;中川裕介;岛谷聪;浅野贵夫 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明的技术问题在于，提供一种控制基板的表面物性的方法，不依赖于基板的种类而能得到期望的表面物性，并抑制图案的剥落。一种控制基板的表面物性的方法，包括涂布工序，对基板的表面涂布含环氧基树脂，所述表面含有至少两种金属；烘烤工序，对所述基板进行烘烤。
控制表面物性方法

1
共 9 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top