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[发明专利]一种硅基绝缘体上玻璃衬底结构及其制作方法-CN202310935417.6在审
发明人： 武震宇;苏泳全;刘艺晨;王栎皓 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明提供一种硅基绝缘体上玻璃衬底结构及其制作方法，包括以下步骤：提供一第一晶圆，所述第一晶圆的上表层设有第一键合层；提供一第二晶圆，所述第二晶圆的下表层设有第二键合层；将所述第一键合层的上表面与所述第二键合层的下表面进行键合，键合后，所述第一键合层与所述第二键合层构成的叠层结构中至少包括第一截止层、第二截止层。本发明通过硅基绝缘体上玻璃衬底结构的制作方法制作得到的硅基绝缘体上玻璃衬底结构，采用所述第一截止层、所述第二截止层构成的双截止层结构作为所述硅基绝缘体上玻璃衬底结构的刻蚀截止层，解决了硅玻璃键合晶圆图形化时无法获得高质量平整的玻璃界面的问题。
一种绝缘体玻璃衬底结构及其制作方法

[发明专利]大偏转角的光偏转器件-CN202210351648.8在审
发明人： 武震宇;刘艺晨;王栎皓;汪洋;张玉遥 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提供一种大偏转角的光偏转器件，由中心向外依次包括：反射平面，两个第一柔性连接装置，两个第一致动传感装置，解耦平面，四个第二柔性连接装置及两个第二致动传感装置；每个第一柔性连接装置的一端与反射平面的边缘连接；两个第一致动传感装置的一端分别与两个第一柔性连接装置的另一端连接；每个第一致动传感装置均包括第一及第二致动传感器；解耦平面的一端与两个第一致动传感装置的另一端连接；每个第二柔性连接装置的一端与解耦平面的另一端边缘连接；每个第二致动传感装置分别与两个第二柔性连接装置的另一端连接；反射平面、第一致动传感装置、解耦平面及第二致动传感装置均相互平行。该光偏转器件可有效提高反射平面的偏转角。
偏转器件

[发明专利]聚酰亚胺薄膜被动滤光器件及其制备方法-CN202210226292.5在审
发明人： 武震宇;刘艺晨;王栎皓 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G21K3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种聚酰亚胺薄膜被动滤光器件及其制备方法，该制备方法包括：提供半导体基底，并于半导体基底的正面依次形成介质层及聚酰亚胺薄膜层；于聚酰亚胺薄膜层上形成阻挡层；于阻挡层上形成第一图形化的光刻胶层，得到薄膜外轮廓的光刻图形；基于第一图形化的光刻胶层依次刻蚀阻挡层、聚酰亚胺薄膜层及介质层；于半导体基底的背面形成第二图形化的光刻胶层，得到薄膜内轮廓的光刻图形；基于第二图形化的光刻胶层采用深反应离子刻蚀工艺刻蚀半导体基底，形成刻蚀窗口；基于刻蚀窗口，采用干法刻蚀工艺去除介质层，得到聚酰亚胺薄膜被动滤光器件。采用该制备方法可有效提高聚酰亚胺薄膜的性能。
聚酰亚胺薄膜被动滤光器件及其制备方法

[发明专利]一种数据采集方法、装置、终端及存储介质-CN201911076779.4有效
发明人：汪洋;武震宇;程建功 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G16H50/20 文献下载
摘要：本发明涉及医疗器械的技术领域，特别涉及一种数据采集方法、装置、终端及存储介质。所述数据采集方法应用于舌像采集装置，其中，所述舌像采集装置包括：暗箱，所述暗箱上设有第一连接结构和第二连接结构，所述第一成像装置与所述第一连接结构连接，所述第二成像装置与所述第二连接结构连接；所述暗箱内设有光源和反射镜，所述光源用于为所述第一成像装置和所述第二成像装置提供光照；所述反射镜通过驱动装置与所述暗箱连接，所述驱动装置用于驱动所述反射镜在所述暗箱内移动。通过采集目标对象的可见光波长范围内的彩色图像和高光谱图像，彩色图像与高光谱图像相结合，使诊断结果更准确，有利于推广中医诊断的定量化分析。
一种数据采集方法装置终端存储介质

[发明专利]一种汽轮发电机定子铁芯端部松动故障的识别判定方法-CN202310204207.X在审
发明人：孙彬;张晓鹏;韩金华;郑豫生;武震宇;田自强;杨威;梅雪傲 -专利权人：中国大唐集团科学技术研究院有限公司中南电力试验研究院;大唐三门峡发电有限责任公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种汽轮发电机定子铁芯端部松动故障的识别判定方法，通过铁芯上的温度测点采集定子线圈槽内层间温度和铁芯端部温度测点，并通过发电机温度数据进行异常温度测点的判断，第一阶段确定异常测点后，对内层间温度测点进行分组，每4个一组，进行第二轮时空关系的判断，从而确定汽轮发电机定子铁芯端部松动故障，可在发电机发生潜伏性定子端部松动故障初期提供科学的评价结果，同时也提供合理的检修策略，保障发电机组的安全稳定运行。
一种汽轮发电机定子铁芯端部松动故障识别判定方法

[发明专利]半导体基底结构及器件-CN202211104825.9在审
发明人： 武震宇;王栎皓;苏泳全;刘艺晨 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L23/48 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体基底结构及器件，包括衬底、导电柱、横向绝缘层和竖向绝缘层，通过导电柱可以实现垂直电学导通，通过横向绝缘层及竖向绝缘层可实现电学绝缘；本发明的半导体基底结构可实现3D互联，具有工艺兼容性强、设计灵活、适于高温工艺等优点，可作为集成电路器件的基底结构，以实现电路元件结构间的隔离、减少晶体管间或引线间的寄生电容，增强器件的抗辐照能力；也可用于MEMS器件的设计，实现器件的电学引出，简化器件的封装结构，增强器件的阵列化能力；亦可用于例如CMOS‑MEMS单片集成器件，提高器件集成度、减少IC电路和MEMS器件之间的串扰，提高衬底利用率。
半导体基底结构器件

[发明专利]MEMS光学偏转器件-CN202210112102.7有效
发明人： 武震宇;王栎皓;刘艺晨;汪洋;余子昊 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS光学偏转器件，包括：基座、2N个悬臂梁致动器、2N个耦合结构及反射微镜，其中N≥1；每个悬臂梁致动器包括：致动器衬底、致动结构、第一柔性结构；基座与致动器衬底固定连接；致动结构与致动器衬底连接；第一柔性结构与致动器衬底固定连接；第一柔性结构与一个耦合结构固定连接；2N个耦合结构固定连接于反射微镜的下方；2N个悬臂梁致动器沿周向分布于反射微镜的下方周围，且每两个悬臂梁致动器沿直线分布。通过在每一个第一柔性结构的一端均设置一个耦合结构，当沿直线分布的两个悬臂梁致动器同时产生致动力使反射微镜旋转时，两个悬臂梁致动器的旋转轴与反射微镜共轴，光的入射点在偏转过程中不会发生偏移。
mems 光学偏转器件

[发明专利]水内冷发电机定子绕组绝缘试验前的预检测装置及方法-CN202110273892.2有效
发明人：张晓鹏;韩金华;郑豫生;刘秀明;牟义革;武震宇;黄卫华;田自强;孙彬 -专利权人：中国大唐集团科学技术研究院有限公司华中电力试验研究院
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01R31/72 文献下载
摘要：本发明涉及一种水内冷发电机定子绕组绝缘试验前的预检测装置及方法，技术方案是，包括壳体，壳体的表面分别设置有显示器和操作按键，壳体的侧面设置有用于与水内冷发电机定子绕组试验接点连接的接线排，接线排上分别有用于与水内冷发电机定子绕组A、B、C三相、励端进水汇水管、汽端出水汇水管、套管出水汇水管、大地合计七个测点分别相连的7个接线柱，壳体内设置有预检测电路，设计了一套完整的预检测故障诊断流程，并提出了各类故障诊断的判据，经过实践证明能够快速判断可能的故障原因，并给出了对应的检查范围和方法，对现场工作具有很大的指导意义。
水内冷发电机定子绕组绝缘试验预检装置方法

[发明专利]共箱母线支柱绝缘子内部绝缘在线监测装置及方法-CN202210335617.3在审
发明人：靳鹏超;王立楠;马云飞;郑豫生;栗占伟;武震宇;樊东方;郭晓锋;牟义革;黄卫华;何友光 -专利权人：中国大唐集团科学技术研究院有限公司中南电力试验研究院
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本发明涉及共箱母线支柱绝缘子内部绝缘在线监测装置及方法，包括共箱母线，共箱母线包括壳体和设置在壳体内的支柱绝缘子，还包括信号处理装置、设置在支柱绝缘子接地端的电流互感器和设置在壳体上的温湿度测试装置，所述电流互感器与温湿度测试装置的输出端均与信号处理装置的输入端相连，可以将封闭于共箱母线内部无法直接观察的支柱绝缘子绝缘通过电流实现在线监测。能够为电厂运行、巡视、检修提供大数据支持和参考，当发电企业发生非计划停运时，可以快速准确的判断是否因哪一只支柱绝缘子的绝缘引发跳机，有助于发电企业快速排查跳机原因，在最短的时间内完成支柱绝缘子的跟换、机组并网操作，减少电网调度部门对发电企业的电量考核。
母线支柱绝缘子内部绝缘在线监测装置方法

[实用新型]一种基于钻石NV色心的量子电流传感器-CN202221955451.7有效
发明人： 武震宇;陈浩;刘启慧;程建功 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于钻石NV色心的量子电流传感器，该传感器包括电磁转换收集模块(收集穿过聚磁环的待测导线的电流的感应磁场)、磁场检测模块(检测聚磁环开口处的磁场信息，并通过输入其内部钻石NV色心处的激光和微波共同作用后产生的荧光信号输出)、光电转换模块(接收激光输入设备产生的参考激光及环形器输出的荧光信号，并将参考激光和荧光信号转换成电信号放大)和微波生成与分析模块(输入频率自主实时切换的微波信号至钻石NV色心磁传感探头并基于光电转换模块输出的电信号解调出磁场信息)。本实用新型的基于钻石NV色心的量子电流传感器由模块化与芯片化器件构成，可实现不同应用场景下的便携电流测量。
一种基于钻石 nv 色心量子电流传感器

[发明专利]钻石NV色心磁场传感器探头器件及传感器-CN202110164582.7有效
发明人： 武震宇;陈浩;姜新泉;程建功;谢非 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01N21/87 文献下载
摘要：本发明提供一种钻石NV色心磁场传感器探头器件及传感器，该探头器件包括：光纤耦合模块及多层叠探头芯片模块。多层叠探头芯片的加工基于高精准度、高可靠的芯片加工工艺和MEMS产线标准流程，可实现高一致性的批量加工；另外，多层叠探头芯片通过MEMS键合技术，实现了单晶钻石与晶圆的异质集成，实现了毫米芯片尺寸级别的光学封装，极大地减小了传感器体积；再者，光纤耦合模块与多层叠探头芯片的耦合形成高Q值的FP腔结构，极大地提高了激发光的腔内功率，从而提高传感器的激发效率；最后，多层叠探头芯片的三层带开腔的键合结构，结合对荧光高反射的介电膜层形成全高反射内腔，荧光唯一出口为耦合的光纤，极大地提高了荧光的收集效率。
钻石 nv 色心磁场传感器探头器件

[发明专利]一种锆钛酸铅薄膜湿法刻蚀方法-CN202211139534.3在审
发明人： 武震宇;苏泳全;刘艺晨;王栎皓 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明提供一种锆钛酸铅薄膜湿法刻蚀方法，采用第一腐蚀液及第二腐蚀液，分别针对锆钛酸铅薄膜中的不同组元进行两步刻蚀，各步骤之间相对独立，易于操作控制不同组元的刻蚀速率，在提高刻蚀速率的同时，保证不同组元刻蚀速率的平衡；其中，将F‑的使用全部控制在采用第一腐蚀液的第一刻蚀中，在保证刻蚀效果的同时最大限度降低由F‑带来的侧侵蚀问题和对光刻胶的消耗问题，该湿法刻蚀方法有高精度的图形转移能力，侧侵蚀比小于1:1，为锆钛酸铅薄膜在MEMS领域的使用提供了一种有效的加工方法。本发明可提供高良率和高质量的图形化锆钛酸铅薄膜，能够满足MEMS制造中对锆钛酸铅薄膜图形化的工艺要求，设备及工艺条件简单，易于产能拓展。
一种锆钛酸铅薄膜湿法刻蚀方法

[发明专利]MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列-CN202110571642.7有效
发明人： 武震宇;汪洋;张浩;王栎皓;姜新泉 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS微镜单元，所述MEMS微镜单元包括：镜面层，包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构；致动器层，包括交叉排列的三个致动器，每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦合，所述致动器用于通过所述耦合柱与所述柔性力学结构以为所述镜面层提供动力；以及引线层。本发明还提供了一种MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包含以密堆方式排列的多个所述的MEMS微镜单元。本发明提供的MEMS微镜单元可以实现三个自由度的精确可调，控制方式灵活；包含所述MEMS微镜单元的微镜阵列，具有高占空比，以及高一致性的镜面性能。
mems 单元阵列

[发明专利]一种车载终端数据传输安全防护方法和设备-CN202010726478.8有效
发明人：卢浩雷;张鹏;孟德超;王让;顾伟伟;张雷;武震宇;金鑫;于清源;张敏 -专利权人：北京蜂云科创信息技术有限公司
申请日： 2020-07-25 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H04L9/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种车载终端数据传输安全防护方法和设备，该方法包括接收车载终端发送的车辆运行数据和所述车载终端的设备标识；若所述设备标识为合法标识，根据预设规则生成第一随机数，并将所述第一随机数进行缓存；根据所述设备标识查询预设密钥管理表确定与所述设备标识对应的公钥，并基于所述公钥加密所述第一随机数后生成第一加密信息；将所述第一加密信息返回所述车载终端，并根据所述第一随机数和所述车载终端发送的第二随机数处理所述车辆运行数据，从而基于轻量级的安全防护方式进行车载终端数据的传输，避免了占用过多的服务器资源，保证了车载终端和服务器之间数据传输的安全性。
一种车载终端数据传输安全防护方法设备

[实用新型]一种发电机集电环冷却进风装置-CN202123248497.3有效
发明人： 武震宇;王海冰;牟义革;杨庆锋;关战群;白献锁;李智强;秦小阳;邢志刚;袁红玉 -专利权人：大唐三门峡发电有限责任公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H02K9/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种发电机集电环冷却进风装置，主要采用的技术方案为:至少一个进风口，其设置在发电机集电环室的盖板上；第一过滤器，其包括安装在所述盖板内的过滤网框架和通过快拆装置安装在所述过滤网框架上的第一过滤网；出风口，其设置在励磁封母线通道下部，所述出风口处设置有第二过滤网；封堵接口，其封堵在励磁母线的进风口处。
一种发电机集电环冷却装置

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